PDMS内壁的石英玻璃微通道结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN119926538A

    公开(公告)日:2025-05-06

    申请号:CN202411992757.3

    申请日:2024-12-31

    Inventor: 陈烽 田萌达 杨青

    Abstract: 本发明提供了一种PDMS内壁的石英玻璃微通道结构及其制备方法,用于解决现有石英玻璃的微通道内壁较为粗糙,且采用溶剂挥发成膜法在微通道内壁制备有机物薄膜时存在的溶液在微通道内的挥发过程不可控,导致薄膜厚度均匀性较差,或者当溶液浓度较低时,其难以沿微通道纵向形成连续的薄膜,或者当溶液浓度较高时,溶剂挥发后容易出现有机物堵塞微通道的技术问题。本发明提供的PDMS内壁的石英玻璃微通道结构的制备方法,采用低温处理+梯度热固化+恒压吹气的方法在石英玻璃的微通道内壁上制备PDMS薄膜,获得的PDMS薄膜连续性和均匀性好,可以显著改善石英玻璃微通道内壁的粗糙度。

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