公开(公告)号：CN116479515A

公开(公告)日：2023-07-25

申请号：CN202211660661.8

申请日：2022-12-23

Applicant: 国立大学法人信州大学 ,  不二越机械工业株式会社

Inventor： 干川圭吾 ,  太子敏则 ,  小林拓实

IPC: C30B11/00 ,  C30B11/14 ,  C30B29/16

Abstract: 提供金属氧化物单晶的制造装置和制造方法，在金属氧化物单晶的制造装置、特别是在氧化气氛下制造高熔点的金属氧化物单晶的金属氧化物单晶的制造装置中，在进行加种时，在种晶中可靠地产生结晶培育方向的温度差，可靠地进行加种。本发明的金属氧化物单晶的制造装置(10)具备：用于收纳结晶原料(36)和种晶(34)的坩埚(18)，其具有第1端部(18a)和第2端部(18b)，在第1端部(18a)侧配置结晶原料(36)，在第2端部(18b)侧配置种晶(34)；对坩埚(18)进行加热的发热体(30)；以及冷却棒(44)，其具有第3端部(44a)和第4端部(44b)，第3端部(44a)与坩埚(18)的第2端部(18b)抵接或靠近地进行设置，通过夺取第2端部(18b)的热而将第2端部(18b)冷却。

公开(公告)号：CN113930841A

公开(公告)日：2022-01-14

申请号：CN202111202574.3

申请日：2017-04-19

Applicant: 国立大学法人信州大学 ,  不二越机械工业株式会社

Inventor： 干川圭吾 ,  小林拓实 ,  大叶悦子 ,  柳泽润

IPC: C30B29/16 ,  C30B11/00 ,  C22C5/04

Abstract: 本发明的课题在于提供能够实现氧化镓晶体的大型化、高品质化的氧化镓晶体的制造装置和氧化镓晶体的制造方法。本发明的氧化镓晶体的制造装置(10)由具备基体(12)、炉主体(14)、盖体(18)、发热体(20)、坩埚支承轴(24)和坩埚(30)的垂直布里奇曼炉构成，本发明的氧化镓晶体的制造装置(10)的特征在于，坩埚(30)为Pt系合金制的坩埚，炉主体(14)的内壁形成为由两个以上具有所需高度的环状的耐热部件(32b)层叠而成的耐热壁(32)，并且，环状的耐热部件(32b)通过将两个以上的分割片(32a)接合而形成为环状。

公开(公告)号：CN108531990A

公开(公告)日：2018-09-14

申请号：CN201810132067.9

申请日：2018-02-09

Applicant: 不二越机械工业株式会社 ,  国立大学法人信州大学

Inventor： 干川圭吾 ,  藤原靖幸 ,  小浜惠一 ,  中西真二 ,  小林拓实 ,  大叶悦子

IPC: C30B29/16 ,  C30B11/00

Abstract: 本发明提供实现发热体的长寿命化、实现成本的降低化的单晶制造装置。本发明的单晶制造装置(10)是在氧化气氛中制造金属氧化物的单晶的单晶制造装置(10)，其具备：基体(12)；配设在该基体(12)上的具有耐热性的筒状的炉主体(14)；将该炉主体(14)封闭的盖体(16)；配设于炉主体(14)内的发热体(20)；利用高频感应加热对该发热体(20)进行加热的高频线圈(22)；以及由发热体(20)进行加热的坩埚(28)，单晶制造装置(10)的特征在于，发热体(20)由Pt系合金构成，在整个面上施有氧化锆涂层。

公开(公告)号：CN107858753A

公开(公告)日：2018-03-30

申请号：CN201710831003.3

申请日：2017-09-15

Applicant: 国立大学法人信州大学 ,  不二越机械工业株式会社

Inventor： 干川圭吾 ,  小林拓实 ,  大叶悦子

IPC: C30B29/30 ,  C30B11/02

CPC classification number: C30B29/30 ,  C30B11/002 ,  C30B11/003 ,  C30B11/02

Abstract: 本发明提供钽酸锂晶体的制造装置和钽酸锂晶体的制造方法，该制造装置能够使用铂制坩埚制造高品质的钽酸锂晶体。本发明的钽酸锂晶体的制造装置(10)由垂直布里奇曼炉或垂直梯度凝固炉构成，该垂直布里奇曼炉或垂直梯度凝固炉具备：基体(12)；配设于基体(12)上的具有耐热性的筒状的炉主体(14)；将炉主体(14)封闭的盖体(18)；配设于炉主体(14)内的发热体(20)；贯通基体(12)并以上下自由移动的方式设置的坩埚支承轴(24)；和配设于坩埚支承轴(24)上并由发热体(20)进行加热的坩埚(30)，所述钽酸锂晶体的制造装置(10)的特征在于，坩埚(30)为铂制的坩埚(30)。

公开(公告)号：CN100408270C

公开(公告)日：2008-08-06

申请号：CN03157784.9

申请日：2003-08-29

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 守屋纪彦 ,  神田智树 ,  小林拓实 ,  锻治仓惇

IPC: B24B39/06 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/08

Abstract: 本发明抛光机可以均匀地把压力从上抛光片施加到容纳在载体通孔中的工件之上。该抛光机包括：多个围绕上抛光片的重心设置并夹在抛光片之间的载体。不绕自己的轴线回转的载体的圆周运动是分别独立地进行的。诸载体的承载的诸工件的重心同时移近上抛光片的重心也同时从重心处移开，且诸工件重心所移动的距离是相等的。

公开(公告)号：CN113308735A

公开(公告)日：2021-08-27

申请号：CN202110135745.9

申请日：2021-02-01

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 干川圭吾 ,  小林拓实 ,  大塚美雄

IPC: C30B29/16 ,  C30B11/00 ,  C22C5/04

Abstract: 本发明提供一种金属氧化物单晶生长用坩埚，容易获得坩埚的定径部的厚度和强度(硬度)的平衡，还能进行大径的晶体的生长。本发明的坩埚(10)为一种金属氧化物单晶生长用的坩埚，其特征在于，坩埚(10)的定径部(20)的外周面上设置有增强用的带材(22)。另外，可以采用坩埚(10)的上部(18)的厚度比坩埚(10)的下部(12)的厚度形成得薄、坩埚(10)的上部(18)为定径部(20)的坩埚(10)。

公开(公告)号：CN1488470A

公开(公告)日：2004-04-14

申请号：CN03157784.9

申请日：2003-08-29

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 守屋纪彦 ,  神田智树 ,  小林拓实 ,  锻治仓惇

IPC: B24B39/06 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/08

Abstract: 本发明抛光机可以均匀地把压力从上抛光片施加到容纳在载体通孔中的工件之上。该抛光机包括：多个围绕上抛光片的重心设置并夹在抛光片之间的载体。不绕自己的轴线回转的载体的圆周运动是分别独立地进行的。诸载体的承载的诸工件的重心同时移近上抛光片的重心也同时从重心处移开，且诸工件重心所移动的距离是相等的。

公开(公告)号：CN114318493A

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN202111169628.0

申请日：2021-10-08

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 干川圭吾 ,  小林拓实 ,  大塚美雄 ,  太子敏则

IPC: C30B11/00 ,  C30B29/16

Abstract: 提供一种氧化镓晶体的制造装置，其是使用了电阻加热发热体的晶体制造装置，具备低成本且能够抑制热所致的变形及破损的发热体。本发明的氧化镓晶体的制造装置(10)具备由耐热材料(14a)构成的炉主体(14)、配置于上述炉主体(14)内的坩埚(22)、和配设在上述坩埚(22)的周围的发热体(34)，上述发热体(34)是发热部(34a)和直径大于该发热部(34a)的导电部(34b)连结而成的电阻加热发热体，上述发热部(34a)由具有1850[℃]的耐热性的材质构成，上述导电部(34b)由具有1800[℃]的耐热性的材质构成。