一种高集成度液体金属柔性电路制备方法

    公开(公告)号:CN112770547A

    公开(公告)日:2021-05-07

    申请号:CN202011613131.9

    申请日:2020-12-30

    Abstract: 本发明提供一种高集成度液体金属柔性电路制备方法,解决现有柔性电路制备方法存在特征线宽过大、集成度低、制备流程复杂、成本高以及无法制备多层液体金属电路的问题。该方法包括:步骤一、清洗柔性基底;步骤二、飞秒激光直写电路图案;步骤三、分别清洗带有电路图案的柔性基底和另一片未加工的柔性基底;步骤四、氧等离子体键合;步骤五、液体金属灌注;该方法流程简单快速、成本较低,使得液体金属电路不再局限于单层电路,而且能够很容易实现多层液体金属柔性电路的制备。

    一种微型化的全柔性无源传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN115209610A

    公开(公告)日:2022-10-18

    申请号:CN202210792763.9

    申请日:2022-07-05

    Abstract: 本发明涉及一种微型化的全柔性无源传感器及其制备方法,提供了一种基于液态金属LC电路的微型化全柔性无源传感器,包括第一封装层、第二封装层以及核心层,第一封装层和第二封装层分别与核心层的上下表面键合封装,第一封装层、第二封装层和核心层均为柔性聚合物,核心层包括至少一个电路层,电路层表面设置有第一微槽,第一微槽内填充有液态金属柔性电路,液态金属柔性电路包括电容和电感,电容的两个电极分别与电感的内外两端相连;该传感器解决了现有技术中存在的传感器尺寸大、无法实现全柔性无源传感的技术问题;同时本发明还提供了该传感器的制备方法,通过飞秒激光扫描电路层‑封装‑填充液态金属等步骤得到微型化的全柔性无源传感器。

    基于超疏液体金属表面的柔性电路印刷方法

    公开(公告)号:CN111001942B

    公开(公告)日:2020-12-04

    申请号:CN201911266377.0

    申请日:2019-12-11

    Abstract: 本发明公开了一种电路印刷方法,具体涉及基于超疏液体金属表面的柔性电路印刷方法,以解决现有技术中存在的“抗液体金属表面”理化稳定性差,容易脱落,加工工艺缺乏普适性,只能在特定材料表面制成,且图案化过程复杂的问题。采用的技术方案是通过调控飞秒激光单脉冲能量、光学聚焦镜头、三维平移台的平移速度等参数,在材料表面的特定扫描区域实现超疏液体金属性,而未扫描区域保留亲液体金属性,当液体金属铺展在整个材料表面上时,便会自发地形成图案化,实现柔性电路印刷。

    一种高性能电子皮肤触觉传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN115219076A

    公开(公告)日:2022-10-21

    申请号:CN202210794191.8

    申请日:2022-07-05

    Abstract: 本发明涉及高性能电子皮肤触觉传感器及其制备方法,提供了一种高性能电子皮肤触觉传感器,包括封装层、液态金属电极以及介电层,封装层具有双面微金字塔结构的超疏水表面,内部为空腔,在超疏水表面对应的空腔内壁上印刷有液态金属电极;介电层具有双面微金字塔结构的超疏液态金属表面,介电层被封装在封装层的空腔内,且介电层上下表面均与液态金属电极相接触;该传感器具有超高的灵敏度、快速响应时间和极高的耐久性,解决了现有柔性压力传感器中存在的灵敏度低、响应时间慢以及耐久性不高的技术问题;同时本发明还提供了一种该传感器的制备方法,通过制备介电层‑制备封装层‑印刷液态金属电极‑封装等步骤制备得到高性能电子皮肤触觉传感器。

    一种高集成度液体金属柔性电路制备方法

    公开(公告)号:CN112770547B

    公开(公告)日:2022-07-12

    申请号:CN202011613131.9

    申请日:2020-12-30

    Abstract: 本发明提供一种高集成度液体金属柔性电路制备方法,解决现有柔性电路制备方法存在特征线宽过大、集成度低、制备流程复杂、成本高以及无法制备多层液体金属电路的问题。该方法包括:步骤一、清洗柔性基底;步骤二、飞秒激光直写电路图案;步骤三、分别清洗带有电路图案的柔性基底和另一片未加工的柔性基底;步骤四、氧等离子体键合;步骤五、液体金属灌注;该方法流程简单快速、成本较低,使得液体金属电路不再局限于单层电路,而且能够很容易实现多层液体金属柔性电路的制备。

    基于超疏液体金属表面的柔性电路印刷方法

    公开(公告)号:CN111001942A

    公开(公告)日:2020-04-14

    申请号:CN201911266377.0

    申请日:2019-12-11

    Abstract: 本发明公开了一种电路印刷方法,具体涉及基于超疏液体金属表面的柔性电路印刷方法,以解决现有技术中存在的“抗液体金属表面”理化稳定性差,容易脱落,加工工艺缺乏普适性,只能在特定材料表面制成,且图案化过程复杂的问题。采用的技术方案是通过调控飞秒激光单脉冲能量、光学聚焦镜头、三维平移台的平移速度等参数,在材料表面的特定扫描区域实现超疏液体金属性,而未扫描区域保留亲液体金属性,当液体金属铺展在整个材料表面上时,便会自发地形成图案化,实现柔性电路印刷。

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