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公开(公告)号：CN116190295A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202310480227.X
申请日：2023-04-28
Applicant: 季华实验室
IPC: H01L21/68 , H01L21/683 , H01L33/00
Abstract: 本发明涉及半导体加工技术领域，特别涉及一种半导体元器件转移装置及转移方法，在使用转移印章对半导体元器件进行转移时对转移印章的运动精度进行准确测量的目的，进而能够提升转移印章与半导体元器件之间的对准精度，保证了制备的产品的良品率，解决了相关技术中转移印章与临时载板或驱动电路背板对齐后，仅依靠导轨的大行程上下运动无法保证Micro LED芯片的精确拾取或者准确放置到驱动电路背板预定位置，从而导致转移的良率下降，影响后续相关制程的技术问题。
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公开(公告)号：CN113437195B
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN202110628372.9
申请日：2021-06-04
Applicant: 季华实验室
IPC: H01L33/48 , H01L21/683 , H01L21/67
Abstract: 本发明公开一种微型器件转移装置及转移方法，主题一包括控制模块、供给基板和转移头，所述供给基板的第一侧面设有若干列转移头，所述供给基板的第一侧面为朝所述供给基板方向弯曲的曲面，所述控制模块用于控制所述若干列转移头吸附和释放微型器件而转移微型器件。本发明通过转动供给基板使得若干列转移头上的微型器件依次与接收基板相接触，并利用控制模块控制若干列转移头依次释放微型器件，使得若干列转移头上的微型器件依次转移，由于采用分批分列的方式转移微型器件，从而有效提高微型器件巨量转移方式的转移良率，提高微型器件的生成效率。
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公开(公告)号：CN113437195A
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：CN202110628372.9
申请日：2021-06-04
Applicant: 季华实验室
IPC: H01L33/48 , H01L21/683 , H01L21/67
Abstract: 本发明公开一种微型器件转移装置及转移方法，主题一包括控制模块、供给基板和转移头，所述供给基板的第一侧面设有若干列转移头，所述供给基板的第一侧面为朝所述供给基板方向弯曲的曲面，所述控制模块用于控制所述若干列转移头吸附和释放微型器件而转移微型器件。本发明通过转动供给基板使得若干列转移头上的微型器件依次与接收基板相接触，并利用控制模块控制若干列转移头依次释放微型器件，使得若干列转移头上的微型器件依次转移，由于采用分批分列的方式转移微型器件，从而有效提高微型器件巨量转移方式的转移良率，提高微型器件的生成效率。
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公开(公告)号：CN116209108A
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202310337362.9
申请日：2023-03-31
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种电磁加热装置，通过在基板上设置有至少一个列电极、至少一个行电极和多个电磁感应单元，并使各个电磁感应单元的第一电极均与一个行电极连接，各个电磁感应单元的第二电极均与一个列电极连接，所有电磁感应单元的第一电极不全连接于同一个行电极，所有电磁感应单元的第二电极不全连接于同一个列电极，通过使对应的电磁感应单元自身的第一电极和第二电极中的一个与外部电源的正极连通，自身的第一电极和第二电极中的另一个与外部高频脉冲电源的高频脉冲发射电极连通，则对应的电磁感应单元即可产生对外加热的交变磁场，因此，可根据实际需要，有针对性地选择单个或多个电磁感应单元进行对外加热。
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公开(公告)号：CN115593915A
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202211243844.X
申请日：2022-10-11
Applicant: 季华实验室(CN)
IPC: B65G47/80
Abstract: 本发明公开一种高精度转台，所述高精度转台包括承载台、转盘和曲柄滑块驱动机构；所述转盘沿其旋转中心转动安装在所述承载台；所述曲柄滑块驱动机构，设于所述承载台与所述转盘之间，用于驱使所述转盘转动，所述曲柄滑块驱动机构包括直线运动模块组件、旋转运动模块组件和连杆组件，所述连杆组件连接所述直线运动模块组件和所述旋转运动模块组件，所述直线运动模块组件与所述承载台连接，所述旋转运动模块组件与所述转盘连接。本发明提供的高精度转台转角范围小，精度要求高，承载能力强，转动力矩高，转动平稳，适合各种场合。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115373433A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202211306426.0
申请日：2022-10-25
Applicant: 季华实验室
IPC: G05D3/12
Abstract: 本发明属于自动控制技术领域，公开了一种转台运动补偿方法、装置、设备及存储介质。该方法应用于曲柄滑块式转台，包括：确定初始条件参数，并根据初始条件参数构建转台控制函数；获取旋转组件对应的多个分段旋转角度；分别根据各个分段旋转角度驱动曲柄滑块式转台进行旋转，记录各分段对应的测量旋转角度；根据各分段对应的分段旋转角度和测量旋转角度计算转角偏差；根据转台控制函数将转角偏差转换为直线运动误差；根据直线运动误差对各分段下直线运动模块的直线运动位移进行补偿。通过上述方式，对转角进行校准，补偿直线运动模块的直线运动位移，提升了曲柄滑块式转台转角的控制精度。
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公开(公告)号：CN115309196A
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202211237952.6
申请日：2022-10-11
Applicant: 季华实验室
IPC: G05D3/12
Abstract: 本发明属于自动控制技术领域，公开了一种转台控制方法、装置、设备及存储介质。该方法应用于曲柄滑块式转台，包括：获取旋转组件对应的待旋转角度；基于预设函数关系根据待旋转角度计算目标距离；控制直线运动模块的运动距离达到目标距离。通过上述方式，建立直线运动距离与旋转角度之间的函数关系，利用函数关系结合旋转角度需求，控制直线运动模块的直线运动距离，实现了高精度控制转台的旋转角度。
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公开(公告)号：CN116503493B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310766913.3
申请日：2023-06-27
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及高精度装备技术领域，具体提供了一种多相机标定方法、高精度装备及计算机可读存储介质，该方法包括以下步骤：S1、控制驱动组件驱动标定板沿X轴方向或Y轴方向移动，并获取各台相机的第一图像信息，再根据第一图像信息计算对应相机的安装偏转角度信息；S2、基于预设间距控制驱动组件驱动标定板沿Y轴移动，以使标定板先后进入所有相机的相机视野，并获取各台相机的第二图像信息，再根据第二图像信息、安装偏转角度信息和预设间距计算多台相机之间的安装偏差信息；S3、基于安装偏转角度信息和安装偏差信息确定多台相机之间的位姿关系；该方法能够降低多相机标定方法的标定成本、简化计算过程以及提高多相机标定方法的标定精度。
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公开(公告)号：CN116503493A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202310766913.3
申请日：2023-06-27
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及高精度装备技术领域，具体提供了一种多相机标定方法、高精度装备及计算机可读存储介质，该方法包括以下步骤：S1、控制驱动组件驱动标定板沿X轴方向或Y轴方向移动，并获取各台相机的第一图像信息，再根据第一图像信息计算对应相机的安装偏转角度信息；S2、基于预设间距控制驱动组件驱动标定板沿Y轴移动，以使标定板先后进入所有相机的相机视野，并获取各台相机的第二图像信息，再根据第二图像信息、安装偏转角度信息和预设间距计算多台相机之间的安装偏差信息；S3、基于安装偏转角度信息和安装偏差信息确定多台相机之间的位姿关系；该方法能够降低多相机标定方法的标定成本、简化计算过程以及提高多相机标定方法的标定精度。
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公开(公告)号：CN115309196B
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202211237952.6
申请日：2022-10-11
Applicant: 季华实验室
IPC: G05D3/12
Abstract: 本发明属于自动控制技术领域，公开了一种转台控制方法、装置、设备及存储介质。该方法应用于曲柄滑块式转台，包括：获取旋转组件对应的待旋转角度；基于预设函数关系根据待旋转角度计算目标距离；控制直线运动模块的运动距离达到目标距离。通过上述方式，建立直线运动距离与旋转角度之间的函数关系，利用函数关系结合旋转角度需求，控制直线运动模块的直线运动距离，实现了高精度控制转台的旋转角度。
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