光位移传感器和机械手
    13.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102859329B

    公开(公告)日:2015-09-23

    申请号:CN201180021428.9

    申请日:2011-03-16

    Inventor: 饭田雅敏

    Abstract: 使光位移传感器具有:金属管(114),其一端被封闭;金属管(112),其与金属管(114)具有嵌套构造的关系,可以引导金属管(114)在其长度方向上移动;光源(122)和光纤(118),它们向金属管(114)内部提供光;以及光功率计(124),其检测来自金属管(114)内部的反射光量的变化。金属管(114)沿着其长度方向具有狭缝(132),光功率计(124)检测来自金属管(114)内部的反射光量的变化,该反射光量的变化是由伴随金属管(114)的长度方向上的移动而产生的狭缝(132)的开口量的变化所引起的。

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