一种表面节流的低流量高刚度气浮轴承及其工作方法

    公开(公告)号:CN117052792A

    公开(公告)日:2023-11-14

    申请号:CN202311019269.X

    申请日:2023-08-14

    Abstract: 一种表面节流的低流量高刚度气浮轴承及其工作方法,属于超精密加工领域。所述浮子组件的外侧套装有外壳体,浮子组件与外壳体之间设有通气孔缝,所述外壳体侧壁的中部设有进气孔,所述进气孔与通气孔缝连通设置。方法如下:高压气体通过进气孔进入环形孔缝形成润滑气膜;经过润滑气膜的减压后流出。本发明加工难度低,供气设计要求低,避开了以往气浮轴承加工制造以及装配的难点,在浮子组件表面形成均匀润滑气膜,刚度高,耗气量小,气动噪声小。

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