具有高热导率的器件基板及其制造方法

    公开(公告)号:CN110892506B

    公开(公告)日:2024-04-09

    申请号:CN201880046539.7

    申请日:2018-07-10

    Abstract: 提供一种具有高热导率、高散热性并且在高频损耗小的器件基板,以及该器件基板的制造方法。本发明的器件基板1可以通过以下方法制造:使用临时贴合粘合剂31将SOI器件基板10的Si器件层侧临时贴合到支撑基板20,该SOI器件基板包括Si基础基板11、形成在Si基础基板上的具有高热导率且为电绝缘体的Box层12、和形成在Box层上的Si器件层13;去除临时贴合的SOI器件基板的Si基础基板11,直到露出Box层,从而获得减薄的器件晶片10a;使用耐热温度至少150℃的转移粘合剂32,通过施加热量和压力,将减薄的器件晶片的Box层侧与转移基板40彼此转移贴合,该转移基板具有高热导率并且是电绝缘体;以及分离支撑基板20。

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