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公开(公告)号:CN101051186A
公开(公告)日:2007-10-10
申请号:CN200710091061.3
申请日:2007-04-06
Applicant: 东进世美肯株式会社
Abstract: 本发明提供负型感光性树脂组合物、包含该负型感光性树脂固化物的TFT型液晶显示元件、以及利用了该负型感光性树脂组合物的TFT型液晶显示元件的图案形成方法。所述负型感光性树脂组合物的粘接强度、耐热性、绝缘性、平坦性、耐化学性和常温保存稳定性等性能优异,适用于液晶显示元件的图像形成用材料。本发明的负型感光性树脂组合物含有:a)丙烯酸类共聚物;b)光引发剂;c)具有乙烯型不饱和键的多官能性单体;d)含有环氧基或胺基的硅类化合物和e)溶剂;所述a)丙烯酸类共聚物是通过使i)苯基马来酰亚胺类化合物、ii)烯丙基丙烯酸类化合物以及iii)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物进行共聚而得到的。
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公开(公告)号:CN101034260A
公开(公告)日:2007-09-12
申请号:CN200710086075.6
申请日:2007-03-08
Applicant: 东进世美肯株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物,该感光性树脂组合物的灵敏度、绝缘性等各种性能优异,特别是具有优异的耐热性,因而可以增加后工序中的可靠性和寿命;此外,可以利用本发明所涉及的一种感光性树脂组合物同时形成绝缘体和隔离体这2种方式的图案,可以缩短工序时间,同时还显著地提高面板上的开口率,使其适用于PM-OLED、AM-OLED、AM-LCD、PDP基板的制造工序。本发明所涉及的感光性树脂组合物的特征在于,其含有a)多羟基苯乙烯类树脂、b)1,2-二叠氮醌化合物、c)光酸发生剂、d)三聚氰胺交联剂、和e)溶剂。
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公开(公告)号:CN1900821A
公开(公告)日:2007-01-24
申请号:CN200610106321.5
申请日:2006-07-19
Applicant: 东进世美肯株式会社
Abstract: 本发明提供了一种有机无机复合感光性树脂组合物,该组合物的粘附力、耐热性、绝缘性、平整性、耐化学性等性能优异,适用于液晶显示元件的成像用材料。本发明的有机无机复合感光性树脂组合物含有:A)选自由周期表内第3、4、5、13族金属氧化物组成的组中的金属氧化物或由类似二元素金属氧化物组成的组中的金属氧化物;B)a)丙烯酸系共聚物;b)光引发剂;c)具有乙烯性不饱和键的多官能性单体;d)含有环氧基或氨基的硅系化合物;e)溶剂。
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公开(公告)号:CN1702554A
公开(公告)日:2005-11-30
申请号:CN200510075828.4
申请日:2005-05-27
Applicant: 东进世美肯株式会社
Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物,特别是涉及的感光性树脂组合物含有:a)使i)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或者它们的混合物;ii)含有环氧基的不饱和化合物及iii)烯烃类不饱和化合物共聚而得到的丙烯酸类共聚物;b)1,2-醌二叠氮化合物;以及c)选自由苄醇、己醇、二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、二乙二醇二乙醚、二丙二醇甲乙醚及二丙二醇二乙醚组成的组中的1种或者1种以上的溶剂。本发明涉及的感光性树脂组合物不仅光敏度、透过率、绝缘性、耐化学性等性能优越,特别是还可以显著地提高平坦性和涂布性,适宜于形成LCD制造工序的层间绝缘膜。
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公开(公告)号:CN104011594A
公开(公告)日:2014-08-27
申请号:CN201280061667.1
申请日:2012-12-11
Applicant: 东进世美肯株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/075 , G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本发明涉及一种光致抗蚀剂组合物,更为详细地讲,涉及包括在基板的氮化硅膜(SiNx)上形成半色调(halftone)的工序的基板微细图案形成用光致抗蚀剂组合物。本发明的光致抗蚀剂组合物,其常温稳定性优良、变色少且透射率优良,从而即便省略HMDS工序,也不存在经微细化的图案在执行显影工序时产生遗失,或者在执行后工序时产生图案变形的危险。
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公开(公告)号:CN101059653A
公开(公告)日:2007-10-24
申请号:CN200710096464.7
申请日:2007-04-18
Applicant: 东进世美肯株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物,该组合物的灵敏度、耐热性、耐化学性等性能优异,而且更特别地,对于该组合物,通过使其膜具有优异的疏水特性而适于在喷墨方式中形成堤槽、同时适于在浮脱中使用。本发明的感光性树脂组合物的特征在于,其含有:a)丙烯酸类共聚物、b)1,2-醌二叠氮化合物、c)以化学式1~5之一的结构表示的氟类化合物、以及d)溶剂,所述a)丙烯酸类共聚物是使i)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物;ii)含有环氧基的不饱和化合物;和iii)烯烃类不饱和化合物进行共聚然后除去未反应单体而得到的。
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公开(公告)号:CN1983031A
公开(公告)日:2007-06-20
申请号:CN200610163334.6
申请日:2006-12-01
Applicant: 东进世美肯株式会社
Abstract: 本发明提供一种有机发光二极管(OLED)用感光性树脂组合物,其灵敏度、低介电特性等诸性能优异,特别是能够利用一种感光性树脂组合物同时形成绝缘体和隔离体这两种形式的图案,从而能够缩短工序时间,不仅如此,同时还明显提高面板上的数值孔径,适用于OLED制造工序。本发明的OLED用感光性树脂组合物的特征在于,其含有:a)通过逐步聚合制造的酚醛清漆树脂;b)1,2-二叠氮醌化合物;c)光致产酸剂;d)三聚氰胺类交联剂;以及e)溶剂。
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公开(公告)号:CN1877449A
公开(公告)日:2006-12-13
申请号:CN200610091557.6
申请日:2006-06-12
Applicant: 东进世美肯株式会社
IPC: G03F7/038 , G03F7/027 , G02F1/136 , G02F1/1333
Abstract: 本发明提供负型感光性树脂组合物,其粘着力、耐热性、绝缘性、平坦性、耐化学性等性能优异,适用于液晶显示元件的图像形成用材料,并且由于灵敏度、残膜率、UV透过率优异,因而适于用作层间有机绝缘膜;不仅如此,将该组合物用作保护层用等各种抗蚀剂树脂时,可以提高灵敏度和残膜率。本发明的负型感光性树脂组合物含有a)丙烯酸类共聚物、b)光引发剂、c)具有乙烯性不饱和键的多官能性单体、d)含有环氧基或胺基的硅类化合物和e)溶剂;所述a)丙烯酸类共聚物是通过使i)烯丙基丙烯酸类化合物、ii)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物、iii)含有环氧基的不饱和化合物以及iv)烯烃类不饱和化合物进行共聚而得到的。
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公开(公告)号:CN103917916B
公开(公告)日:2017-11-07
申请号:CN201280051559.6
申请日:2012-10-15
Applicant: 东进世美肯株式会社
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0236
Abstract: 本发明涉及OLED用聚酰亚胺感光性树脂组合物,特别是涉及一种具有以下特征的OLED用聚酰亚胺感光性树脂组合物,其特征在于,包括:a)包括i)聚酰亚胺前驱体、ii)聚羟基苯乙烯(poly hydroxy styrene)的树脂;b)1,2‑醌二叠氮化合物;c)交联剂;及d)溶剂。本发明的聚酰亚胺感光性树脂组合物使用分子量及溶解度容易调节的聚酰亚胺前驱体,适合于OLED的有机绝缘膜形成,特别是能够使灵敏度显著改善。
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公开(公告)号:CN103975275A
公开(公告)日:2014-08-06
申请号:CN201280060276.8
申请日:2012-11-29
Applicant: 东进世美肯株式会社
CPC classification number: H01L51/0013 , G03F7/0007 , G03F7/0387 , G03F7/0757
Abstract: 本发明涉及一种激光热转印用聚酰亚胺光敏性组合物,更详细地讲,涉及在形成OLED的绝缘膜中,在适用于激光热转印法(laser induced thermal imaging,LITI)时,可形成双锥形,且脱模性(anti-stiction)优良的聚酰亚胺光敏性组合物。
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