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公开(公告)号：CN104272074A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201380022589.9
申请日：2013-03-19
Applicant: 精工电子有限公司 , 国立大学法人东京大学
CPC classification number: G01L1/16 , G01L1/10 , G01L9/0002 , G01L9/0045 , G01L9/008 , G01L13/06 , G01L23/04
Abstract: 该压力传感器具备：传感器主体，具有第一面和在所述第一面具有开口的空腔；悬臂，具有支撑在所述第一面上的基端部、以及在所述开口的内侧在与所述开口的周缘之间以形成间隙的方式而配设的前端部，所述悬臂由按照所述空腔的内部和外部的压力差而弯曲变形的半导体材料形成；以及位移测定部，以比按照用G表示所述间隙的宽度（μm）、用V表示所述空腔的容积（ml）、用k表示比例常数的下述式（1）而规定的下限频率fLOW（Hz）更大的频率、测定按照所述压力差而振动的所述悬臂的位移。。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103988071A
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201280060963.X
申请日：2012-12-27
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 欧姆龙株式会社
IPC: G01N27/00 , G01N27/414 , H01L29/786 , H01L51/05 , H01L51/30
CPC classification number: G01N27/48 , G01N27/4141 , G01N27/4146 , G01N33/004 , G01N33/0054 , H01L51/0048 , H01L51/0508 , Y02A50/246
Abstract: 本发明提供一种气体传感器，与现有的气体传感器相比能够以简单结构提高对气体的检测灵敏度。在该气体传感器中，在离子液体(IL)中形成有具有栅绝缘层的双电层，因吸收气体而产生的离子液体(IL)的栅绝缘层的状态变化直接反映到在碳纳米管(8)中流动的源漏电流(Isd)，因此与现有的气体传感器相比能够提高对气体的检测灵敏度。另外，只要将离子液体(IL)按照与碳纳米管(8)和栅极(7)接触的方式设置在基板(2)上即可，因此不需要像现有的气体传感器那样用多种聚合物对碳纳米管进行表面化学修饰的结构，因此能够使其结构相应地变得简单。
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公开(公告)号：CN113167668A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201880099672.9
申请日：2018-11-26
Applicant: 国立大学法人东京大学
Abstract: 提供小型且检测灵敏度高的、用于对3个轴方向的力和绕轴的力矩进行检测的多轴触觉传感器。本发明的多轴触觉传感器1是用于对3个轴方向的力和至少1个轴的绕轴的力矩进行检测的多轴触觉传感器1，其具备至少4个传感器元件，该至少4个传感器元件包括具有在规定部位具备第1电阻层43、第2电阻层53的梁构造的至少3个剪切力检测元件20、和具有在规定部位具备第3电阻层63、第4电阻层73的梁构造的至少1个按压力检测元件30，4个传感器元件的梁构造分别以其长度方向成为放射状的方式配置于传感器基板2，基于多个传感器元件中的配置于以放射状配置的中心为基准而旋转对称的位置的、2个以上的传感器元件的输出而对至少1个轴的绕轴的力矩进行检测。
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公开(公告)号：CN106572935A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201580037450.0
申请日：2015-07-09
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 丰田自动车株式会社
Abstract: 提供一种能够通过简单的结构而在各种环境下都适用的走行装置。本实施方式所涉及的走行装置具备：作为驱动轮的前轮(11)；上框架(21)；第1直线运动机构(22)，其被设置成可伸缩，连结前轮(11)和上框架(21)；中轮(12)，其配置于前轮(11)的后侧；第2直线运动机构(23)，其被设置成可伸缩，连结搭乘部和中轮；后轮(13)，其设置于中轮(12)的后侧；下连杆(25)，其连结中轮(12)和后轮(13)；后连杆(24)，其连结下连杆(25)和上框架(21)；以及第3直线运动机构(26)，其改变上框架(21)与后连杆(24)之间的角度。
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公开(公告)号：CN106062524A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201580012348.5
申请日：2015-02-27
Applicant: 精工电子有限公司 , 国立大学法人东京大学
CPC classification number: G01L9/0054 , G01L9/0002 , G01L9/0023 , G01L9/0042
Abstract: 本发明为检测压力波动的压力传感器(1)，具备与传感器本体的腔的内部和外部的压力差对应地挠曲变形的悬臂(4)、以及在悬臂的基端部(4a)形成的第一间隙(21)、第二间隙(22)以及第三间隙(23)。第一～第三间隙将悬臂的基端部在平面视图中沿与连结基端部和悬臂的顶端部(4b)的第一方向(X1)正交的第二方向(X2)电气地划分为第一支撑部(24)以及第二支撑部(25)、和第一位移检测部(26)以及第二位移检测部(27)。第一及第二位移检测部在第一及第二支撑部之间检测与悬臂的挠曲变形对应的位移。
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公开(公告)号：CN104272074B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201380022589.9
申请日：2013-03-19
Applicant: 精工电子有限公司 , 国立大学法人东京大学
CPC classification number: G01L1/16 , G01L1/10 , G01L9/0002 , G01L9/0045 , G01L9/008 , G01L13/06 , G01L23/04
Abstract: 该压力传感器具备：传感器主体，具有第一面和在所述第一面具有开口的空腔；悬臂，具有支撑在所述第一面上的基端部、以及在所述开口的内侧在与所述开口的周缘之间以形成间隙的方式而配设的前端部，所述悬臂由按照所述空腔的内部和外部的压力差而弯曲变形的半导体材料形成；以及位移测定部，以比按照用G表示所述间隙的宽度（μm）、用V表示所述空腔的容积（ml）、用k表示比例常数的下述式（1）而规定的下限频率fLOW（Hz）更大的频率、测定按照所述压力差而振动的所述悬臂的位移。 。
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