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公开(公告)号：CN115816400A
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202211653647.5
申请日：2022-12-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种双精度台面水平度调整装置，所述装置包括上盖、底座、拉簧阵列、球轴承、齐平器和双精度传感器，其中：所述上盖和底座之间通过球轴承、拉簧阵列安装在一起；所述上盖边缘的布置有齐平器和双精度传感器，底座上端面布置有两个V形槽；所述齐平器为两个，齐平器的伸出杆端部安装一小球，小球与底座上端面的V形槽相接触，保持齐平器与底座垂直。本发明采用拉簧阵列来调节上盖与底座之间的距离，并且采用了曲率半径较大的球轴承用于上盖和底座的安装，在维持调节精度的前提下保证该装置具有很好的刚度。该装置只需要两个线性齐平器，调整机构少，并集成了双倾角传感器，结构紧凑。
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公开(公告)号：CN115415559A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202211049813.0
申请日：2022-08-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23B19/02
Abstract: 一种径向节流器非均匀分布的大承载气体静压主轴，属于超精密机床技术领域，具体包括主轴转子、轴套和底座，所述主轴转子为回转体结构，所述轴套套设在主轴转子上，其外侧固定在底座上，所述轴套上沿圆周方向水平设置有若干个轴向气道Ⅰ，位于主轴转子1中心下方的轴向气道Ⅰ的密度大于位于主轴转子中心上方的轴向气道Ⅰ的密度，对应每个轴向气道Ⅰ设置有若干个径向气道Ⅰ，所述若干个径向气道Ⅰ与对应的轴向气道Ⅰ垂直连通，每个径向气道Ⅰ近主轴转子的一端均设置有节流器Ⅰ。高压空气经过径向的节流器Ⅰ在主轴转子表面形成径向气膜，承受径向载荷，使得非均匀分布的节流器Ⅰ为主轴提供更高的承载。
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公开(公告)号：CN113936839B
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202111194438.4
申请日：2021-10-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G21K1/06 , G01N23/2273
Abstract: 多层嵌套X射线聚焦镜主动力控制快速装调方法，属于X射线聚焦镜加工技术领域。该装调方法用于保证多层嵌套镜片装配工艺的一致性，确保大尺寸超薄镜片低变形的同时提高装调效率。包括以下步骤：S1.取来待装调的镜筒；S2.悬吊镜筒；通过装调装置的吊装盘组件悬吊镜筒；S3.调整镜筒位姿：由装调装置的吊装盘组件实现；S4.调整轮毂位姿：由装调装置的轮毂调节组件实现；S5.安装调准遮光光阑；S6.镜筒入槽；S7.调整相机位置，测试焦前焦后光斑，确认聚焦镜片指向对齐；S8.计算聚焦镜焦距，调整镜筒入槽深度；S9.点胶固化镜筒；S10.装调下一个镜筒。本发明可实现自动化控制，同时避免了人为操作引入的不规范性。
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公开(公告)号：CN108334027B
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN201810074312.5
申请日：2018-01-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/19 , G05B19/4155
Abstract: 本发明公开了一种减小辊筒模具超精密机床加工微结构闭合误差的方法，所述方法步骤如下：一、分析超精密机床加工过程中温度变化造成的影响，当温度变化引起辊筒尺寸变化的范围在微米量级，同时要求的辊筒模具微结构闭合节距误差非常小时，则通过对加工程序进行优化以减小微结构闭合节距误差；二、根据加工的辊筒模具直径尺寸与微结构数目及温度变化范围选定多分法需要分区的数目；三、根据步骤二选定的分割次数计算有/无余数时各微结构的角度位置，写出其通项公式并对余数进行处理；四、根据步骤三中计算得到的微结构空间角度分布编写加工程序，实现多分法加工。本发明对提高微结构辊筒模具加工质量、制造超大尺寸光学转印膜片等具有重要意义。
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公开(公告)号：CN111536150A
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN202010421285.1
申请日：2020-05-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 为了提供一种结构稳定性好、超高精度的流体静压轴承，本发明记载一种表面节流的流体静压轴承，包括轴套、主轴、上辐板和下辐板，轴套套设在主轴上，上辐板和下辐板分别位于轴套的上方和下方并均固定在主轴上，上辐板、下辐板与主轴承“工字型”结构，轴套与主轴之间上下设置有相互连通的环形孔缝Ⅰ和环形孔缝Ⅱ，环形孔缝Ⅰ和环形孔缝Ⅱ结构相同且相互对称，环形孔缝Ⅰ和环形孔缝Ⅱ的纵剖面均呈阶梯状结构；轴套上设置有进孔和出孔，进孔与环形孔缝Ⅰ或环形孔缝Ⅱ连通，出孔与环形孔缝Ⅰ或环形孔缝Ⅱ连通。本发明润滑介质可以是液体或气体，本发明无需额外安装节流器，极大的提高了装配效率和可靠度，轴承结构简单可靠，易于加工。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106563971B
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201610988400.7
申请日：2016-11-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23Q17/00
Abstract: 本发明公开了一种液体静压导轨油腔压力分布的检测装置，所述检测装置包括导轨底座、导轨侧板、进油通道、油腔模块、压力传感器、溜板、导轨压板、压力测量通道，其中：所述导轨侧板、导轨压板和导轨底座构成导轨，导轨侧板固定安装在导轨底座上，导轨压板固定安装在导轨侧板上，在导轨侧板、导轨压板以及导轨底座上打孔作为压力测量通道；所述压力传感器安装在压力测量通道的出油口处；所述油腔模块和溜板构成导轨运动件，油腔模块设置在导轨内，溜板固定安装在油腔模块上，溜板侧面开有进油通道，进油通道与油腔模块的油路相通。本发明通过在液体静压导轨上布置油腔压力测试点，有效地解决了液体静压导轨油腔内压力分布的检测问题。
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公开(公告)号：CN115899083B
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202211651443.8
申请日：2022-12-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种大气等离子体抑制微振的气体静压轴承，属于超精密加工装备领域，具体方案如下：一种大气等离子体抑制微振的气体静压轴承，包括轴套、铜轴套、主轴转子、辐板和大气等离子体激发装置，所述铜轴套套设在主轴转子上，所述轴套套设在铜轴套上，所述辐板套设在主轴转子上且与轴套固定连接，轴套和辐板上设置的气路通过若干个小孔节流器为主轴转子的表面供气，所述主轴转子、轴套和辐板的材质均导电，所述大气等离子体激发装置的一端电连接主轴转子，另一端电连接轴套和辐板。本发明从微振产生的机理上消除了微振及其影响，大大提高了气浮轴承在工作时的稳定性。
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公开(公告)号：CN115614386B
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202211231035.7
申请日：2022-10-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 为提供一种可以避免气锤现象同时可以提供更大高压气膜面积的承载力大、刚度更高的小孔式气体静压径向轴承轴套，本发明设计一种带有高压气腔的小孔式气体静压径向轴承轴套与轴承，属于静压滑动轴承领域。通过在径向轴承轴套节流器安装孔处开设‘H’型均压槽或‘米’字型均压槽，利用‘H’型均压槽或‘米’字型均压槽在相同截面积下其内的高压气体能够辐射更广气膜区域的特点来提高小孔式气体静压径向轴承气膜的高压区面积。籍此设计可以在避免小孔式气体静压径向轴承发生气锤不稳定现象的同时，提高轴承的承载力与刚度。
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公开(公告)号：CN117067041A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311038517.5
申请日：2023-08-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种晶圆减薄机磨削主轴中心供液非接触式气密封结构，涉及一种气密封结构。减薄机转子经减薄机底座预设中心孔伸出，内部中空作为磨削液通道，气封安装座固定在减薄机底座外侧端，气封块胶接固定在气封安装座内底部，内环面中间位置加工环向沟槽，侧壁贯通径向供气通道一，气封安装座侧壁对应位置贯通径向供气通道二，气封块与减薄机转子的伸出端之间留有间隙，外部气源供入能够形成上气膜和下气膜，磨削液通入座螺栓固定在气封安装座内顶部，内部向上延伸设置供液通道，供液通道下端伸入磨削液通道内。在气封块与减薄机转子之间形成稳定的高压气膜，提高设备运行的稳定性以及加工精度的可靠性，结构简单，易于维护。
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公开(公告)号：CN117052792A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202311019269.X
申请日：2023-08-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16C32/06
Abstract: 一种表面节流的低流量高刚度气浮轴承及其工作方法，属于超精密加工领域。所述浮子组件的外侧套装有外壳体，浮子组件与外壳体之间设有通气孔缝，所述外壳体侧壁的中部设有进气孔，所述进气孔与通气孔缝连通设置。方法如下：高压气体通过进气孔进入环形孔缝形成润滑气膜；经过润滑气膜的减压后流出。本发明加工难度低，供气设计要求低，避开了以往气浮轴承加工制造以及装配的难点，在浮子组件表面形成均匀润滑气膜，刚度高，耗气量小，气动噪声小。
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