估计半导体装置中的泄漏电流的方法

    公开(公告)号:CN101661525B

    公开(公告)日:2014-10-08

    申请号:CN200910170609.2

    申请日:2009-08-28

    CPC classification number: G06F17/5036

    Abstract: 本发明提供一种估计半导体装置中的泄漏电流的方法。在估计半导体装置的泄漏电流的方法中,通过网格模型将包括多个单元的芯片划分为段。空间相关性被确定为涉及每个单元中的泄漏电流的工艺参数之间的空间相关性。通过算术地运算实际泄漏特性函数来产生单元的虚拟单元泄漏特性函数。通过算术地运算段中的每个单元的虚拟单元泄漏特性函数来产生段泄漏特性函数。然后,通过以统计学方式运算芯片中的每个段的段泄漏特性函数来产生全芯片泄漏特性函数。因此,可以显著地减小用于产生全芯片泄漏特性函数的Wilkinson的方法的计算负荷。

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