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公开(公告)号:CN110006740A
公开(公告)日:2019-07-12
申请号:CN201910217633.0
申请日:2019-03-21
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明实施例涉及高温微纳实验力学技术领域,提供的原位加热力学样品杆,包括样品杆本体、倾转台、驱动模块以及用于为样品实现拉伸、压缩以及加热功能的原位力热耦合微机电系统;样品杆本体的内部安装有直线步进电机和驱动杆,倾转台的连接部与样品杆本体转动连接;直线步进电机与驱动杆连接,用于使得驱动杆沿着样品杆本体的长度方向往复直线运动,从而实现倾转台的安装部的旋转;驱动模块包括驱动器载台以及驱动器;驱动器载台安装于倾转台的安装部;驱动器安装于驱动器载台,驱动器的动作端与原位力热耦合微机电系统相连。该原位加热力学样品杆在原位施加应力的同时,调整样品温度,以研究样品在不同温度下的力学状态与性质。
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公开(公告)号:CN109883828A
公开(公告)日:2019-06-14
申请号:CN201910149394.X
申请日:2019-02-28
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明实施例涉及材料原位微纳实验力学技术领域,提供的透射电子显微镜原位高温定量化力学实验台,包括:样品杆本体、倾转台、驱动模块和用于获取样品在温度-应力耦合条件下的应力-应变信息的微机电系统一体化测试器件;样品杆本体的内部安装有直线步进电机和驱动杆,倾转台的连接部与样品杆本体转动连接;直线步进电机与驱动杆连接,用于使驱动杆沿着样品杆本体的长度方向往复直线运动,从而实现倾转台的安装部的旋转;驱动模块安装于倾转台的安装部,用于对微机电系统一体化测试器件上的样品进行力学加载。该透射电子显微镜原位高温定量化力学实验台,可实现对微纳米尺度样品的定量化高温力学测试,并通过双轴倾转实时获得最佳观察角度。
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公开(公告)号:CN106098520A
公开(公告)日:2016-11-09
申请号:CN201610617959.9
申请日:2016-07-30
Applicant: 北京工业大学
CPC classification number: H01J37/26 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/20221 , H01J2237/20228
Abstract: 本发明公开了一种扫描/透射电子显微镜关联分析用真空移动装置,包括与扫描电镜相连接的真空腔体,其内部的二维平移台以及透射电镜样品杆偏心套筒;真空腔体前端与扫描电镜腔体法兰连接;真空腔体设置有二维平移台外接旋钮;腔体内部安装有用于实现SEM电子束成像区域精确选择的二维平移台,及其上的透射电镜样品杆偏心套筒,实现成像区域的Z轴微调。本发明结合TEM的高分辨成像和局部区域高精度成分获取和SEM能够获得大范围样品的形貌和成分的优点,实现精确定位样品研究区域、微观、纳米尺度相结合的研究样品的显微结构、成分、物相等信息;同时可用于对透射电镜加热、通电、液体及其一体化样品杆的初步测试,以保障透射电镜的安全。
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公开(公告)号:CN109883828B
公开(公告)日:2024-06-25
申请号:CN201910149394.X
申请日:2019-02-28
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明实施例涉及材料原位微纳实验力学技术领域,提供的透射电子显微镜原位高温定量化力学实验台,包括:样品杆本体、倾转台、驱动模块和用于获取样品在温度‑应力耦合条件下的应力‑应变信息的微机电系统一体化测试器件;样品杆本体的内部安装有直线步进电机和驱动杆,倾转台的连接部与样品杆本体转动连接;直线步进电机与驱动杆连接,用于使驱动杆沿着样品杆本体的长度方向往复直线运动,从而实现倾转台的安装部的旋转;驱动模块安装于倾转台的安装部,用于对微机电系统一体化测试器件上的样品进行力学加载。该透射电子显微镜原位高温定量化力学实验台,可实现对微纳米尺度样品的定量化高温力学测试,并通过双轴倾转实时获得最佳观察角度。
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公开(公告)号:CN110299274B
公开(公告)日:2024-04-12
申请号:CN201910459264.6
申请日:2019-05-29
Applicant: 北京工业大学
IPC: H01J37/20 , G01N23/02 , G01N23/20025 , G01N23/2005
Abstract: 本发明涉及基于透射电镜的纳米材料原位表征技术领域,提供了一种多悬臂热双金属驱动器及其制备方法,多悬臂热双金属驱动器包括本体,本体包括主动区和设置在所述主动区两侧的被动区;主动区开设第一开口,每个被动区开设第二开口,第一开口与被动区之间的连接部设为第一搭载梁,第二开口与主动区之间的连接部设为第二搭载梁;第一开口与所述第二开口通过连接通道相连通;每个第二搭载梁与第二开口上相对第二搭载梁的侧壁之间各自构成一个压缩驱动位置;本发明结构简单、制备方便,便于批量化生产,实现了在不同温度下进行TEM原位力学实验,还可根据需要灵活设计驱动器结构,满足不同的驱动需求。
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公开(公告)号:CN114018959A
公开(公告)日:2022-02-08
申请号:CN202111319292.1
申请日:2021-11-09
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N23/04 , G01N23/20033 , H05B3/02 , H05B3/03
Abstract: 本发明涉及透射电镜芯片技术领域,提供一种透射电镜原位原子尺度电热耦合芯片及其制备方法,所述透射电镜原位原子尺度电热耦合芯片包括基底、设置于基底上的薄膜承载层和设置于薄膜承载层上的功能层,功能层设有加热电阻、导热件和多个间隔设置的通电电极;加热电阻包括弧形部和两个延伸部,两个延伸部分别与弧形部的两端相连且相对于弧形部的对称中心线对称分布于弧形部的两侧;两个延伸部之间形成有第一通道和第二通道,第一通道与弧形部两端之间的开口连通,第二通道位于弧形部背离开口的一侧,通电电极部分位于弧形部围设的区域、开口和第一通道内,导热件部分位于第二通道内、部分延伸至加热电阻外侧。
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公开(公告)号:CN110261221A
公开(公告)日:2019-09-20
申请号:CN201910430801.4
申请日:2019-05-22
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明涉及纳米材料力学性能与显微结构原位表征技术领域,提供一种原位拉伸装置及其制备方法,所述的制备方法包括:在MEMS力学芯片上对搭载的板料进行切割操作,得到第一拉伸辅助件、第二拉伸辅助件和预拉伸样品;对预拉伸样品进行减薄操作,以得到拉伸样品;第一拉伸辅助件连接MEMS力学芯片的第一搭载侧,拉伸样品的两端分别连接第二拉伸辅助件与MEMS力学芯片的第二搭载侧;第一拉伸辅助件与第二拉伸辅助件相嵌套成勾套结构;本发明设计巧妙、操作便捷,实现了在MEMS力学芯片上直接制备拉伸样品和用于辅助拉伸的勾套结构,可以有效防止拉伸样品在实验前出现变形或损坏的问题,提高了拉伸实验的成功率和检测结果的准确性。
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公开(公告)号:CN110243679A
公开(公告)日:2019-09-17
申请号:CN201910459279.2
申请日:2019-05-29
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明涉及基于透射电镜的纳米材料原位表征技术领域,提供了一种热双金属拉伸驱动器及其制备方法,热双金属拉伸驱动器包括本体和第一开口、第二开口;本体包括主动区和设置在主动区两侧的被动区;主动区上开设第一开口,每个被动区上开设第二开口,第一开口与被动区之间的连接部设为第一搭载梁,第二开口与主动区之间的连接部设为第二搭载梁,且第一搭载梁与第二搭载梁并行连接;主动区上的两根第一搭载梁之间构成拉伸驱动位置;本发明结构简单、制备方便,通过一体式结构设计,便于批量化生产,并实现了在不同温度下进行TEM原位拉伸实验,同时可根据需要灵活设计驱动器的结构,满足了不同的驱动需求。
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公开(公告)号:CN109975348A
公开(公告)日:2019-07-05
申请号:CN201910172947.3
申请日:2019-03-07
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明实施例提供一种原位热电性能测试装置、制备方法及系统,在包括中空结构的基底上依次设有器件层和功能层,功能层和器件层中设有贯穿功能层和器件层并与中空结构连通的长槽;功能层的上表面位于长槽的两侧分别设有对称的第一加热电阻和第二加热电阻,能对样品的两端分别进行独立的温度控制;器件层中,第一加热电阻下方设有第一方形微孔,在第二加热电阻下方设有第二方形微孔,使得加热高温能聚集在装置的中空加热区域,降低装置功率;通过测量样品两端的电势差和样品的电阻率,可获取样品的塞贝克系数以及电导率随温度的变化情况,将样品的微纳米结构与测得的热电性能参数变化对应,可获取样品的微纳米结构与热电性能参数变化的直接关系。
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公开(公告)号:CN110031295B
公开(公告)日:2024-04-12
申请号:CN201910217214.7
申请日:2019-03-21
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N3/08 , G01N3/02 , G01N23/04 , G01N23/2251
Abstract: 本发明实施例涉及透射/扫描电子显微镜气体环境力学技术领域,提供的气体环境原位应力应变测量实验平台,包括由下至上依次连接的底座模块、力学加载与测量模块和顶部窗口模块;力学加载与测量模块包括具有的力学加载与测量模块本体,用于放置样品、为样品施加力与位移约束和获取样品的实时应力应变数据;底座模块和顶部窗口模块之间为气体存储空间,用于为不同的环境气体提供反应空间;顶部窗口模块用于密封样品气氛环境,并使电子束穿透样品,从而得到样品的透射电子显微镜图像。该气体环境原位应力应变测量实验平台在原位施加应力载荷状态下,调控样品所处气氛环境,研究样品在不同气氛环境下的力学状态。
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