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公开(公告)号：CN109143436A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201811050039.9
申请日：2018-09-10
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B5/18
CPC classification number: G02B5/18
Abstract: 一种偏振无关金属介质二维光栅，由上至下由顶层二维结构介质光栅层、介质光栅剩余层、金属层和基底构成光栅结构；所述的顶层二维结构介质光栅层为长方体或圆柱体或圆锥体或圆台结构。顶层二维结构介质光栅层和介质光栅剩余层为同种介质材料，该介质材料为HfO2，Ta2O5或SiO2中的任意一种；金属层的材料为Au，Ag或Cu中的任意一种。本发明的偏振无关金属介质二维光栅可以使TE和TM两种偏振模式的入射光以(‑1，0)级利特罗角入射时，(‑1，0)级反射衍射效率在中心波长780纳米波长高于92％，且两个偏振态之间的效率差异小于1.5％，实现对偏振无关入射光的高效率衍射。
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公开(公告)号：CN108732670A
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201810742641.2
申请日：2018-07-09
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B5/18
Abstract: 一种800纳米中心波长的金属介质膜宽带脉宽压缩光栅，其特点是在石英基底上自底层向外层依次的金属层、剩余层和光栅层一体构成，所述的光栅层为梯形光栅，该梯形光栅的材料为SiO2；周期为500-680纳米；底部占空比为0.48-0.58；底角83°-86°；槽深860-930纳米。本发明在入射角度65°，在750-850纳米波段TE偏振的-1级反射衍射效率大于90％。入射波长800纳米激光以65°或17°入射至光栅表面，光栅对TE偏振光的-1级反射衍射效率大于90％。本发明的单脉冲面损伤阈值为0.4J/cm2@35fs，800±35nm。本发明可用作高功率超短脉冲激光系统的脉宽压缩光栅。
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公开(公告)号：CN119916517A
公开(公告)日：2025-05-02
申请号：CN202510050443.X
申请日：2025-01-13
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明提供了一种高信噪比反射式体布拉格光栅滤光片的制备方法。通过光强调制板实现折射率调制度在体光栅滤光片厚度方向上呈现中心高、两侧逐渐降低的任意函数分布，从而优化折射率调制度分布，显著提升信噪比，有效抑制信道间串扰，在3nm的光谱范围内，具有超过60dB的信噪比，在光通信、光谱滤波及光学显示等领域展现出重要的应用价值。
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公开(公告)号：CN119148273A
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202411130596.7
申请日：2024-08-16
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种反射式全介质二维平面计量光栅，其特征在于该光栅由下而上依次分别是光栅基底、周期膜系、位相匹配层和顶部二维光栅层，相邻膜层高低折射率交替堆叠。本发明全介质二维平面计量光栅具有偏振不敏感、高化学稳定性和长使用寿命等特点，适用于浸没式曝光条件下的平面光栅测量系统。
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公开(公告)号：CN118732111A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410998742.1
申请日：2024-07-24
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种基于球面波干涉体全息光栅结构的角度放大器，所述的球面波干涉体全息光栅的光栅矢量在通光面上不同的位置有着不同的大小和方向，并且满足特定的表达式。本发明采用球面波干涉体全息光栅作为光束角度放大器件，结构简单，无需堆叠或复用即可实现偏转角度的连续放大，且具有低损耗、偏振无关、无源工作的特性。本发明可以与多种光束偏转器配合使用以提升角度偏转的能力，且对多种全息记录材料都有良好的兼容性，是理想的非机械式角度放大器件，在激光光束偏转技术领域具有良好的实用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114815025A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210596749.1
申请日：2022-05-17
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种大占宽比亚波长周期光栅结构制备方法，采用Bosch刻蚀技术在硅衬底上制备出侧壁带有锯齿状结构的光栅母版，使用纳米压印技术将光栅母版结构转移到压印胶中，然后采用镀膜技术沉积一层薄膜材料作为掩膜，最后通过lift‑off工艺将压印胶图形剥离并形成大占宽比光栅结构。本发明利用Bosch刻蚀技术形成的光栅侧面锯齿状结构替代传统负性光刻胶的倒梯形结构，避免了因镀膜过程中薄膜材料对光栅结构的包裹导致的lift‑off剥离困难问题，并解决了因负性光刻胶光刻胶分辨率不足导致的大占宽比、亚波长周期光栅结构制备难题，为大占宽比、亚波长周期光栅结构的制备提供了一种新的思路。
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公开(公告)号：CN111854291A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN202010704210.4
申请日：2020-07-21
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种高效主动换热光谱合束光栅集成化模块及其制备方法，整个模块包括光栅结构层、光栅基板、微通道冷却层、导流层、密封板和冷却液进出口部分组成，首先利用高热导、低膨胀材料制备光栅基板、微通道冷却层和密封板，然后利用共晶焊料在真空焊炉中将所有部件焊接在一起并进行退火处理，随后对光栅基板再次抛光修正其面形，并最终在其表面完成合束光栅结构制备。本发明解决了传统的冷却方案因冷却模块和合束光栅相互独立而导致的整个光栅冷却模块装配复杂、体积大、重量重、冷却效果不理想的问题，十分有利于高功率光谱合束系统的小型化、轻量化。
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公开(公告)号：CN108873316B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201810746871.6
申请日：2018-07-09
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种多块多通道复用体布拉格光栅级联角度偏转器，构成是：沿入射光方向依次是第1块复用体布拉格光栅的前表面的第1增透膜、第1块复用透射式体布拉格光栅、第2块复用透射式体布拉格光栅、…、第N块复用透射式体布拉格光栅和第N块复用透射式体布拉格光栅的后表面的第2增透膜，N为2以上的正整数。所包含的所有光栅通道的最小偏转角度从小到大依次级联。本发明提高了入射光束的绝对衍射效率，具有性能优越，结构简单，可大批量生产，在激光光束扫描技术领域具有重要的实用前景。
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公开(公告)号：CN109900737B
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201910167946.X
申请日：2019-03-06
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明提出一种基于等效温度的光学元件弱吸收测试装置及方法，首先利用泵浦激光辐照样品，达到稳态后利用红外热像仪记录样品表面最高温度，并利用泵浦光功率计测试样品的反射和透射功率；第二步，利用探测激光器(CO2激光器，光斑尺寸与泵浦激光光斑大小相同)辐照样品表面，一般CO2对于介质膜等光学元件吸收率为1，逐渐增加探测激光功率使得样品表面温度达到第一次测试的温度，此时读取探测光功率计中的功率；最后利用探测光功率计的读数比上样品的反射与透射功率之和，即为样品表面的弱吸收率。本发明主要利用一般光学元件对CO2激光的吸收率为1，样品在泵浦光辐照下的温度特性来测试表面的弱吸收率，相比现有的技术测试不仅精度高而且操作更加简单、方便，不需要后期数据处理。
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公开(公告)号：CN111141096A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN202010063734.X
申请日：2020-01-20
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种集成化反射式光栅主动冷却装置，包括光栅基板背面微通道冷却层、缓冲层、微通道密封部件、温度传感器和水冷机组件。本发明装置的主要优点是：微通道冷却层直接刻蚀在反射式光栅基板的背面，实现了光栅和微通道结构的高度集成化，所述的光栅基板上具有不同深宽比微通道结构，满足反射式光栅不同负载激光功率下不同冷却需求。
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