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公开(公告)号：CN119586955A
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202411986827.4
申请日：2024-12-31
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明涉及医疗器械领域，公开了一种双模态内窥镜的光学系统及内窥镜成像探头和内窥镜，光学系统包括：沿主光轴方向依次设置的物镜组、目镜组和光控制器，光控制器用于控制白光和近红外光的传播方向，白光经过光控制器后其传播方向保持不变，近红外光经过光控制器后其传播方向被改变，经过光控制器后的近红外光进入光转换模块内，光转换模块包括：MEMS微镜和准直透镜，其中，近红外光依次经过光控制器和MEMS微镜后其传播方向平行于主光轴，本发明的OCT成像与白光成像共用一套光学系统，不需要改变现有的白光内窥镜插入部分的直径，且可以使得OCT成像实现大视场和大工作距离的优点。
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公开(公告)号：CN119394439A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202411067061.X
申请日：2024-08-05
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院 , 北京理工大学 , 无锡微文半导体科技有限公司
Abstract: 本申请公开了一种高光谱成像装置，是基于MEMS微镜的微型傅里叶变换光谱仪为核心的高光谱系统，包含光束处理单元、含MEMS矩阵式微镜的迈克尔逊干涉系统、单颗/阵列式光电探测器。MEMS矩阵式微镜接收二维平面图像的每个子区域的光信号并产生与之对应的干涉信号。单颗/阵列式光电探测器接收干涉信号，并根据干涉信号和二维平面图像处理后得到被测物体的高光谱图像立方体，以实现将被测物体分区块检测的功能。本申请具备以下特点：矩阵式微镜的每颗微镜单独运动，将该子区域的光束调制后，依次传入单颗光电探测器最后按顺序拼接成整张图像，或者传入阵列式光电探测器实现一次成像。
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公开(公告)号：CN119148370A
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202411290342.1
申请日：2024-09-14
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开了一种MEMS微位移平台及其位置检测方法，属于MEMS器件检测领域，主要在MEMS微镜的附近放一块位置感应元器件，将感应元器件集成到MEMS微镜中，当MEMS微镜的镜面偏转靠近感应元器件时，感应元器件会产生相应的电信号，放置感应元器件后，通过TSV或者TGV等工艺将信号传递给驱动控制电路，从而实时获取镜面的位置。本发明将器件检测与TSV或TGV工艺相结合，大大提高现有检测器件的集成度，且可以大批量低成本量产，有较高的市场前景。
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公开(公告)号：CN118954418A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202411049351.1
申请日：2024-08-01
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开了一种CMOS‑MEMS集成电热微镜及制备方法，属于微机电系统领域。在硅晶圆上设置读出/控制电路，其介质层上设置光学吸收层或电容位置检测电路下电极，功能层上设置导电支撑结构与顶层金属通过金属钨塞连接，在导电支撑结构上设置电热微镜。电热微镜有同层和双层两种结构。而电热微镜的镜面结构间设置连续的缝隙或不连续的孔。该集成电热微镜通过在硅晶圆上制备读出/控制电路，其上依次沉积功能层、牺牲层、导电支撑结构和光学微镜，最后去除牺牲层得到。本发明通过结构设计和调控驱动结构的应力，可实现电热微镜释放后的初始位置控制；所设计的多种功能可以集成到同一层拓展功能层的层结构中，该拓展功能层可以提高电热微镜的功能集成度。
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公开(公告)号：CN118623912A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410664926.4
申请日：2024-05-27
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开了一种压电位置检测电磁驱动MEMS微动平台及其制备方法，所述MEMS微动平台包括外围支撑框架、支撑梁、内部质量平板，还包括能检测所述支撑梁应力的压电位置检测结构用于检测平台位移情况，另外，所述MEMS微动平台中还设有驱动线圈或磁性材料构成的结构用于实现电磁方式驱动。该电磁驱动MEMS微动平台采用压电结构进行位置检测，对比现有压阻检测方案，可有效简化电磁驱动MEMS微动平台结构和制备工艺的复杂程度，同时有效提升电磁驱动MEMS微动平台位置检测结构的温度特性，降低零位温漂、灵敏度温漂等问题的影响，提高位置检测的精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118603070A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410812556.4
申请日：2024-06-22
Applicant: 中北大学 , 北京理工大学重庆微电子研究院 , 赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司
IPC: G01C19/5656
Abstract: 本发明涉及三轴陀螺仪，具体是一种高灵敏度嵌套轮环单片三轴MEMS陀螺芯片。本发明解决了现有三轴陀螺仪灵敏度低、测量精度低的问题。高灵敏度嵌套轮环单片三轴MEMS陀螺芯片，包括谐振子部分和电极部分；所述谐振子部分包括轮结构和环结构；所述轮结构包括圆盘形质量块；圆盘形质量块的外侧面开设有两个呈左右对称分布的豁槽；所述环结构包括圆环形质量块B；圆环形质量块B同轴套设于圆环形质量块A的外侧；所述电极部分包括正方形基座；正方形基座与圆盘形质量块同轴设置。本发明适用于军事导航、深空探测等高精尖领域。
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公开(公告)号：CN117830138A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202410113070.1
申请日：2024-01-26
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开了一种用于傅里叶域光学相干层析成像的去噪增强方法，属于图像处理技术领域，包括：获取FD‑OCT图像的样本数据，并对其进行标准化操作；对标准化后的图像进行图像分组；根据图像分组的结果，对每组图像构建强反射条纹模板，用于去除FD‑OCT图像中的强反射条纹噪声；构建频域陷波滤波器模板，进一步去除图像背景中的周期性噪声；采用空间域去噪与变换域去噪相结合的方式，进一步去除图像的散斑噪声；对去噪后的图像进行图像增强操作。本发明提供的一种用于傅里叶域光学相干层析成像的去噪增强方法，能同时去除FD‑OCT中存在的强反射条纹噪声、周期性噪声与散斑噪声，并提升图像整体的视觉效果。
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公开(公告)号：CN117420081A
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202311549226.2
申请日：2023-11-17
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开了一种活塞式浸没采样装置，所述活塞式浸没采样装置包括：光源、第一透镜组、第二透镜组和比色皿；所述光源设置于第一透镜组一侧，所述比色皿设置于第一透镜组和第二透镜组之间，且所述比色皿能够相对于第一透镜组和/或第二透镜组进行竖直方向活动，所述比色皿分为比色皿上半段和比色皿下半段，所述比色皿上半段内密封有参比介质，所述比色皿下半段内装有待测介质体；所述第一透镜组用于将光源发出的光调整为准直光线并射入比色皿，穿透比色皿后的光线经第二透镜组完成光耦合并经信号传输光纤导入后续光谱仪。
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公开(公告)号：CN116222782A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310390875.6
申请日：2023-04-13
Applicant: 北京理工大学 , 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开的一种基于MEMS可动微平台及其阵列的成像光谱仪，属于光谱成像技术领域。本发明包括超表面、MEMS可动微平台阵列、光阑、图像传感器。超表面由特征尺寸小于光谱仪工作波段的微结构构成。本发明采用超表面作为色散元件，显著压缩分光元器件的体积；通过将超表面集成于MEMS可动微平台阵列上，并实现使用半导体工艺进行MEMS可动微平台阵列加工，能够降低成像光谱仪的生产成本，提高成像光谱仪的集成度；利用MEMS可动微平台阵列将物方空间划分为多个区域进行成像，能够获得最大与阵列单元数量相同的空间分辨率，而不需要添加额外的扫描元件来获取空间分辨能力；通过灵活选择每个MEMS可动微平台单元的工作状态，获得任意大小的空间分辨率。
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公开(公告)号：CN114583043A
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202210150504.6
申请日：2022-02-18
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
IPC: H01L41/083 , H01L41/312 , G02B26/08
Abstract: 本发明公开了压电驱动结构、压电微镜和压电微镜制备方法，所述压电驱动结构包括压电层、压电层上方连续的上电极和压电层下方连续的下电极，所述上电极上方一端设置有上介质层，所述下电极下方设置有下介质层，所述上介质层和所述下介质层长度小于所述压电层，在所述压电层所处的水平面上所述上介质层和所述下介质层在水平方向不完全重合。本发明针对无侧向位移和转角的压电Bimorph驱动结构存在的驱动电路复杂，引线繁琐、驱动效率低等问题，提出新的简化结构和制备方案，该方案中Bimorph驱动结构无需设置专门的引线。
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