公开(公告)号：CN118623912A

公开(公告)日：2024-09-10

申请号：CN202410664926.4

申请日：2024-05-27

Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院

Inventor： 焦文龙 ,  薛博伦 ,  李易 ,  龙来 ,  姜森林 ,  谢会开

IPC: G01D5/18 ,  G01B7/00

Abstract: 本发明公开了一种压电位置检测电磁驱动MEMS微动平台及其制备方法，所述MEMS微动平台包括外围支撑框架、支撑梁、内部质量平板，还包括能检测所述支撑梁应力的压电位置检测结构用于检测平台位移情况，另外，所述MEMS微动平台中还设有驱动线圈或磁性材料构成的结构用于实现电磁方式驱动。该电磁驱动MEMS微动平台采用压电结构进行位置检测，对比现有压阻检测方案，可有效简化电磁驱动MEMS微动平台结构和制备工艺的复杂程度，同时有效提升电磁驱动MEMS微动平台位置检测结构的温度特性，降低零位温漂、灵敏度温漂等问题的影响，提高位置检测的精度。

公开(公告)号：CN119355957A

公开(公告)日：2025-01-24

申请号：CN202411618113.8

申请日：2024-11-13

Applicant: 重庆邮电大学 ,  北京理工大学重庆微电子研究院

Inventor： 谢会开 ,  朱纪星 ,  迟子惠 ,  庞岳鑫 ,  薛博伦 ,  曹继强 ,  薛原 ,  彭喆

IPC: G02B27/00 ,  G02B26/08

Abstract: 本发明公开了一种电磁MEMS微镜的光栅扫描矫正方法及系统，属于光栅扫描矫正技术领域，方法包括：采集电磁MEMS微镜产品在三维空间中的实时三轴姿态信息、微镜快慢轴压阻信号；以角度差值作为误差信号进行PID控制，输出扫描视场修正后的MEMS微镜的快慢轴的驱动电压，进而映射得到微镜扫描的修正角度；将修正角度作为PID控制的输入，通过最小化微镜的转动角度与修正角度之间的跟踪误差，实现对微镜的转动角度进行修正。通过采集电磁MEMS微镜产品的三轴姿态信息，并将三轴姿态信息与标准三轴姿态信息之间的角度差值引入至PID控制，以调节快慢轴驱动信号，进而对微镜转动角度的修正，实现对光栅扫描光栅畸变的矫正和补偿，保证了对三维点云的重建质量的精准度。