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公开(公告)号：CN117858780A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202280056381.8
申请日：2022-09-20
Applicant: 川崎重工业株式会社
Inventor： 中泽睦裕
IPC: B23K26/382 , B23K26/082 , G02B26/10
Abstract: 激光加工方法具备准备工序以及加工工序。在准备工序中，将加工对象即工件(100)设定在加工位置。在加工工序中，自加工头(13)对设定在加工位置的工件(100)照射通过光扫描装置的脉冲激光，在工件(100)上形成多个孔。通过使用光扫描装置扫描脉冲激光，周期性地重复进行以扫描速度使脉冲激光的照射位置自初始位置依序变化至终端位置之后返回至初始位置的动作。在加工工序中，以与光扫描装置的脉冲激光的扫描相反的方向且大致相同的速度使脉冲激光的对工件的照射位置变化，将一周期的脉冲激光照射在工件(100)上的大致相同的部位。
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公开(公告)号：CN113678048A
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202080026955.8
申请日：2020-02-06
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: G02B26/12 , B23K26/082
Abstract: 多面镜以旋转轴为中心进行旋转。在多面镜的多个边中的2个以上的边上分别配置有第一反射面以及第二反射面。所述第一反射面形成为相对于与所述旋转轴垂直的平面倾斜的平面状。所述第二反射面形成为相对于与所述旋转轴垂直的平面倾斜的平面状。入射到该多面镜的光通过所述第一反射面反射，然后由所述第二反射面反射。在多个所述边之间，第一反射面的相对于与所述旋转轴垂直的平面倾斜的方向、以及沿旋转轴的方向的所述第一反射面与所述第二反射面之间的距离中至少有一个不同。
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公开(公告)号：CN112689785A
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN201980057959.X
申请日：2019-08-30
Applicant: 川崎重工业株式会社
Inventor： 中泽睦裕
IPC: G02B26/10 , B23K26/064 , B23K26/082 , B23K26/38
Abstract: 激光扫描装置具备旋转部件(31)、透光玻璃(33)及反射镜。旋转部件(31)以旋转轴线为中心进行旋转。透光玻璃(33)配置在旋转部件(31)上。反射镜以激光入射在透光玻璃(33)上的方式导引该激光。当从平行于旋转轴线的视线方向观察旋转部件(31)时，连接多个透光玻璃(33)的内表面(33a)的形状是多边形。当将透光玻璃(33)的内表面(33a)与平行于旋转轴线的直线所夹的角度设为倾斜角时，多个透光玻璃(33)的倾斜角中至少2个倾斜角的值不同。
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公开(公告)号：CN112352186A
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN201980042685.7
申请日：2019-06-19
Applicant: 川崎重工业株式会社
Inventor： 中泽睦裕
IPC: G02B26/12 , B23K26/046 , B23K26/082
Abstract: 导光装置包含第一导光部、多面镜、及第二导光部。第一导光部反射并导引从激光产生器照射的激光。多面镜被可旋转地构成，具有以当沿旋转轴方向观察时构成正多边形状的反射面的方式配置的多个反射部(33)，且一面使通过第一导光部导引的光旋转，一面由该反射部(33)进行反射。第二导光部反射由多面镜的反射部(33)反射的激光，且按照每个该反射部(33)导引光以使激光分别照射在工件上。多面镜的反射部(33)，是以使入射的光的光轴朝旋转轴方向偏移而进行反射的方式构成。至少两个反射部(33)，在旋转轴方向上的位置互不相同。
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公开(公告)号：CN103384580B
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201280011088.6
申请日：2012-03-08
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: G02B26/12
CPC classification number: B23K26/043 , B23K26/0821 , B23K26/083 , B23K26/57 , G02B26/10 , G02B26/12 , G02B26/125 , G02B2207/117 , H01L31/0463 , H01L31/18 , Y02E10/50
Abstract: 本发明的光扫描装置（32）具备：使光以匀速发生角位移的同时进行发射的投光单元（65）；和用于反射从投光单元（65）发射的光，并且引导至规定的扫描线（52）上的任意的被照射点上的光反射单元（66）。光反射单元（66）具有多个反射部（71、72），并且将从投光单元（56）发射的光两次以上反射后引导至任意的被照射点上。各反射部（71、72）由多个反射面（77、78）构成。从投光单元（65）至被照射点的光路长度在扫描线（52）上的所有被照射点上大致一定，且从投光单元（65）发射的光在扫描线（52）上的扫描速度大致一定。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103946968A
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201280057588.3
申请日：2012-11-19
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B65G43/08 , B65G49/06
CPC classification number: B65G47/24 , B23K26/364 , B65G49/061 , B65G49/064 , B65G2249/02 , H01L21/67706 , H01L21/68
Abstract: 具备：保持搬运工件（5）的侧部的保持装置（3）；沿着轨道（6）向工件输送方向（X）搬运保持装置（3）的行驶装置（2）；和在行驶装置（2）的工件输送方向前部及后部支持保持装置（3）的支持机构（31、32）；支持机构（31、32）具有偏心轴（38），偏心轴（38）在前部或后部中的一个相对于设置在行驶装置（2）上的驱动轴的轴线（O1、O2）以规定的偏心量（e）向工件输送方向（X）偏心的位置上，且在前部或后部中的另一个向与工件输送方向（X）交叉的方向偏心的位置上具备与保持装置（3）接合的轴线（O3）；通过使偏心轴（38）的轴线（O3）以驱动轴（36、37）的轴线（O1、O2）为中心转动以此使保持装置（3）和行驶装置（2）的位置相对移动而修正搬运工件（5）的偏转，从而在搬运的同时修正在搬运工件的搬运中产生的偏转。
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公开(公告)号：CN103384580A
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN201280011088.6
申请日：2012-03-08
Applicant: 川崎重工业株式会社
CPC classification number: B23K26/043 , B23K26/0821 , B23K26/083 , B23K26/57 , G02B26/10 , G02B26/12 , G02B26/125 , G02B2207/117 , H01L31/0463 , H01L31/18 , Y02E10/50
Abstract: 本发明的光扫描装置（32）具备：使光以匀速发生角位移的同时进行发射的投光单元（65）；和用于反射从投光单元（65）发射的光，并且引导至规定的扫描线（52）上的任意的被照射点上的光反射单元（66）。光反射单元（66）具有多个反射部（71、72），并且将从投光单元（56）发射的光两次以上反射后引导至任意的被照射点上。各反射部（71、72）由多个反射面（77、78）构成。从投光单元（65）至被照射点的光路长度在扫描线（52）上的所有被照射点上大致一定，且从投光单元（65）发射的光在扫描线（52）上的扫描速度大致一定。
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公开(公告)号：CN117616322A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202280048220.4
申请日：2022-07-04
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: G02B26/12 , B23K26/082 , B23K26/064
Abstract: 激光扫描装置(13)包括第1导光部(20)、多边形镜(30)以及第2导光部(40)。第1导光部(20)反射并引导激光产生器(12)产生的激光。多边形镜(30)具有配置成多边形的反射面，且一边旋转一边以反射面反射通过第1导光部(20)引导的激光。第2导光部(40)进一步反射以多边形镜(30)的反射面反射的激光，且以激光照射在工件(100)上的方式引导激光。第1导光部(20)具备第1柱面透镜(21)，该第1柱面透镜(21)以激光在第1方向上的光束直径变小的方式对激光进行聚光。第2导光部(40)具备第2柱面透镜(43)，该第2柱面透镜(43)以激光在与第1方向正交的第2方向上的光束直径变小的方式对激光进行聚光。
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公开(公告)号：CN113574440B
公开(公告)日：2023-06-16
申请号：CN202080019168.0
申请日：2020-03-04
Applicant: 川崎重工业株式会社
Inventor： 中泽睦裕
IPC: G02B26/10 , B23K26/082 , G02B26/08
Abstract: 本发明的导光装置包括(13)多个反射单元(20)，这些反射单元(20)反射入射光且以照射在被照射物上的方式导引。所述多个反射单元(20)沿所述入射光的行进方向排列。所述多个反射单元(20)分别包括反射所述入射光的第一导光部件(51)。所述多个反射单元(20)，分别通过所述第一导光部件(51)旋转而在反射状态与通过状态之间进行切换，其中，该反射状态是使所述入射光反射的状态，该通过状态是使所述入射光通过的状态。在所述多个反射单元(20)之间，形成所述反射状态的时刻不同。在所述反射状态下，伴随所述第一导光部件(51)的旋转，所述入射光反射后的反射光产生偏转。所述反射光向被包括在扫描区域内的被照射点导引，该扫描区域供该反射单元(20)扫描所述被照射物。所述多个反射单元(20)的所述扫描区域与所述入射光的行进方向平行地排列配置。
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