公开(公告)号：CN1488470A

公开(公告)日：2004-04-14

申请号：CN03157784.9

申请日：2003-08-29

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 守屋纪彦 ,  神田智树 ,  小林拓实 ,  锻治仓惇

IPC: B24B39/06 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/08

Abstract: 本发明抛光机可以均匀地把压力从上抛光片施加到容纳在载体通孔中的工件之上。该抛光机包括：多个围绕上抛光片的重心设置并夹在抛光片之间的载体。不绕自己的轴线回转的载体的圆周运动是分别独立地进行的。诸载体的承载的诸工件的重心同时移近上抛光片的重心也同时从重心处移开，且诸工件重心所移动的距离是相等的。

公开(公告)号：CN100408270C

公开(公告)日：2008-08-06

申请号：CN03157784.9

申请日：2003-08-29

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 守屋纪彦 ,  神田智树 ,  小林拓实 ,  锻治仓惇

IPC: B24B39/06 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/08

Abstract: 本发明抛光机可以均匀地把压力从上抛光片施加到容纳在载体通孔中的工件之上。该抛光机包括：多个围绕上抛光片的重心设置并夹在抛光片之间的载体。不绕自己的轴线回转的载体的圆周运动是分别独立地进行的。诸载体的承载的诸工件的重心同时移近上抛光片的重心也同时从重心处移开，且诸工件重心所移动的距离是相等的。