公开(公告)号：CN100408270C

公开(公告)日：2008-08-06

申请号：CN03157784.9

申请日：2003-08-29

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 守屋纪彦 ,  神田智树 ,  小林拓实 ,  锻治仓惇

IPC: B24B39/06 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/08

Abstract: 本发明抛光机可以均匀地把压力从上抛光片施加到容纳在载体通孔中的工件之上。该抛光机包括：多个围绕上抛光片的重心设置并夹在抛光片之间的载体。不绕自己的轴线回转的载体的圆周运动是分别独立地进行的。诸载体的承载的诸工件的重心同时移近上抛光片的重心也同时从重心处移开，且诸工件重心所移动的距离是相等的。

公开(公告)号：CN115116817A

公开(公告)日：2022-09-27

申请号：CN202210263158.2

申请日：2022-03-17

Applicant: 国立大学法人长冈技术科学大学 ,  土肥俊郎 ,  不二越机械工业株式会社

Inventor： 会田英雄 ,  武田秀俊 ,  土肥俊郎 ,  宫下忠一 ,  锻治仓惇

IPC: H01J37/32

Abstract: 本发明提供工件加工装置，能够对使用难加工材料形成的工件实现高加工速率，在短时间内稳定地进行加工。本发明的工件加工装置(1)是使加工头(14)与保持于保持板(20)的上表面的工件(W)滑动接触而进行加工的工件加工装置，其中，加工头(14)具有产生等离子体而将等离子体照射到工件(W)的被加工面的等离子体电极(30)，等离子体电极(30)的设置于径向中心的环状或圆柱状的中心电极(31)和相对于中心电极(31)设置于径向外侧的环状的外周电极(32)在边界位置隔着环状的缝部(36)而配设，并且缝部(36)构成为等离子体产生空间，在中心电极(31)和外周电极(32)的底面设置有加工垫(40)。

公开(公告)号：CN1488470A

公开(公告)日：2004-04-14

申请号：CN03157784.9

申请日：2003-08-29

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 守屋纪彦 ,  神田智树 ,  小林拓实 ,  锻治仓惇

IPC: B24B39/06 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/08

Abstract: 本发明抛光机可以均匀地把压力从上抛光片施加到容纳在载体通孔中的工件之上。该抛光机包括：多个围绕上抛光片的重心设置并夹在抛光片之间的载体。不绕自己的轴线回转的载体的圆周运动是分别独立地进行的。诸载体的承载的诸工件的重心同时移近上抛光片的重心也同时从重心处移开，且诸工件重心所移动的距离是相等的。