公开(公告)号：CN118129979A

公开(公告)日：2024-06-04

申请号：CN202410457443.7

申请日：2024-04-16

Applicant: 北京东方计量测试研究所

Inventor： 董云宁 ,  姚雪琦 ,  卢耀文 ,  王欢 ,  王汐月 ,  李京 ,  柏向春 ,  宋琦 ,  丁双 ,  康朋伟

IPC: G01L27/00

Abstract: 本发明涉及一种基于差分法的真空计校准装置及校准方法，校准装置包括校准室、第一流导元件、第一真空计、被校准真空计、差分管道、差分组件和供气检测组件，差分管道的三个端口分别用于与校准室、抽气管道和供气管道连接，差分组件设置在抽气管道上，包括第二真空计和第二流导元件，供气检测组件设置在供气管道上，包括供气检测真空计和第三流导元件。本发明，通过设置在校准室抽进气口上的差分组件，实现对进气流量的有效差分，将校准下限延伸到10‑7Pa，简化了校准装置的结构和操作方法，减小了装置的体积和重量。

公开(公告)号：CN117419996A

公开(公告)日：2024-01-19

申请号：CN202311355171.1

申请日：2023-10-18

Applicant: 北京东方计量测试研究所

Inventor： 卢耀文 ,  王欢 ,  杨传森 ,  张湧颀 ,  姚雪琦 ,  田虎林 ,  柏向春 ,  陈俊儒 ,  丁双 ,  王汐月 ,  康朋伟

IPC: G01N1/38 ,  G01N33/00 ,  G01M3/00

Abstract: 本发明涉及采用真空条件下流量计配制标准混合气体的装置及方法，所述装置包括：微量气体取样管路，包括第一气瓶、第一阀门、第二阀门、第一真空室、第三阀门、第一高真空泵机组、第一真空计和第二真空计；其他气体取样管路，包括第二气瓶、第十一阀门、第九阀门、第三真空室、第十阀门、第二高真空泵机组、第五真空计和第六真空计；混合气体管路，包括第四阀门、标准流导元件、第五阀门、第六阀门、第二真空室、第七阀门、第八阀门、第十二阀门、第三真空计和第四真空计；第一真空室与第四阀门连接，第三真空室相与第七阀门、第八阀门和第十二阀门连接。本发明设备简单、成本低、操作方便，可将配制标准混合气体的配制比下限延伸至2×10‑10。

公开(公告)号：CN117212121A

公开(公告)日：2023-12-12

申请号：CN202311127210.2

申请日：2023-09-04

Applicant: 北京东方计量测试研究所

Inventor： 卢耀文 ,  丁双 ,  杨传森 ,  夏天 ,  王汐月 ,  李京 ,  张湧颀 ,  崔健 ,  崔玉妹 ,  姚雪琦 ,  康朋伟

IPC: F04B51/00 ,  F04B37/14

Abstract: 本发明涉及高真空泵抽速测试装置及其使用方法，包括进气管路、与进气管路相连接的测试管路以及与测试管路相连接的校准管路；进气管路包括依次连接的流量系统和第五阀门；测试管路包括依次连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵和第一前级泵，第一测试罩上还连接有第二真空计；校准管路包括依次连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、抽气机组，第二测试罩上还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为结构和尺寸均不相同的真空容器。本发明可提高测试精度，减小测量不确定度，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。