公开(公告)号：CN111854291A

公开(公告)日：2020-10-30

申请号：CN202010704210.4

申请日：2020-07-21

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 晋云霞 ,  刘畅洋 ,  邵建达 ,  曹红超 ,  孔钒宇 ,  张益彬 ,  王勇禄

IPC: F25D17/02 ,  F25D29/00

Abstract: 一种高效主动换热光谱合束光栅集成化模块及其制备方法，整个模块包括光栅结构层、光栅基板、微通道冷却层、导流层、密封板和冷却液进出口部分组成，首先利用高热导、低膨胀材料制备光栅基板、微通道冷却层和密封板，然后利用共晶焊料在真空焊炉中将所有部件焊接在一起并进行退火处理，随后对光栅基板再次抛光修正其面形，并最终在其表面完成合束光栅结构制备。本发明解决了传统的冷却方案因冷却模块和合束光栅相互独立而导致的整个光栅冷却模块装配复杂、体积大、重量重、冷却效果不理想的问题，十分有利于高功率光谱合束系统的小型化、轻量化。

公开(公告)号：CN111141096A

公开(公告)日：2020-05-12

申请号：CN202010063734.X

申请日：2020-01-20

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 晋云霞 ,  刘畅洋 ,  邵建达 ,  曹红超 ,  孔钒宇 ,  张益彬 ,  王勇禄

IPC: F25D17/02 ,  F25D29/00

Abstract: 一种集成化反射式光栅主动冷却装置，包括光栅基板背面微通道冷却层、缓冲层、微通道密封部件、温度传感器和水冷机组件。本发明装置的主要优点是：微通道冷却层直接刻蚀在反射式光栅基板的背面，实现了光栅和微通道结构的高度集成化，所述的光栅基板上具有不同深宽比微通道结构，满足反射式光栅不同负载激光功率下不同冷却需求。