公开(公告)号：CN115039215A

公开(公告)日：2022-09-09

申请号：CN202180012169.7

申请日：2021-02-25

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 山田怜 ,  高氏龙之介 ,  清水一平

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/08

Abstract: 本发明的基板保持手具备：支承板，规定有圆形的基准捕获范围；多个垫，配置在基准捕获范围内；至少1个固定限位器，沿着基准捕获范围的外周圆配置；至少1个可动限位器，具有与固定限位器相比距支承板的高度一致的部分；以及限位器致动器，构成为使可动限位器从基准捕获范围的外侧的退避位置移动到比该退避位置更靠近固定限位器的进入位置。通过处于进入位置的可动限位器和前限位器来规定圆形的缩小捕获范围，缩小捕获范围的直径大于基板的直径且小于捕获范围的直径。

公开(公告)号：CN303005500S

公开(公告)日：2014-11-19

申请号：CN201430065130.4

申请日：2014-03-26

Applicant: 川崎重工业株式会社

Designer： 原田贵志 ,  山田怜

Abstract: 1．本外观设计产品的名称：工业用机械手。2．本外观设计产品的用途：工业用。3．本外观设计产品的设计要点：产品的形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：设计1立体图2。5．指定基本设计：设计1。