公开(公告)号：CN116398421B

公开(公告)日：2023-12-19

申请号：CN202310603958.9

申请日：2023-05-26

Applicant: 北京东方计量测试研究所

Inventor： 卢耀文 ,  杨传森 ,  丁双 ,  董云宁 ,  魏萌萌 ,  闫睿 ,  王欢 ,  何家伟 ,  宋琦 ,  姚雪琦 ,  陈俊儒 ,  康鹏伟 ,  王汐月

IPC: F04B51/00 ,  F04B37/14

Abstract: 本发明涉及一种高真空泵抽速测试装置及其使用方法，高真空泵抽速测试装置包括进气管路、测试管路和对比管路，测试管路包括顺序连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵、第一前级泵，第一测试罩还连接有第二真空计；对比管路包括顺序连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、流导抽气机组，第二测试罩还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为相同的真空容器。本发明，克服了传统测量抽速等效氮气的不足，提高测试精度，减小测量不确定度，提高测试效率，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。

公开(公告)号：CN116398421A

公开(公告)日：2023-07-07

申请号：CN202310603958.9

申请日：2023-05-26

Applicant: 北京东方计量测试研究所

Inventor： 卢耀文 ,  杨传森 ,  丁双 ,  董云宁 ,  魏萌萌 ,  闫睿 ,  王欢 ,  何家伟 ,  宋琦 ,  姚雪琦 ,  陈俊儒 ,  康鹏伟 ,  王汐月

IPC: F04B51/00 ,  F04B37/14

Abstract: 本发明涉及一种高真空泵抽速测试装置及其使用方法，高真空泵抽速测试装置包括进气管路、测试管路和对比管路，测试管路包括顺序连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵、第一前级泵，第一测试罩还连接有第二真空计；对比管路包括顺序连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、流导抽气机组，第二测试罩还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为相同的真空容器。本发明，克服了传统测量抽速等效氮气的不足，提高测试精度，减小测量不确定度，提高测试效率，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。

公开(公告)号：CN112304804A

公开(公告)日：2021-02-02

申请号：CN202011169846.X

申请日：2020-10-28

Applicant: 北京东方计量测试研究所

Inventor： 卢耀文 ,  杨传森 ,  闫睿 ,  余荣 ,  王汐月 ,  董云宁 ,  徐宇杰 ,  方昭阳

IPC: G01N7/14

Abstract: 本发明公开了一种材料放气率测试系统及其测试方法，包含第一真空室、第二真空室、第三真空室、第一小孔元件、第二小孔元件、第一真空计、第二真空计、第三真空计、机械泵、第一分子泵、第二分子泵、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、第四真空阀门、第五真空阀门、第六真空阀门，第七真空阀门、第八真空阀门、第九真空阀门、第十真空阀门、第十一真空阀门、一个气体流量控制器、一个减压阀门、离子泵、一个标准气瓶和一个恒温箱，一方面减小了两次分别测量过程中由于暴露大气对装置本底放气影响；另一方面可以实现样品和本底同时测量，将原有的测量过程缩短了一半时间，提高了测量效率。