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公开(公告)号：CN103035557A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201210370793.7
申请日：2012-09-28
Applicant: 不二越机械工业株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明提供向坯料粘接切削余量板及安装板的粘接方法及粘接装置。该粘接方法利用由主剂与固化剂构成的双组分粘接剂将用于将切削余量板（22）及坯料（23）安装在钢丝锯上的安装板（21）粘接在坯料的外表面上，其特征在于，在按照所需图案将双组分粘接剂涂敷在安装板与切削余量板之间的粘接面及切削余量板与坯料之间的粘接面上的工序中，在粘接面的各拐角部的所需部位上将混合后的双组分粘接剂涂敷成点状，并且，在粘接面的宽度方向中央部将混合后的双组分粘接剂涂敷成沿粘接面的长度方向延伸的带状，利用来自坯料侧的载荷使双组分粘接剂自点状部向粘接面的角部方向延展，自带状部向粘接面的宽度方向延展。
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公开(公告)号：CN114808126A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202111676694.7
申请日：2021-12-31
Applicant: 不二越机械工业株式会社 , 国立大学法人信州大学
Abstract: 本发明提供一种氧化镓晶体的制造装置以及使用该装置的氧化镓晶体的制造方法，该装置是应用了垂直布里奇曼法的晶体制造装置，其能够将炉内空间维持在特定温度，防止因坩埚的骤冷所致的晶体品质的降低，将氧化镓晶体稳定地取出到装置外。本发明的氧化镓晶体的制造装置(10)具备：由耐热材料(14a)构成的炉主体(14)；坩埚支承轴(16)，其沿上下方向贯通炉主体(14)的底部而在炉主体(14)内延伸设置，构成为上下移动自如；坩埚(22)，其配置在坩埚支承轴(16)上，存储氧化镓晶体的原料；主体加热器(34)，其配设在坩埚(22)的周围，对坩埚(22)进行加热；以及缓冷室(36)，其与炉主体(14)的炉内空间(15)连通地设置在炉主体(14)的下方，将坩埚(22)缓慢冷却。
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公开(公告)号：CN114808105A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210092056.9
申请日：2022-01-26
Applicant: 不二越机械工业株式会社 , 国立大学法人信州大学
Abstract: 本发明的课题在于提供一种金属氧化物单晶制造装置，其能够防止在氧化气氛的高温炉内生成的以氮氧化物为例的有害物质向炉周围的扩散。本发明的金属氧化物单晶制造装置(10)是在氧化气氛下以1500℃以上的温度将炉(14)内加热的金属氧化物单晶制造装置(10)，其具备：对炉(14)内进行加热的发热体(34)；设置在上述炉(14)中的下部侧、将上述炉(14)的内外连通的吸气管(24)；设置在上述炉(14)中的上部侧、将上述炉(14)的内外连通的排气管(26)；设置在比上述炉(14)靠上方的位置的管道(36)；以及设置在上述管道(36)的中途的排气扇(38)和有害物质除去装置(40)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113308735A
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN202110135745.9
申请日：2021-02-01
Applicant: 不二越机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种金属氧化物单晶生长用坩埚，容易获得坩埚的定径部的厚度和强度(硬度)的平衡，还能进行大径的晶体的生长。本发明的坩埚(10)为一种金属氧化物单晶生长用的坩埚，其特征在于，坩埚(10)的定径部(20)的外周面上设置有增强用的带材(22)。另外，可以采用坩埚(10)的上部(18)的厚度比坩埚(10)的下部(12)的厚度形成得薄、坩埚(10)的上部(18)为定径部(20)的坩埚(10)。
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公开(公告)号：CN103846781A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201310641959.9
申请日：2013-12-03
Applicant: 不二越机械工业株式会社 , 独立行政法人产业技术综合研究所
IPC: B24B37/10
CPC classification number: B24B7/228 , B24B37/105 , B24B37/16 , B24B37/26 , B24B37/30 , B24B37/345 , B24B53/017 , H01L21/02041
Abstract: 晶圆研磨设备包括研磨板、能够保持晶圆的研磨头和研磨液供给部。该研磨板包括：多个同心的研磨区，各研磨区均具有用于研磨晶圆的规定宽度并且在各研磨区上均贴附研磨布；以及用于排出研磨液的槽，该槽形成在研磨区之间。用于清洁研磨头的头清洁部或用于清洁研磨后的晶圆的晶圆清洁部设置到研磨板的中心部分并且位于最内侧研磨区的内侧。
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公开(公告)号：CN114318493A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111169628.0
申请日：2021-10-08
Applicant: 不二越机械工业株式会社
Abstract: 提供一种氧化镓晶体的制造装置，其是使用了电阻加热发热体的晶体制造装置，具备低成本且能够抑制热所致的变形及破损的发热体。本发明的氧化镓晶体的制造装置(10)具备由耐热材料(14a)构成的炉主体(14)、配置于上述炉主体(14)内的坩埚(22)、和配设在上述坩埚(22)的周围的发热体(34)，上述发热体(34)是发热部(34a)和直径大于该发热部(34a)的导电部(34b)连结而成的电阻加热发热体，上述发热部(34a)由具有1850[℃]的耐热性的材质构成，上述导电部(34b)由具有1800[℃]的耐热性的材质构成。
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公开(公告)号：CN103846781B
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：CN201310641959.9
申请日：2013-12-03
Applicant: 不二越机械工业株式会社 , 独立行政法人产业技术综合研究所
IPC: B24B37/10
CPC classification number: B24B7/228 , B24B37/105 , B24B37/16 , B24B37/26 , B24B37/30 , B24B37/345 , B24B53/017
Abstract: 晶圆研磨设备包括研磨板、能够保持晶圆的研磨头和研磨液供给部。该研磨板包括：多个同心的研磨区，各研磨区均具有用于研磨晶圆的规定宽度并且在各研磨区上均贴附研磨布；以及用于排出研磨液的槽，该槽形成在研磨区之间。用于清洁研磨头的头清洁部或用于清洁研磨后的晶圆的晶圆清洁部设置到研磨板的中心部分并且位于最内侧研磨区的内侧。
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公开(公告)号：CN103035557B
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201210370793.7
申请日：2012-09-28
Applicant: 不二越机械工业株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明提供向坯料粘接切削余量板及安装板的粘接方法及粘接装置。该粘接方法利用由主剂与固化剂构成的双组分粘接剂将用于将切削余量板（22）及坯料（23）安装在钢丝锯上的安装板（21）粘接在坯料的外表面上，其特征在于，在按照所需图案将双组分粘接剂涂敷在安装板与切削余量板之间的粘接面及切削余量板与坯料之间的粘接面上的工序中，在粘接面的各拐角部的所需部位上将混合后的双组分粘接剂涂敷成点状，并且，在粘接面的宽度方向中央部将混合后的双组分粘接剂涂敷成沿粘接面的长度方向延伸的带状，利用来自坯料侧的载荷使双组分粘接剂自点状部向粘接面的角部方向延展，自带状部向粘接面的宽度方向延展。
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