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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105026051A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201480010240.8
申请日：2014-02-18
Applicant: 东丽工程株式会社
CPC classification number: B05B12/20 , B05B5/025 , H01L51/0096
Abstract: 提供一种基板处理装置，能够抑制因在基板与掩模之间形成间隙而引起掩模的开口图案的转印性变差的情况。具体而言，该电喷雾装置(100)(基板处理装置)具有配置在基板(5)附近且具有规定的开口图案的掩模(3)，掩模(3)构成为：在掩模(3)的端部(3a)附近被支承的状态下，掩模(3)向下方的挠曲变形量(d2)成为基板(5)向下方的挠曲变形量(d1)以下的大小。
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公开(公告)号：CN104245154A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201380021575.5
申请日：2013-03-08
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: B05C13/02 , B05C9/10 , B05D1/26 , G02B5/20 , G02F1/1335
CPC classification number: B05B13/0478 , G02B5/201
Abstract: 提供能够高精度地向涂布对象的排列发生歪曲的基板喷出液滴的涂布装置以及涂布方法。具体而言，在涂布装置(1)中，在基板保持部(7)保持住基板(W)的状态下，进行使涂布单元(21)和基板保持部(7)沿特定的扫描方向进行相对移动，同时使涂布单元(21)向基板(W)上的涂布对象(G)涂布涂布液的扫描动作，基板保持部(7)的把持单元把持基板(W)的同时使该基板移动，从而将基板(W)拉伸变形，在进行了基板(W)上的涂布对象(G)的排列的矫正后，进行扫描动作，在涂布对象(G)的排列的矫正中，连接规定的喷嘴(22)在1次扫描动作的涂布开始点进行涂布的涂布对象(G)的位置与该喷嘴(22)在涂布结束点进行涂布的涂布对象(G)的位置的线段的方向与涂布单元(21)的扫描方向平行。
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公开(公告)号：CN104245154B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201380021575.5
申请日：2013-03-08
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: B05C13/02 , B05C9/10 , B05D1/26 , G02B5/20 , G02F1/1335
CPC classification number: B05B13/0478 , G02B5/201
Abstract: 提供能够高精度地向涂布对象的排列发生歪曲的基板喷出液滴的涂布装置以及涂布方法。具体而言，在涂布装置中，在基板保持部保持住基板的状态下，进行使涂布单元和基板保持部沿特定的扫描方向进行相对移动，同时使涂布单元向基板上的涂布对象涂布涂布液的扫描动作，基板保持部的把持单元把持基板的同时使该基板移动，从而将基板拉伸变形，在进行了基板上的涂布对象的排列的矫正后，进行扫描动作，在涂布对象的排列的矫正中，连接规定的喷嘴在1次扫描动作的涂布开始点进行涂布的涂布对象的位置与该喷嘴在涂布结束点进行涂布的涂布对象的位置的线段的方向与涂布单元的扫描方向平行。
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公开(公告)号：CN105813761B
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201480067152.1
申请日：2014-11-19
Applicant: 东丽工程株式会社
Inventor： 本田显真
CPC classification number: B05B5/1675 , B05B5/057
Abstract: 提供电喷雾装置，该电喷雾装置能够抑制因施加给溶液材料的电压(电流)导致送液驱动部破损。具体而言，该电喷雾装置(100)将从喷嘴(1)喷雾的溶液材料作为薄膜堆积在基板(200)上，该电喷雾装置(100)具有：喷嘴(1)，其在对溶液材料施加了电压的状态下进行喷雾；泵部(6)和电磁阀(7)，其用于将溶液材料输送给喷嘴(1)；接头部(8)，其设置在喷嘴(1)与泵部(6)、电磁阀(7)之间，包含由具有导电性的材料构成的接头主体部(81)，接头主体部(81)被接地。
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公开(公告)号：CN105813761A
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201480067152.1
申请日：2014-11-19
Applicant: 东丽工程株式会社
Inventor： 本田显真
CPC classification number: B05B5/1675 , B05B5/057
Abstract: 提供电喷雾装置，该电喷雾装置能够抑制因施加给溶液材料的电压(电流)导致送液驱动部破损。具体而言，该电喷雾装置(100)将从喷嘴(1)喷雾的溶液材料作为薄膜堆积在基板(200)上，该电喷雾装置(100)具有：喷嘴(1)，其在对溶液材料施加了电压的状态下进行喷雾；泵部(6)和电磁阀(7)，其用于将溶液材料输送给喷嘴(1)；接头部(8)，其设置在喷嘴(1)与泵部(6)、电磁阀(7)之间，包含由具有导电性的材料构成的接头主体部(81)，接头主体部(81)被接地。
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