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公开(公告)号：CN113403587B
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN202110685863.7
申请日：2021-06-21
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明提出了一种可移动温控沙浴束源炉及其安装和镀膜方法，通过填充沙能够使得热量传递更快，温度控制更精确迅速，并且结构设计为可移动，利于在不同真空腔的使用兼容性及普遍性。本申请的可移动温控沙浴束源炉通过填充沙实现采用沙浴加热方式加热，使热量传递方式从单一的热辐射传递变为热传导和热辐射两种热传递方式，使热量传递更快，温度控制更精确迅速；同时，本申请的可移动温控沙浴束源炉结构简单，可移动的特点利于调节束源炉在真空蒸镀腔里的位置以及相对于样品的位置，也利于束源炉对不同构造的真空蒸镀腔的广泛兼容性。
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公开(公告)号：CN113403587A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110685863.7
申请日：2021-06-21
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明提出了一种可移动温控沙浴束源炉及其安装和镀膜方法，通过填充沙能够使得热量传递更快，温度控制更精确迅速，并且结构设计为可移动，利于在不同真空腔的使用兼容性及普遍性。本申请的可移动温控沙浴束源炉通过填充沙实现采用沙浴加热方式加热，使热量传递方式从单一的热辐射传递变为热传导和热辐射两种热传递方式，使热量传递更快，温度控制更精确迅速；同时，本申请的可移动温控沙浴束源炉结构简单，可移动的特点利于调节束源炉在真空蒸镀腔里的位置以及相对于样品的位置，也利于束源炉对不同构造的真空蒸镀腔的广泛兼容性。
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公开(公告)号：CN218120320U
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202222382281.4
申请日：2022-09-08
Applicant: 北京理工大学 , 北京理工大学长三角研究院(嘉兴)
Abstract: 本实用新型实施例公开了一种基于帕尔贴效应的超高真空冷却装置，包括帕尔贴制冷机构、贴附散热机构、密闭阀组和保护外壳；且，所述帕尔贴制冷机构至少包括自内而外顺次套接的冷端套筒和热端套筒，且所述冷端套筒至少侧边围合形成有容纳腔；所述贴附散热机构用于贴附于所述热端套筒外表面上，并对所述热端套筒进行冷却；所述保护外壳和所述密闭阀组配合形成有密封腔，至少部分所述帕尔贴制冷机构和所述贴附散热机构位于所述密封腔中。实现了能够在真空等环境下直接使用，实现小型化操作，并使得操作环境可以达到尽可能低的温度的效果。
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公开(公告)号：CN214894866U
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202120486746.3
申请日：2021-03-08
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本实用新型公开了一种测量半导体二维材料瞬时散热性能的装置，包括风道腔，风道腔包括进气口和出风口，风道腔上还开设有透视窗，透视窗用于透过拉曼激光；还包括加热装置，加热装置固定于风道腔内，且加热装置的加热面与透视窗相对，加热装置用于加热放置于其上的测试样品。本实用新型可以实现在使用现有拉曼光谱测试仪的条件下，完成对不同二维材料与半导体三维结构的瞬时散热效率的测量，并且体积较小，重量较轻，组装和拆卸简易，方便搬运，各部件利用率高。
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