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公开(公告)号：CN112770547A
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN202011613131.9
申请日：2020-12-30
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明提供一种高集成度液体金属柔性电路制备方法，解决现有柔性电路制备方法存在特征线宽过大、集成度低、制备流程复杂、成本高以及无法制备多层液体金属电路的问题。该方法包括：步骤一、清洗柔性基底；步骤二、飞秒激光直写电路图案；步骤三、分别清洗带有电路图案的柔性基底和另一片未加工的柔性基底；步骤四、氧等离子体键合；步骤五、液体金属灌注；该方法流程简单快速、成本较低，使得液体金属电路不再局限于单层电路，而且能够很容易实现多层液体金属柔性电路的制备。
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公开(公告)号：CN112570911A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN202011286364.2
申请日：2020-11-17
Applicant: 西安交通大学
IPC: B23K26/382 , B23K26/064 , B23K26/03 , B23K26/04 , B82Y40/00
Abstract: 本发明提供一种利用锥透镜实现硬脆材料纳米级小孔的加工系统及方法，解决现有利用锥透镜在硬脆性材料表面制备小孔时难以加工亚30nm以下小孔以及小孔结构均匀性较差的问题。本发明加工系统包括飞秒激光器、偏振控制模块、能量控制模块、锥透镜、准直镜、显微加工模块、控制系统、球透镜和光谱探测模块；偏振控制模块、能量控制模块、锥透镜、准直镜、显微加工模块沿飞秒激光器的出射光路依次设置，控制系统分别控制光谱探测模块、飞秒激光器和显微加工模块；光谱探测模块通过球透镜对纳米小孔的光散射信息进行采集，并将该信息反馈至控制系统，控制系统根据该信息对贝塞尔光针在硬脆材料中的位置进行精确补偿控制和修正。
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公开(公告)号：CN105498315A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201510979755.5
申请日：2015-12-23
Applicant: 西安交通大学
CPC classification number: B01D24/12 , B01D17/02 , C02F1/001 , C02F2101/32 , C02F2101/34 , C02F2101/36
Abstract: 本发明涉及一种可实现油水分离的装置及方法。该装置包括上下均设置有开口的过滤容器、将过滤容器上下隔开的支撑滤网、铺设在支撑滤网上的一层细沙、设置在过滤容器下开口下方的接水容器；支撑滤网的孔径小于细沙的粒径；细沙为被水润湿的细沙。首先将细沙铺设在上下均开口的过滤容器内的滤网上方；再用适量的水将细沙全部润湿；再将油水混合物从重力式分离装置的上方缓慢倒在过滤容器的细沙上；再用接水容器收集过滤容器下部开口处流出的水；留在细沙上方的液体即为从油水混合物中分离出的油。本发明步骤过程简单，细沙价格低廉且可以大规模使用，油水分离的效率很高，不会造成环境污染。
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公开(公告)号：CN102757014B
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201210207758.3
申请日：2012-06-21
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种玻璃棒表面微透镜阵列的制备方法，将用于制备微透镜阵列的玻璃棒置于飞秒加工平台上；根据加工所需，控制飞秒加工平台的移动，同时控制单点的辐照，在玻璃棒表面烧蚀出所需的弹坑阵列；将带有烧蚀弹坑的玻璃棒置于氢氟酸稀释溶液中，并且用超声波水浴加热辅助，将玻璃棒从氢氟酸的稀释溶液中取出，在超声波水浴条件下，依次在丙酮、无水乙醇、去离子水中清洗；即可得到表面具有微透镜阵列的玻璃棒；本发明利用飞秒激光逐点辐照辅助化学湿法刻蚀工艺，在玻璃棒表面实现了高质量的微透镜阵列的制备。
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公开(公告)号：CN102789884B
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201210208111.2
申请日：2012-06-21
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种石英材料内部的螺线管微电感的制备方法，加工无磁芯结构螺线管微电感和有磁芯结构螺线管微电感。通过飞秒激光诱导化学腐蚀工艺在石英材料内部加工出三维螺旋微通道；结合微流体工艺将液态导电介质导入该螺旋微通道中，导电介质固化后获得微电感的螺旋导电线圈。同样通过飞秒激光诱导化学腐蚀工艺在石英材料内部加工螺线微电感轴线方向的微通道；向该通道中导入磁芯材料颗粒悬浮液，悬浮液固化后获得螺线管微电感磁芯；本发明提供的螺线管微电感三维空间结构可控，制备过程操作简单可靠，制作精度高，电感性能优良。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103018799A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210548434.6
申请日：2012-12-17
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 利用飞秒激光湿法刻蚀技术制备大规模准周期微透镜阵列的方法，根据所需要加工的准周期微透镜个体平均尺寸，控制精密加工平台移动靶材的速率，飞秒激光每隔固定时间在靶材表面作用1个脉冲，在靶材上以飞秒激光脉冲作用焦点为中心产生一个光破坏区；利用体积浓度为1％至10％的氢氟酸溶液对飞秒激光加工后的靶材进行化学腐蚀，并且用超声波水浴加热辅助，将腐蚀之后的靶材在去离子水中彻底清洗干净，即为一块大规模准周期微透镜阵列的模板成品；本发明具有高效率、低成本、微透镜个体形貌尺寸可控等优点，并且能够有效避免匀光过程中产生的激光聚焦空气击穿效应、周期光场耦合叠加效应等负面影响。
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公开(公告)号：CN102785025A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201210207759.8
申请日：2012-06-21
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 利用飞秒激光增强化学刻蚀制备大规模微透镜阵列的方法，选取作为飞秒激光作用靶材的硬质材料，根据所需要加工的微透镜阵列形状，控制精密加工平台移动靶材的速率，飞秒激光在靶材表面作用100至1000个脉冲数，脉冲频率为1KHz，由于飞秒激光特殊的加工特性，在靶材上以飞秒激光作用焦点为中心产生一个光破坏区；利用体积浓度为1％至10％的氢氟酸溶液对飞秒激光加工后的靶材进行化学腐蚀，并且用超声波水浴加热辅助，加热温度为30～80摄氏度，加热时间为40～80分钟；将腐蚀之后的靶材在去离子水中彻底清洗干净，即为一块大规模微透镜阵列的模板成品，本发明结合传统化学刻蚀工艺，最终实现大规模微透镜阵列低成本、高效率的批量生产。
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公开(公告)号：CN101329508A
公开(公告)日：2008-12-24
申请号：CN200810150464.5
申请日：2008-07-25
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种利用飞秒激光制备微纳压印模版的方法，该方法将适合制作微纳压印模具的硬质材料固定在三维精密平移台上，利用显微物镜将一束飞秒激光聚焦在样品表面，根据微纳结构与器件压印模斑的结构设计，通过飞秒激光刻蚀和三维精密移动平台的配合运动对材料进行微纳加工，实现微纳压印模版的制备。该发明将飞秒激光微纳加工技术同成熟的压印成型技术结合，可以批量制备出复杂及三维的微纳结构与器件，大大提高了微纳结构与器件的制备效率，促进了微纳压印技术与飞秒激光微纳加工技术的发展。
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公开(公告)号：CN101311358A
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200810017839.0
申请日：2008-03-28
Applicant: 西安交通大学
IPC: C30B29/16 , C30B28/02 , H01L31/0296
Abstract: 本发明公开了一种飞秒激光制备氧化锌纳米线阵列的方法及其装置，属于微纳米材料制备和飞秒激光微加工技术领域，与氧化锌材料的周期性纳米微结构有关，特别是一种利用飞秒激光辐射场在氧化锌靶材上制备周期性纳米线阵列的方法。氧化锌纳米线阵列制备时先将氧化锌靶材固定在二维精密位移台上，然后将一束光飞秒激光经透镜聚焦，并使之作用于氧化锌靶材上，通过飞秒诱导和二维精密位移台配合扫描，产生氧化锌周期性纳米线阵列。本发明具有制备效率高，适用范围广，处理得到的氧化锌纳米线阵列排列整齐、均匀。
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公开(公告)号：CN119926538A
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202411992757.3
申请日：2024-12-31
Applicant: 西安交通大学
IPC: B01L3/00
Abstract: 本发明提供了一种PDMS内壁的石英玻璃微通道结构及其制备方法，用于解决现有石英玻璃的微通道内壁较为粗糙，且采用溶剂挥发成膜法在微通道内壁制备有机物薄膜时存在的溶液在微通道内的挥发过程不可控，导致薄膜厚度均匀性较差，或者当溶液浓度较低时，其难以沿微通道纵向形成连续的薄膜，或者当溶液浓度较高时，溶剂挥发后容易出现有机物堵塞微通道的技术问题。本发明提供的PDMS内壁的石英玻璃微通道结构的制备方法，采用低温处理+梯度热固化+恒压吹气的方法在石英玻璃的微通道内壁上制备PDMS薄膜，获得的PDMS薄膜连续性和均匀性好，可以显著改善石英玻璃微通道内壁的粗糙度。
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