公开(公告)号：CN119330296A

公开(公告)日：2025-01-21

申请号：CN202411440725.2

申请日：2024-10-15

Applicant: 北京理工大学 ,  北京理工大学重庆微电子研究院

Inventor： 谢会开 ,  汤跃 ,  严阳阳 ,  王晓毅 ,  姜森林 ,  焦文龙 ,  齐强先 ,  李美荣 ,  杨智文

IPC: B81B7/02 ,  B81B7/00 ,  B81C1/00 ,  G02B26/08 ,  G01J3/26 ,  G01J3/42

Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS的法布里‑珀罗腔，包括静电驱动器和FP腔，静电驱动器包括基底层、埋氧层以及器件层，器件层包括外框架、固定梳齿、内框架和可动梳齿，固定梳齿以及可动梳齿均具有电极且能够与外部控制电路连接，以在固定梳齿以及可动梳齿之间形成梳齿电容；FP腔包括平行设置的第一面板和第二面板。静电驱动器采用梳齿方式驱动，可以实现对FP腔相对位置的精准驱动与控制，通过对FP腔施加电压，改变FP腔平行的两面板之间的距离，并通过对梳齿电容的检测，实现位置检测，进而实现对FP腔平行的两面板的距离控制。通过先进封装技术，实现电极的引出与各种气氛或真空环境的封装，提高FP腔的实用性。

公开(公告)号：CN117977163A

公开(公告)日：2024-05-03

申请号：CN202311742589.8

申请日：2023-12-18

Applicant: 北京理工大学 ,  北京理工大学重庆微电子研究院

Inventor： 于伟华 ,  李昊霖 ,  彭洪 ,  谢会开 ,  齐强先

IPC: H01Q1/36 ,  H01Q23/00 ,  H01Q15/14 ,  H01Q19/10 ,  H01Q3/28 ,  H01Q3/34 ,  H01Q1/50

Abstract: 本发明提供了一种太赫兹MEMS可调谐反射阵天线及其波束扫描实现方法，其中反射阵天线包括：MEMS阵列包括多个MEMS单元，每个MEMS单元包括基体，金属反射板，以及固定在金属反射板与所述基体之间的驱动组件；基板，MEMS阵列、电源接口和控制接口固定在基板上，控制接口用于对驱动组件进行控制，实现金属反射板的位移和偏转；馈源天线，位于基板设置有所述MEMS单元的一侧，用于辐射太赫兹波经过自由空间传播到所述MEMS阵列上。而扫描实现方法包括：确定MEMS单元的周期、确定MEMS单元的设置数量、确定馈源天线尺寸、确定各金属反射板的位移、确定各金属反射板的偏转角度、驱动组件控制。使得本申请具有扫描角度大、成本低、带宽大的优点。

公开(公告)号：CN119148370A

公开(公告)日：2024-12-17

申请号：CN202411290342.1

申请日：2024-09-14

Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院

Inventor： 齐强先 ,  毛小丹 ,  曹英超 ,  焦文龙 ,  姜森林 ,  谢会开

IPC: G02B26/08 ,  B25B11/00 ,  G01B7/00 ,  G02B26/10 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明公开了一种MEMS微位移平台及其位置检测方法，属于MEMS器件检测领域，主要在MEMS微镜的附近放一块位置感应元器件，将感应元器件集成到MEMS微镜中，当MEMS微镜的镜面偏转靠近感应元器件时，感应元器件会产生相应的电信号，放置感应元器件后，通过TSV或者TGV等工艺将信号传递给驱动控制电路，从而实时获取镜面的位置。本发明将器件检测与TSV或TGV工艺相结合，大大提高现有检测器件的集成度，且可以大批量低成本量产，有较高的市场前景。

公开(公告)号：CN118954418A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202411049351.1

申请日：2024-08-01

Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院

Inventor： 焦文龙 ,  李易 ,  毛小丹 ,  齐强先 ,  江超 ,  向阳 ,  严阳阳 ,  龙来 ,  姜森林 ,  谢会开

IPC: B81B7/02 ,  B81B7/00 ,  B81B5/00 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明公开了一种CMOS‑MEMS集成电热微镜及制备方法，属于微机电系统领域。在硅晶圆上设置读出/控制电路，其介质层上设置光学吸收层或电容位置检测电路下电极，功能层上设置导电支撑结构与顶层金属通过金属钨塞连接，在导电支撑结构上设置电热微镜。电热微镜有同层和双层两种结构。而电热微镜的镜面结构间设置连续的缝隙或不连续的孔。该集成电热微镜通过在硅晶圆上制备读出/控制电路，其上依次沉积功能层、牺牲层、导电支撑结构和光学微镜，最后去除牺牲层得到。本发明通过结构设计和调控驱动结构的应力，可实现电热微镜释放后的初始位置控制；所设计的多种功能可以集成到同一层拓展功能层的层结构中，该拓展功能层可以提高电热微镜的功能集成度。

公开(公告)号：CN119165650A

公开(公告)日：2024-12-20

申请号：CN202411441067.9

申请日：2024-10-15

Applicant: 北京理工大学 ,  北京理工大学重庆微电子研究院

Inventor： 汤跃 ,  谢会开 ,  王晓毅 ,  姜森林 ,  焦文龙 ,  吴聪 ,  齐强先

IPC: G02B26/08 ,  B81B7/02 ,  B81B7/00 ,  B81C1/00 ,  B81C3/00 ,  B81C99/00

Abstract: 本发明公开了一种MEMS微镜单元、MEMS微镜阵列及制作方法，涉及微机电系统技术领域，MEMS微镜单元，包括外框架、内框架和驱动器，外框架顶部用于安装镜面层；内框架设于外框架底部，且其竖直投影位于外框架侧边的竖直投影内；外框架侧边与内框架位于同一侧的侧边之间连接有驱动器，驱动器能够驱动镜面层相对运动。MEMS微镜阵列，包括多个MEMS微镜单元，多个MEMS微镜单元依次阵列布置，且相邻两个MEMS微镜单元的镜面层之间具有缝隙。本发明设计有内框架和外框架，驱动器一端连接在内框架，令一端连接在外框架上，实现了驱动器的埋藏式设计，极大的提高了MEMS微镜的填充率。