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公开(公告)号:CN117420081A
公开(公告)日:2024-01-19
申请号:CN202311549226.2
申请日:2023-11-17
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开了一种活塞式浸没采样装置,所述活塞式浸没采样装置包括:光源、第一透镜组、第二透镜组和比色皿;所述光源设置于第一透镜组一侧,所述比色皿设置于第一透镜组和第二透镜组之间,且所述比色皿能够相对于第一透镜组和/或第二透镜组进行竖直方向活动,所述比色皿分为比色皿上半段和比色皿下半段,所述比色皿上半段内密封有参比介质,所述比色皿下半段内装有待测介质体;所述第一透镜组用于将光源发出的光调整为准直光线并射入比色皿,穿透比色皿后的光线经第二透镜组完成光耦合并经信号传输光纤导入后续光谱仪。
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公开(公告)号:CN117848202A
公开(公告)日:2024-04-09
申请号:CN202410040998.1
申请日:2024-01-09
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院 , 北京理工大学
IPC: G01B7/30
Abstract: 本发明提供了一种MEMS微镜的角度和方向检测系统及方法,包括:MEMS微镜,其镜面在信号驱动下进行转动;电极板,设置于MEMS微镜镜面近处,并与MEMS微镜镜面形成电容,在MEMS微镜镜面转动时产生电信号;信号采集电路,用于采集由镜面转动产生的电信号,并进行预处理后送至处理器;以及处理器,用于为提供控制信号以驱动微镜进行转动,以及接收信号采集电路发送的信号,并解析出微镜偏转角度和方向信息。本发明可以稳定提取出高精度的反映微镜偏转角度和偏转方向的位置反馈信号;在不影响微镜转动的情况下实时反馈微镜偏转角度的同时获取微镜当前运动方向,降低了微镜设计和制造工艺复杂度。
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