一种实现低频大角度MEMS扫描镜的装置

    公开(公告)号:CN110879466A

    公开(公告)日:2020-03-13

    申请号:CN201911224150.X

    申请日:2019-12-04

    Abstract: 本发明公开了一种实现低频大角度MEMS扫描镜的装置,包括可绕一扭转轴扭转的镜面,还包括偶数组梳齿驱动器,其中一半梳齿驱动器与另一半梳齿驱动器的位置关于镜面扭转轴对称,分别位于轴的两侧,所有梳齿驱动器均由固定梳齿和可动梳齿组成,其中可动梳齿与镜面直接相连或通过梁、杆等与镜面相连,所有梳齿驱动器中位于镜面扭转轴同一侧的一半为垂直梳齿驱动器,另一半为常规梳齿驱动器,扫描镜工作时所有的固定梳齿之间同电势,所有的可动梳齿之间同电势。本发明解决了现有技术需要2倍频驱动电源,且最大扫描角不稳定的问题。

    一种加热器结构及其制备方法、氢气传感器

    公开(公告)号:CN111278175A

    公开(公告)日:2020-06-12

    申请号:CN201811482768.1

    申请日:2018-12-05

    Abstract: 本申请公开了一种加热器结构及其制备方法、氢气传感器,其中,所述加热器结构的绝缘膜层中包括第二图案,且第二图案的高度小于所述绝缘膜层其他区域的高度,为形成在第二图案中的加热结构限定了形成区域,从而使得在利用丝网印刷工艺制备加热结构时,只需使形成加热结构的导电浆料印刷在第二图案中即可,不仅降低了加热结构的形成难度,而且提升了形成的加热结构的形状的精度,避免丝网印刷获得的加热结构比设计的图形大很多的情况出现,提升了所述加热器结构检测精度。

    一种激光扫描投影系统
    18.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110876048A

    公开(公告)日:2020-03-10

    申请号:CN201911202845.8

    申请日:2019-11-29

    Abstract: 本申请公开了一种激光扫描投影系统,由于第一预设平面与所述第一单轴MEMS振镜的衬底以及转动轴均垂直,因此扫描激光在入射到第一单轴MEMS振镜的反射面上形成第一反射激光时,第一反射激光不会由于第一单轴MEMS振镜的转动而使得传播路径明显弯曲;同样的,由于第二预设平面与所述第二单轴MEMS振镜的衬底以及转动轴均垂直,因此第二单轴MEMS振镜反射形成的扫描光束也不会由于第二单轴MEMS振镜的转动而使得传播路径明显弯曲,从而使得最终形成在屏幕上的图像不会存在明显的不对称畸变,实现降低激光扫描投影系统投影图像的畸变的目的,避免了现有技术中的激光扫描投影系统投影的图像畸变明显且难以矫正的问题。

    一种MEMS扫描镜
    19.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110501812A

    公开(公告)日:2019-11-26

    申请号:CN201910839155.7

    申请日:2019-09-05

    Abstract: 本发明公开了一种MEMS扫描镜,包括:镜体;所述镜体的两侧均连接有能够弯曲的应力弯曲梁,所述应力弯曲梁沿厚度方向残余应力由顶层向底层缩小;可动梳齿,所述可动梳齿安装在所述应力弯曲梁的侧面;固定梳齿,所述固定梳齿一端固定布置,另一端与所述应力弯曲梁间隔布置;扭转梁,所述扭转梁一端与所述应力弯曲梁另一端相连,所述扭转梁另一端与固定件相连。利用加工工艺中的残余应力带来的应力不匹配,使应力弯曲梁翘曲变形而带动可动梳齿自发与固定梳齿产生高度差。残余应力在微纳加工工艺中是难以避免的,总是或多或少存在,因此,基于残余应力实现垂直梳齿不需要额外的加工手段,降低了成本,且具有自组装、自对准等优势。

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