一种背衬型高频宽带PMUT单元及PMUT阵列

    公开(公告)号:CN113120854A

    公开(公告)日:2021-07-16

    申请号:CN202110235018.X

    申请日:2021-03-03

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明涉及一种背衬型高频宽带PMUT单元及PMUT阵列,PMUT单元包括依次叠层的基底(1)、电隔离层(2)、下电极(3)、压电层(4)、上电极(5)、钝化层(6)和引线层(7),所述的基底(1)上从其底部沿轴向向上开设有一盲孔式空腔形成背腔,所述的背腔中填充背衬材料(8)。PMUT阵列包括若干按行列依次排列的PMUT单元。与现有技术相比,本发明背衬结构可以将PMUT阵列带宽提高一倍以上,并且同时满足相控阵对单元间距的要求。

    一种具有层叠结构的多栅指数晶体管及其制备方法

    公开(公告)号:CN111613676B

    公开(公告)日:2021-06-04

    申请号:CN202010281186.8

    申请日:2020-04-11

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于晶体管技术领域,具体为一种具有层叠结构的多栅指数晶体管。本发明多栅指数晶体管,依次由漏极、沟道、源极、沟道循环层叠构成,所有的沟道宽度均大于源漏宽度,在沟道右侧未被源漏覆盖的最右侧区域,分别形成栅氧化层和栅极,并且所有的栅极通过栅极金属相连接,以此形成统一的栅极;沟道以二维材料制备,多沟道受到统一栅极的调控;该晶体管沟道长度较小,电流流动方向沟道面积较大,因此沟道电流较大。并且所有的沟道受到统一的栅极调控,栅控能力强,集成度高,可应用于新型电子器件和医疗领域。

    应用于5G毫米波基站的四通道相控阵收发机

    公开(公告)号:CN109474296B

    公开(公告)日:2021-04-30

    申请号:CN201811614591.6

    申请日:2018-12-27

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于集成电路技术领域,具体为一种应用于5G毫米波基站的带有相位控制的四通道相控阵收发机。该四通道相控阵收发机单片集成了四通道发射机与四通道接收机,主要包括了发射天线、带有相位控制的功率放大器、发射通路中的混频器、接收天线、带有相位控制的低噪声放大器和接收通路中的混频器。通过利用低噪声放大器与功率放大器的级间匹配网络实现相移,因此,避免了传统无源移相器的高额的面积开销与插入损耗;同时该相控阵收发机单片集成了四通道发射机与四通道接收机,大大减小了整个收发机芯片的面积。因此该四通道相控阵收发机相比于传统的收发机架构,具有面积小、链路增益高的优点。

    一种自举电容可调的电压倍增超声波脉冲激励电路

    公开(公告)号:CN112636626A

    公开(公告)日:2021-04-09

    申请号:CN202011572181.7

    申请日:2020-12-27

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于集成电路技术领域,具体为一种自举电容可调的电压倍增超声波脉冲激励电路。本发明包含四个高压MOS管和一个可调的自举电容;四个MOS管栅极分别接独立的开关控制信号,其中两个MOS管一端接地,另一端分别连接自举电容的两端;另两个MOS管一端接电源,另一端也分别连接自举电容的两端。四个MOS管以一定的时序完成开关状态的切换,通过自举电容激励超声换能器产生超声波。自举电容根据需求改变容值,改变输出激励信号的幅度。本发明能够在电源电压受限的情况下,产生最高幅度为电源电压N倍的激励信号,提高超声波信号强度;并能提升超声检测系统特别是基于微机械超声换能器的系统的检测性能和设计灵活性。

    一种应用于毫米波无源成像的高增益接收机

    公开(公告)号:CN109782361B

    公开(公告)日:2020-12-22

    申请号:CN201910022283.2

    申请日:2019-01-10

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于集成电路技术领域,具体为一种应用于毫米波无源成像的高增益接收机。本发明采用一种超可再生的接收机电路,该电路结构包括:输入匹配网络,变压器匹配网络,一个包络检波器,变压器匹配网络中包括差分晶体管对。本发明可用于无源成像系统。相比于传统的无源毫米波成像系统,本发明提出的高增益接收机可以实现超宽带的电磁波能量采集和100dB的增益,通过动态的调节包络检波器的偏置电压,可以实现动态的调节其接收机的接收范围。本发明采用砷化镓0.15um的工艺,实现了从80GHz到100GHz的无源成像。接收机的噪声系数仅为1.5dB,接收机的增益为100dB,动态范围为60dB,本发明彻底克服了工艺误差、温度漂移带来的带宽变化的问题。

    应用于高速ADC前端的CMOS输入信号缓冲器

    公开(公告)号:CN111756366A

    公开(公告)日:2020-10-09

    申请号:CN202010576619.2

    申请日:2020-06-22

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于集成电路技术领域,具体为一种应用于高速ADC前端的CMOS输入信号缓冲器。本发明电路结构包括两路差分源跟随结构的输入缓冲器、共模反馈电路模块以及偏置电路模块。本发明可确保源跟随器有稳定的共模输出;避免深亚微米CMOS工艺下的沟长调制效应;N型晶体管采用深N阱器件以消除衬偏调置效应。本发明还使用输出阻抗较大的共源共栅电流源为输入晶体管提供偏置电流以缓解由于输入信号变化导致的输出信号非线性。该缓冲器用于ADC电路中可以起到改善线性度,隔离输入信号和后级电路的作用,即便在较高频率的输入信号时也有很好的线性度,特别适合用在高速ADC的前端缓冲电路中。

    一种高线性度的宽带可变增益放大器

    公开(公告)号:CN111740709A

    公开(公告)日:2020-10-02

    申请号:CN202010576617.3

    申请日:2020-06-22

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于集成电路技术领域,具体为一种高线性度的宽带可变增益放大器。本发明可变增益放大器包括:第一级固定增益放大器,其增益固定为21 dB;三个开关,其中两个与第一级固定增益放大器并联,第三开关连接在第一级固定增益放大器和电源之间,并联的两开关在低增益模式时将第一级固定增益放大器短路,在高增益模式时断开,第三开关在低增益模式时断开,在高增益模式时合上;第二级可变增益放大器,其输入端在低增益模式时接整个链路的输入信号,在高增益模式时接第一级固定增益放大器的输出,第二级可变增益放大器的增益变化范围从0 dB变化到21 dB。本发明可用于高精度模数转换器的采样前端,具有可变增益,在保持宽带宽的同时实现高线性度。

    一种基于多节人工传输线的输入匹配电路

    公开(公告)号:CN111600575A

    公开(公告)日:2020-08-28

    申请号:CN202010281233.9

    申请日:2020-04-11

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于电子技术领域,具体为一种基于多节人工传输线的输入匹配电路。本发明输入匹配电路包括:第一电容、第二电容、第三电容、第四电容、第一电感、第二电感、隔直电容以及馈电电阻;第一电容、第二电容、第一电感构成第一人工传输线;第三电容、第四电容、第二电感构成第二人工传输线;第一人工传输线与第二人工传输线构成一个多节阻抗匹配电路。根据需要,还可以采用三节或更多节的人工传输线,第三人工传输线与第二人工传输线完全相同,两者并联得到阻抗为第二人工传输线一半的人工传输线。本发明可以实现功率放大器的宽带输入阻抗匹配。该电路尤其适用于氮化镓功率放大器的输入匹配,并可以灵活的控制输入匹配电路的带宽与带内波纹。

    一种基于柔性材料的环形振荡器

    公开(公告)号:CN111510135A

    公开(公告)日:2020-08-07

    申请号:CN202010281229.2

    申请日:2020-04-11

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于集成电路技术领域,具体为一种基于柔性材料的环形振荡器。本发明环形振荡器包括(2n+1)个反相器,其中每个反相器包括两个N型MOS管;(2n+1)个反相器构成一个环路,如果第一级输入为高电平,经过这个环路,在一定延迟时间后,得到低电平,这个低电平又反馈给第一级作为输入,在环路各节点,电平高低变换,产生固定周期的振荡。在每个反相器中,所述N型MOS管的导电沟道为柔性二维材料。本发明解决了现有技术中环形振荡器存在的不具备可弯曲特性的技术问题,可应用于柔性集成电路中。

    一种应用于毫米波通信系统的频率源

    公开(公告)号:CN109818612A

    公开(公告)日:2019-05-28

    申请号:CN201910022317.8

    申请日:2019-01-10

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于集成电路技术领域,具体为一种应用于毫米波通信系统的频率源。本发明频率源的电路结构包括:鉴频鉴相器、电荷泵,环路滤波器、压控振荡器、频率控制器、小数分频器及前置分频器;初始频率的信号和由小数分频器反馈来的信号输入至鉴频鉴相器,鉴频鉴相器对两个信号比较后,输出信号至电荷泵;电荷泵的输出经过环路滤波器的滤波,输出给压控振荡器;压控振荡器在频率控制器的控制下输出一个频率信号,并经过前置分频器和小数分频器反馈给鉴频鉴相器;压控振荡器的电容阵列由电容管对组成,每个电容管对的控制电压信号由频率控制器的相应的控制单元独立控制,从而实现频率的精准控制,频率的调谐速度快,调谐精度高。

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