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公开(公告)号：CN107369746B
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN201710764421.5
申请日：2017-08-30
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种化学腐蚀剥离衬底的微尺寸谐振腔LED芯片及其制备方法。本发明的LED芯片为倒装薄膜结构，外延薄膜仅包含p‑GaN层、量子阱层和n‑GaN层，在p‑GaN层下面是高反射率的金属反射电极，在n‑GaN层上面是介质分布布拉格反射镜，金属反射电极和介质DBR构成谐振腔的反射镜，谐振腔的腔长是波长数量级。本发明制备方法将LED外延片的衬底通过第一次光电辅助化学腐蚀和第二次化学腐蚀去除，再通过金属键合使LED外延片分布在导热基板上，得到所述化学腐蚀剥离衬底的微尺寸谐振腔LED芯片。本发明制备方法不需要引入额外的材料，因此不会造成外延生长设备真空腔室的污染，同时有利于降低谐振腔的长度。
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公开(公告)号：CN114085731A
公开(公告)日：2022-02-25
申请号：CN202111229554.5
申请日：2021-10-21
Applicant: 华南理工大学
IPC: C12M1/00
Abstract: 本发明公开了一种细胞捕获装置及其加工方法，所述细胞捕获装置包括透明基底和金字塔形捕获结构。透明基底上精细加工有标识符和金字塔形捕获结构，标识符对应各个金字塔形捕获结构，辅助细胞定位观察。金字塔形捕获结构由纳米线金字塔和底部的中空圆柱组成，纳米线金字塔整体呈四面体结构，面面镂空，仅留边缘的纳米线，圆柱形中空结构位于纳米线金字塔下方，实现对已捕获细胞的限位。本发明还提供了金字塔形捕获结构和捕获装置的精细加工方法。本发明采用微纳加工工艺实现细胞捕获装置精细加工，非常适合于在相对开放的环境中捕获活细胞，大规模研究单个细胞，同时使细胞保持更自然的三维表型，透明基底也有利于细胞在倒置荧光显微镜的观察。
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公开(公告)号：CN106784221B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201611209700.7
申请日：2016-12-23
Applicant: 华南理工大学
CPC classification number: B82Y40/00 , H01L33/0075 , H01L33/06 , H01L33/20
Abstract: 本发明公开了一种基于表面等离子体效应的宽带高效GaN基LED芯片及其制备方法。该宽带高效GaN基LED芯片为倒装结构，由下至上依次包括衬底、缓冲层、非故意掺杂GaN层、n‑GaN层、量子阱层、电子阻挡层、p‑GaN层、金属反射镜层、钝化层、p‑电极层、n‑电极层、p‑电极孔和n‑电极孔；所述金属反射镜层的底面连接p‑GaN层的表面处具有微米‑纳米复合金属结构。微米金属结构包含交替出现的凸起部分和凹槽部分；凸起部分延伸至量子阱附近，实现高效SP‑MQW耦合；凹槽部分覆盖在p‑GaN表面，使p‑GaN层具有足够的厚度注入空穴；纳米金属结构分布在微米金属结构与p‑GaN的分界面上。
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公开(公告)号：CN107195747A
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：CN201710405621.1
申请日：2017-06-01
Applicant: 华南理工大学
CPC classification number: H01L33/20 , H01L21/0274 , H01L33/007 , H01L33/14 , H01L33/405 , H01L33/46
Abstract: 本发明公开一种微米尺寸倒装LED芯片及其制备方法，特点是制备LED的GaN外延层是台型结构，台型结构的台基和台面都呈圆台型，台基上分布有n‑电极圆环，台面顶部的边缘分布有电流扩展圆环，电流扩展材料在300℃的温度下不会发生离子扩散，电流扩展圆环顶部的边缘和台型结构的侧壁是钝化层，钝化层采用化学气相沉积介质绝缘层和周期数不小于1的分布布拉格反射镜层，台面顶部和钝化层侧壁覆盖p‑反射电极层。本发明可提高反射镜的反射率，同时避免反射电极层中的金属扩散导致的漏电现象，并且在光刻工艺中具有较大的对准容差。
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公开(公告)号：CN107195747B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN201710405621.1
申请日：2017-06-01
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开一种微米尺寸倒装LED芯片及其制备方法，特点是制备LED的GaN外延层是台型结构，台型结构的台基和台面都呈圆台型，台基上分布有n‑电极圆环，台面顶部的边缘分布有电流扩展圆环，电流扩展材料在300℃的温度下不会发生离子扩散，电流扩展圆环顶部的边缘和台型结构的侧壁是钝化层，钝化层采用化学气相沉积介质绝缘层和周期数不小于1的分布布拉格反射镜层，台面顶部和钝化层侧壁覆盖p‑反射电极层。本发明可提高反射镜的反射率，同时避免反射电极层中的金属扩散导致的漏电现象，并且在光刻工艺中具有较大的对准容差。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107611155B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN201710765753.5
申请日：2017-08-30
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L27/15 , H01L27/118
Abstract: 本发明提供照明显示通信共用的GaN基微米尺寸LED阵列芯片及集成模块。集成模块由GaN基微米尺寸LED阵列芯片、偏置树电路、MOS开关阵列和现场可编程门阵列（FPGA）组成。LED阵列芯片由高速通信发光单元和低速通信发光单元构成，高速通信发光单元工作在较大电流密度下；低速通信发光单元工作在较小电流密度下。高速通信发光单元直接与信号源连接，传输高频交流信号；低速通信发光单元与MOS开关阵列连接，受FPGA控制选择导通一路以上的发光单元，实现照明、显示功能，并传输低频交流信号。本发明可以实现两通道的高速通信和多通道的低速通信，而且低频通信发光单元还具有照明和显示功能。
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公开(公告)号：CN114088981B
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202111229566.8
申请日：2021-10-21
Applicant: 华南理工大学
IPC: G01Q60/38
Abstract: 本发明公开了一种侧壁扫描探针及其加工方法，所述扫描探针包括悬臂、磁粒球和锥形针尖。悬臂前端呈三角箭头形，箭头形前端通过薄壁部分和悬臂支撑部分连接，悬臂支撑部分上部设置有金属反射层。锥形针尖位于悬臂箭头形前端下部，且锥形针尖通过细长棱柱和棱台连接，棱台和悬臂箭头形前端相连。磁粒球位于箭头形前端上部；本发明还提供了锥形针尖和硅基箭头式悬臂探针的加工方法。本发明采用微纳加工工艺实现箭头式悬臂探针制作，箭头式悬臂使观察定位更精确和方便，中间薄壁连接部分配合线圈磁场对磁粒球的偏转控制允许箭头式前端实现一定角度的偏转，以此实现对样品侧壁的形貌成像。
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公开(公告)号：CN114082455B
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN202111228078.5
申请日：2021-10-21
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种可循环的中空悬臂探针前端加载和清洁方法，解决中空悬臂探针在操作液体成本高和用量低的应用场景下液体利用率低、清洗步骤繁琐的问题。所述前端加载方法包括如下步骤：将待操作液体进行过滤和脱气处理；将液滴转移到透明衬底上；将校准后探针和液滴完成接触；通过压力控制器施加负压力脉冲完成液体的前端加载；本发明还提供了所述前端加载后的清洁方法：将完成试验后探针浸入清洗液中片刻，并用超纯水洗净完成外部清洗，之后将探针依次浸入次氯酸钠溶液，乙醇水溶液，期间交替施加正压和负压实现对微通道的内部清洗，最后将清洗干净后的探针在湿润、密封和冷藏的环境保存，以便中空悬臂探针下一次快速连续的使用。
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公开(公告)号：CN114088981A
公开(公告)日：2022-02-25
申请号：CN202111229566.8
申请日：2021-10-21
Applicant: 华南理工大学
IPC: G01Q60/38
Abstract: 本发明公开了一种侧壁扫描探针及其加工方法，所述扫描探针包括悬臂、磁粒球和锥形针尖。悬臂前端呈三角箭头形，箭头形前端通过薄壁部分和悬臂支撑部分连接，悬臂支撑部分上部设置有金属反射层。锥形针尖位于悬臂箭头形前端下部，且锥形针尖通过细长棱柱和棱台连接，棱台和悬臂箭头形前端相连。磁粒球位于箭头形前端上部；本发明还提供了锥形针尖和硅基箭头式悬臂探针的加工方法。本发明采用微纳加工工艺实现箭头式悬臂探针制作，箭头式悬臂使观察定位更精确和方便，中间薄壁连接部分配合线圈磁场对磁粒球的偏转控制允许箭头式前端实现一定角度的偏转，以此实现对样品侧壁的形貌成像。
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公开(公告)号：CN107611155A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201710765753.5
申请日：2017-08-30
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L27/15 , H01L27/118
Abstract: 本发明提供照明显示通信共用的GaN基微米尺寸LED阵列芯片及集成模块。集成模块由GaN基微米尺寸LED阵列芯片、偏置树电路、MOS开关阵列和现场可编程门阵列（FPGA）组成。LED阵列芯片由高速通信发光单元和低速通信发光单元构成，高速通信发光单元工作在较大电流密度下；低速通信发光单元工作在较小电流密度下。高速通信发光单元直接与信号源连接，传输高频交流信号；低速通信发光单元与MOS开关阵列连接，受FPGA控制选择导通一路以上的发光单元，实现照明、显示功能，并传输低频交流信号。本发明可以实现两通道的高速通信和多通道的低速通信，而且低频通信发光单元还具有照明和显示功能。
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