公开(公告)号：CN109799682A

公开(公告)日：2019-05-24

申请号：CN201711140379.6

申请日：2017-11-16

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 管博然 ,  丛国栋 ,  李志龙 ,  张志钢 ,  刘屈武 ,  黄亚庆

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种防撞装置，包括：框架、第一缓冲结构、第二缓冲结构及连接部件，所述第一缓冲结构的一端与所述第二缓冲结构的一端通过所述连接部件呈锐角可旋转相连，所述第一缓冲结构的另一端与所述第二缓冲结构的另一端设置在所述框架上。本发明的防撞装置通过两个一端通过连接部件呈锐角可旋转相连的缓冲结构将连接部件引导施加的任意方向上的撞击力转化两个缓冲结构垂向的力，解决了传统一维的油压缓冲器或记忆合金防撞条只能防撞一个方向的碰撞的问题；防撞装置的结构布局简单，安装调试大为便捷，减轻了防撞装置自身的重量；不占用垂向空间，应用到光刻机工件台系统时节省了大量空间，方便工件台系统的后续升级改进。

公开(公告)号：CN109634060A

公开(公告)日：2019-04-16

申请号：CN201710931323.6

申请日：2017-10-09

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 管博然 ,  刘屈武 ,  黄亚庆 ,  李志龙

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供了一种线缆支撑机构，所述线缆支撑机构包括固定模块、随动模块及支撑转接模块；所述固定模块固定在底部框架上；所述随动模块固定在线缆的可活动部分上；所述支撑转接模块分别连接所述固定模块和所述随动模块以支撑所述随动模块及所述线缆。实现了在工作台运动时，多层线缆垂向全程无摩擦跟随支撑，不占用垂向空间，为线缆本身预留出更多的空间；同时去掉了原始设计中不必要的机构，精简结构，提升了线缆支撑机构的可维护性以及可靠性。

公开(公告)号：CN108983552A

公开(公告)日：2018-12-11

申请号：CN201710399702.5

申请日：2017-05-31

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 丛国栋 ,  李志龙 ,  黄亚庆 ,  赵文波

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种移入移出机构，包括连接块、板簧、板簧变形驱动单元及滚轮单元；板簧为二分段式结构，板簧的两个分段之间铰链式连接，板簧的一个分段通过连接块安装在待移动对象上、另一个分段连接滚轮单元；板簧变形驱动单元为板簧上连接所述滚轮单元的分段提供朝向移动承载面变形的驱动力。本发明还公开了一种光刻机工件台移入移出装置，包括底部框架、空气弹簧、气垫装置及上述移入移出机构，多组移入移出机构设置于底部框架的下表面或侧边。本发明移入移出机构的板簧采用铰链结构分段，且板簧变形各受力处共线，可保证受力均衡，防止卡死；移入移出装置成对使用多组移入移出机构，可防止对地面施加过大压力而造成工件台倾覆。

公开(公告)号：CN217250952U

公开(公告)日：2022-08-23

申请号：CN202221026954.6

申请日：2022-04-28

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 黄亚庆 ,  闫法领

IPC: B08B1/04 ,  B08B1/00 ,  B08B13/00

Abstract: 本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种吸盘清洁装置及光刻设备。所述吸盘清洁装置包括机架、升降驱动机构和旋转驱动机构，升降驱动机构包括直线驱动器和安装件，直线驱动器固定于机架上，其驱动端与安装件固定连接，以驱动安装件沿竖直方向升降；旋转驱动机构包括旋转驱动器和清洁组件，旋转驱动器固定于安装件上并与直线驱动器同轴设置，其驱动端与清洁组件传动连接，以驱动清洁组件转动。该吸盘清洁装置通过直线驱动器和旋转驱动器实现清洁组件沿竖直方向升降及绕竖直方向旋转，通过使直线驱动器和旋转驱动器上下同轴设置，从而能够缩小吸盘清洁装置在水平方向的尺寸，以满足光刻设备狭小安装空间的安装需求。

公开(公告)号：CN217559575U

公开(公告)日：2022-10-11

申请号：CN202221353587.0

申请日：2022-05-31

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 黄亚庆 ,  胡书平

IPC: F17D1/04 ,  F17D3/01 ,  B08B1/00 ,  B08B13/00 ,  B65G45/10

Abstract: 本实用新型属于光刻技术领域，具体公开了一种升降控制系统、吸盘清洁装置及光刻系统。升降控制系统包括供气单元、供气主路、第一供气支路、第二供气支路及气缸；供气主路的第一端与供气单元连通，第二端分别通过第一供气支路和第二供气支路与气缸的无杆腔和有杆腔连通；供气主路上设置有主调压阀，第二供气支路上设置有单向阀和辅调压阀，单向阀允许气体从供气主路流向有杆腔；供气主路或第一供气支路上设置有常闭式二位三通电磁阀。吸盘清洁装置包括上述升降控制系统，光刻系统包括上述的吸盘清洁装置。本实用新型公开的升降控制系统、吸盘清洁装置及光刻系统，能够提高气缸工作和复位的安全性和可靠性，从而提高吸盘清洁装置的使用安全性。

公开(公告)号：CN209028411U

公开(公告)日：2019-06-25

申请号：CN201821713607.4

申请日：2018-10-22

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 丛国栋 ,  方洁 ,  刘剑 ,  李志龙 ,  黄亚庆

IPC: G03F7/20

Abstract: 本实用新型公开一种光刻机工件台移动调整装置，所述光刻机工件台移动调整装置包括：三个对接部件，其中一个对接部件固定设置于工件台的第一侧，其余两个对接部件固定设置于工件台上与所述第一侧相对的第二侧，以实现将所述工件台与整机框架对接，所述整机框架上设置与对接部件匹配的对接接口；至少三个气浮部件，分别设置于工件台上临近三个对接部件的位置，且至少一个气浮部件的支点与其临近的对接部件在三维坐标中预定平面的投影位置重合。由于气浮部件的支点与其临近的对接部件在三维坐标中预定平面的投影位置重合，缩短了光刻机工件台移动调整装置的运动支点与定位支点之间的距离，提高了装置结构的稳定性及重复性。