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公开(公告)号：CN1215529C
公开(公告)日：2005-08-17
申请号：CN02130372.X
申请日：2002-07-05
Applicant: 大日本屏影象制造株式会社
IPC: H01L21/00
CPC classification number: H01L21/67276 , G05B19/4184 , G05B23/0264 , G05B2219/31337 , G05B2219/31365 , G05B2219/31402 , G05B2219/32207 , Y02P90/14 , Y02P90/18
Abstract: 一种衬底处理系统，具有衬底处理装置和信息存储服务器和支持计算机，分别连接于网络。衬底处理装置中产生故障时，警报处理部提取必要的关联日志(log)文件并存储在信息存储服务器的固定盘上。另外，通过故障信息生成部生成故障信息，最终作为故障信息数据库存储在信息存储服务器的固定盘上。这些关联日志文件和故障信息数据库可通过装置信息公开部从远处的支持计算机阅览。由此，可即刻阅览关联日志文件和故障信息数据库。即提供在衬底处理装置产生故障时，从远处即时阅览运转信息的衬底处理系统。
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公开(公告)号：CN1531029A
公开(公告)日：2004-09-22
申请号：CN200410028731.3
申请日：2004-03-12
Applicant: 大日本屏影象制造株式会社
IPC: H01L21/302 , H01L21/00 , B08B3/02
Abstract: 提供一种在把冲洗液供给到基板的表面而处理基板的场合，可以减少冲洗液(纯水)的使用量的方法。在基板(W)被向水洗处理部(10)的处理腔(12)内搬入的当初，从入口喷嘴(20)与上部喷雾嘴(22)向基板供给冲洗液，然后，在基板被从处理腔(12)内搬出之前，从上部喷雾嘴(22)与下部喷雾嘴(24)向基板供给冲洗液。
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公开(公告)号：CN1510627A
公开(公告)日：2004-07-07
申请号：CN03125536.1
申请日：2003-09-25
Applicant: 大日本屏影象制造株式会社
CPC classification number: G06Q10/10 , G06F3/1205 , G06F3/1275 , G06F3/1285
Abstract: 工作流程生成装置预先将工作流程生成用的规则(311)和与构成工作流程的各处理的执行有关的环境信息(312)存入辅助存储装置中，通过用户操作，指定由作为最终成果的胶片、印刷版、印刷物等图象记录媒体的属性值组成的输出要件(310)后，通过对该输出要件(310)的各属性值应用工作流程生成规则(311)，决定为制作满足该输出要件(310)的图象记录媒体所必要的处理，同时设定必要的各处理的参数值。而且，按照这些规则的适用结果，一边考虑环境信息(312)，一边生成工作流程，生成与该工作流程对应的记录单(321～323)。
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公开(公告)号：CN1497667A
公开(公告)日：2004-05-19
申请号：CN200310102886.2
申请日：2003-10-22
Applicant: 株式会社神户制钢所 , 大日本屏影象制造株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/302 , G03F7/00
CPC classification number: H01L21/67017 , B08B7/0021
Abstract: 本发明提供一种高压处理方法及高压处理装置，使用高压流体而对被处理体施予高压处理，其中，将所述高压流体冲撞到配置在高压处理室内的所述被处理体表面上之后，沿其表面流到该被处理体外边。
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公开(公告)号：CN1469113A
公开(公告)日：2004-01-21
申请号：CN03136395.4
申请日：2003-06-04
Applicant: 大日本屏影象制造株式会社
Inventor： 井根英一
CPC classification number: G06K9/00 , G06K2209/19 , G06T7/001 , G06T2207/30141
Abstract: 参考掩模产生部分、检查掩模产生部分、缺陷探测部分，被排列在缺陷探测装置的控制部分内。根据拍摄的检查目标衬底的图象(检查图象数据)，检查掩模产生部分对待要检查的焊接区图形执行轮廓匀平处理，并借助于用由参考掩模产生部分产生的参考掩模数据进行逻辑OR而产生检查掩模数据。根据这样产生的检查掩模数据，检查图象数据被检查。而且，缺陷探测部分对先前探测的某些缺陷执行区域接合处理。在各个微观缺陷聚集形成缺陷的情况下，缺陷探测部分将它们探测为缺陷，然后产生缺陷数据。因此，抑制了衬底上缺陷的遗漏，同时高速执行图象处理。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100477074C
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200310102886.2
申请日：2003-10-22
Applicant: 株式会社神户制钢所 , 大日本屏影象制造株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/302 , G03F7/00
CPC classification number: H01L21/67017 , B08B7/0021
Abstract: 本发明提供一种高压处理方法及高压处理装置，使用高压流体而对被处理体施予高压处理，其中，将所述高压流体冲撞到配置在高压处理室内的所述被处理体表面上之后，沿其表面流到该被处理体外边。
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公开(公告)号：CN1329264C
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN03141093.6
申请日：2003-06-17
Applicant: 大日本屏影象制造株式会社
Inventor： 三好浩司
CPC classification number: B65H3/40 , B65H3/0833 , B65H2220/09 , B65H2301/51214 , B65H2406/342 , B65H2701/18264 , B65H2701/1928
Abstract: 在一个板送料设备的盒中存放一叠交替放置的板和夹层。多个在竖直方向上可以移动的吸盘由该叠中移开一个夹层。存在着这样的情况，即在移开的过程中一个板附接到该夹层的背表面上。升高在水平方向上作往复运动的多个吸盘将会使得附接到夹层上的板落下。
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公开(公告)号：CN1284220C
公开(公告)日：2006-11-08
申请号：CN03158477.2
申请日：2003-09-11
Applicant: 大日本屏影象制造株式会社
Inventor： 中泽喜之
CPC classification number: H01L21/6838
Abstract: 一种衬底处理设备中的衬底保持装置，包括固定台，它具有一抽吸管和供气管；以及具有用来真空保持衬底的大气流通道的保持元件。保持元件被安置在固定台上。抽吸管通过一管子与压缩机相连，供气管通过管子和电磁线与气体供气部件相连。当衬底保持装置保持住衬底时，压缩机通过抽吸管抽吸大气，使保持元件真空保持住该衬底。当衬底保持装置释放衬底时，在通过抽吸管继续抽吸大气的同时，打开电磁阀通过供气管从气体供气部件供应一种气体。该衬底保持装置和衬底处理设备可抑制颗粒淀积在衬底上。
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公开(公告)号：CN1624576A
公开(公告)日：2005-06-08
申请号：CN200410102034.8
申请日：2003-03-26
Applicant: 大日本屏影象制造株式会社
IPC: G03B27/00
CPC classification number: H04N1/08 , H04N1/00639 , H04N1/0869 , H04N1/0882
Abstract: 图象记录器包括一用于在一块印片上冲出一孔的冲孔装置。该冲孔装置具有6个可移动的冲孔器。冲孔器能冲出不同形状的孔。一具有所需形状的冲头移动到朝向一印片的位置，该印片位于一进料/卸料装置的一上料盘上。当印片由冲头冲出孔以后，该印片就被输送到一转鼓上。这样当装在转鼓上的印片冲出增大时，允许在印片上的冲孔位置有变化而不需要增加冲孔器的数量。如果冲孔标准发生冲突，则图象记录器允许所需的冲孔器定位在要求的位置。
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公开(公告)号：CN1497421A
公开(公告)日：2004-05-19
申请号：CN03125591.4
申请日：2003-09-24
Applicant: 大日本屏影象制造株式会社
CPC classification number: G06K15/16 , B41J3/46 , B41J11/485 , B41J29/393 , G03G2215/0426
Abstract: 在打印系统中，控制器为每个进纸盒确定用于识别在打印机中提供的多个进纸盒的识别信息。当操作者指定进纸盒以用来输送用于打印由打印数据描绘的图像的纸张时，控制器存储在打印数据和已指定的进纸盒之间的对应关系。基于该对应关系，控制器将识别信息与由打印数据描绘的图像相结合，其中所述识别信息是分配给与打印数据相对应的进纸盒的，以便创建预览图像，而后显示所述预览图像。在执行打印过程之前，操作者由此能够容易地确认哪个进纸盒储存有将要打印由打印数据描绘的图像的纸张。
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