拾取方法、拾取装置和安装装置

    公开(公告)号:CN110537252A

    公开(公告)日:2019-12-03

    申请号:CN201880025630.0

    申请日:2018-03-08

    Abstract: 本发明的课题在于降低粘接力等保持力的影响而可靠性高地进行半导体芯片的拾取和安装。具体而言,提供拾取方法,通过最表层具有半导体芯片载持面(13)的静电转移板来拾取半导体芯片(1),其特征在于,该拾取方法至少具有如下的工序:带电工序,在半导体芯片载持面(13)上形成期望的带电图案;以及拾取工序,将所排列的多个半导体芯片(1)中的半导体芯片(1)根据期望的带电图案而吸附于半导体芯片载持面(13),从而选择性地拾取半导体芯片(1)。

    涂布装置和涂布方法
    14.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101932958B

    公开(公告)日:2012-08-29

    申请号:CN200980103724.6

    申请日:2009-02-03

    CPC classification number: B41J3/28 G02B5/201 G02F1/133516

    Abstract: 本发明提供喷嘴数量少且不会在边界部产生不均匀的涂布装置和涂布方法。涂布装置通过多个涂料喷头(51)涂布原色数量为N的涂料,来制造滤色器,其特征在于,由供给相同颜色的涂料的一个以上的涂料喷头(51)构成了喷头模块(52),该喷头模块(52)以至少喷头模块(52)的涂料排出宽度的两端邻接或重叠的方式,以间距P在扫描方向上排列,并且这些喷头模块(52)在与扫描方向垂直的方向上连续排列了长度L,由此构成了喷头单元(50),按该喷头单元(50)的每个喷头模块(52)依次改变颜色来供给涂料,并且,相对于滤色器的必要涂布宽度W,L满足下式:[式1]L≥W+(N-1)×P(N=1、2、3...)。

    涂敷装置
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1840241A

    公开(公告)日:2006-10-04

    申请号:CN200610067082.7

    申请日:2006-03-31

    CPC classification number: B05C11/10 B05C5/0254 G03F7/16

    Abstract: 一种涂敷装置,具有:储液罐(4);载物台(5),其保持基板(K);涂敷头(6),其具有开口部(621),被架设在载物台的上方;输液泵,其将涂敷液导入涂敷头中;第一开闭阀(11),其设置在输液泵的吸入口(C12)与储液罐之间,当进行吸入动作时成为打开状态,当进行排出动作时成为关闭状态;第二开闭阀(12),其设置在输液泵的排出口(C13)与涂敷头之间,当进行排出动作时成为打开状态,当进行吸入动作时成为关闭状态;以及驱动装置(7),其在使狭缝状的开口部与基板接近的状态下,使涂敷头与基板相对移动,输液泵具有膜状密封部件(F),其密封泵体(C)与柱塞(P)之间的间隙(G),可实现延长密封部件的寿命。

    液体输送用泵
    18.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1811179A

    公开(公告)日:2006-08-02

    申请号:CN200610002257.6

    申请日:2006-01-27

    CPC classification number: F04B43/02

    Abstract: 本发明提供一种液体滞留率极低且液体置换特性优良的液体输送用泵。液体输送用泵(1)包括:缸(2),其具有吸入口(32)和吐出口(33);柱塞(5),其设置成:在缸(2)的内部,可沿缸(2)的轴线(J1)方向被往复驱动;和膜状密封部件(6),其用于对缸(2)和柱塞(5)之间的间隙(G)进行密封,该液体输送用泵(1)通过往复驱动柱塞(5)来交替地进行吸入动作和吐出动作,从而使从吸入口(32)吸入的输送对象液体从吐出口(33)吐出,吸入口(32)设置在缸(2)的侧面。

    合成装置和计量机构
    20.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110709161A

    公开(公告)日:2020-01-17

    申请号:CN201880021509.0

    申请日:2018-03-16

    Abstract: 本发明涉及用于选择性地输送多种溶液而进行化学合成的合成装置,提供改善溶液的利用效率、装置结构简化、可靠性高的合成装置。另外,提供准确地进行溶液的计量以改善溶液的利用效率的计量机构。具体地,合成装置(3)具有:多个导出管(6),它们分别从收纳有溶液的多个收纳容器(2)设置;送液单元(24),其通过导出管(6)进行输送;反应容器(9),所输送的溶液进入该反应容器而生成合成物;以及计量机构(15),其在收纳容器(2)与反应容器(9)之间设置于整体流路(25)的中途,对向反应容器(9)输送的溶液进行计量。并且,计量机构(15)选择性地获取多种溶液而进行计量。计量机构(15)具有:保持部(27),其对导出管(6)的下游侧端部(6a)侧进行保持;计量容器(7),其接受从下游侧端部(6a)流出的溶液;以及重量传感器(26),其对计量容器(7)中的重量进行测量。

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