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公开(公告)号：CN101506561B
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN200780031157.9
申请日：2007-08-21
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: H01L21/02 , F16K27/00 , F16L55/00 , F17D1/04 , H01L21/205 , C23C16/455
CPC classification number: F16K27/003 , C23C16/455 , F15B13/0825 , F17D1/04 , H01L21/6719 , Y10T137/5283 , Y10T137/877 , Y10T137/87885
Abstract: 本发明的目的在于提供一种组合式气体分配盘装置，通过该组合式气体分配盘装置，可获得非常优异的反应性，并实现气体浓度的稳定化，并且可以维持现有的分配盘的原有形状。为此，本发明中，分配盘体(2)至少由形成主要流路(R2)的用于主要流路的块状体(32)与形成分支流路(R1)的用于分支流路的块状体(31)所构成，配置该用于分支流路的块状体(31)，配以使其以该用于主要流路的块状体(32)为中心沿左右两侧彼此面对。
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公开(公告)号：CN102332415A
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201110196049.5
申请日：2011-07-11
Applicant: 伊原科技株式会社 , 株式会社堀场STEC
IPC: H01L21/67
CPC classification number: F16L23/08 , F16L3/1066 , Y10T137/6851
Abstract: 本发明提供流体系统、保持机构和中间支承件，该流体系统即使采用共通的中间支承件，也不会增加中间支承件的部件数量，可以使结构简化。流体系统包括：流体回路装置，通过由配管和管接头连接多个流体设备而构成，多个所述流体设备用于控制或测量流体的状态；以及保持机构，用于保持所述流体回路装置，所述保持机构包括：基座构件；以及中间支承件，介于所述流体回路装置和所述基座构件之间，并将它们连接在一起，所述中间支承件通过其一个端部安装在所述管接头上，另一个端部安装在所述基座构件上，使所述管接头与所述基座构件连接。
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公开(公告)号：CN102096420A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN200910258576.7
申请日：2009-12-15
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0635
Abstract: 本发明使质量流量控制器的PI性能提高。在质量流量控制器中，基于一次侧压力、该一次侧压力的经时性变化量以及流量设定值中的至少两个，来对稳定状态下的用于PID运算中的比例系数、积分系数以及微分系数进行变更。
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公开(公告)号：CN101762299A
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN200910262030.9
申请日：2009-12-23
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G01F1/6842 , G01F1/6847 , G01F5/00 , G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
Abstract: 本发明的课题在于使质量流量计的测量精度提高。一种质量流量计包括：流量计算部42，获取来自传感器部411、412的输出信号并计算出样品气体G的流量Qraw，所述传感器部411、412具有设置在所述样品气体G所流经的流路2中的热敏电阻器41a、41b；压力测量部43，对所述流路2中的一次侧压力Pin进行测量；以及流量修正部44，使用由所述压力测量部43而获得的一次侧压力Pin、及由所述样品气体G的定压比热CP所决定的气体系数α，来对由所述流量计算部42而获得的测量流量Qraw进行修正。
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公开(公告)号：CN101760727A
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN200910208804.X
申请日：2009-10-29
Applicant: 株式会社堀场制作所 , 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/448 , C23C16/52
CPC classification number: G05D11/139 , C23C16/4482 , C30B25/14 , Y10T137/2499 , Y10T137/2509
Abstract: 一种材料气体浓度控制装置，用于材料气化系统，所述材料气化系统包括贮槽，收纳材料；导入管，将使被收纳的材料气化的载气导入所述贮槽；及导出管，从所述贮槽中导出材料气化而成的材料气体及所述载气的混合气体；所述材料气体浓度控制装置包括基体，具有连接于所述导出管，以使所述混合气体流动的内部流路；浓度测量部，对在所述内部流路中流动的混合气体中的材料气体的浓度进行测量；及第1阀，在所述内部流路中设置在所述浓度测量部的下游，对由所述浓度测量部测量的测量浓度进行调节；且所述浓度测量部及所述第1阀安装在所述基体上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101506561A
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN200780031157.9
申请日：2007-08-21
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: F16K27/00 , F16L55/00 , F17D1/04 , H01L21/205 , H01L21/02 , C23C16/455
CPC classification number: F16K27/003 , C23C16/455 , F15B13/0825 , F17D1/04 , H01L21/6719 , Y10T137/5283 , Y10T137/877 , Y10T137/87885
Abstract: 本发明的目的在于提供一种组合式气体分配盘装置，通过该组合式气体分配盘装置，可获得非常优异的反应性，并实现气体浓度的稳定化，并且可以维持现有的分配盘的原有形状。为此，本发明中，分配盘体(2)至少由形成主要流路(R2)的用于主要流路的块状体(32)与形成分支流路(R1)的用于分支流路的块状体(31)所构成，配置该用于分支流路的块状体(31)，配以使其以该用于主要流路的块状体(32)为中心沿左右两侧彼此面对。
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公开(公告)号：CN119878882A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202411464013.4
申请日：2024-10-21
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供一种流体控制阀以及流体控制装置。为了使流体控制阀成为廉价的构成并且实现长寿命化，流体控制阀具备：阀芯，能够相对于阀座接触或分离；致动器，使阀芯移动；隔膜部件，设置在阀芯与致动器之间，具有朝向阀芯突出的突出部；以及球体，收纳在突出部的内部，致动器通过经由球体按压突出部的前端部而使阀芯移动，球体由陶瓷材料形成。
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公开(公告)号：CN119688149A
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202411303993.X
申请日：2024-09-19
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供一种静电容型压力传感器，其在简化挡板的结构的同时防止向隔膜的堆积，所述静电容型压力传感器具备外壳（7），其包围隔膜（2）的受压面（2a）而形成测量室（S），并且形成有向测量室（S）导入气体的气体导入口（7a）；以及挡板部件（8），其设置于测量室（S），挡板部件（8）具有：对置面部（81），其与气体导入口（7a）对置；以及围绕面部（82），其设置于比对置面部（81）更靠近气体导入口（7a）侧的位置，并且包围气体导入口（7a）的周围，围绕面部（82）具有流通部（83），该流通部（83）使从气体导入口（7a）导入的气体从所述气体导入口侧的端部流通到隔膜（2）侧。
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公开(公告)号：CN118571338A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410213866.4
申请日：2024-02-27
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供运算装置、流体产生器、运算方法和存储介质。流体产生器包括：滤波部(43)，对输入值进行卡尔曼滤波处理；以及变更部(45)，在输入值或作为与输入值联动的参数值的监测值的变动量超过了阈值的情况下，将由滤波部使用的运算式从在变动量低于阈值的情况下使用的第一运算式切换为追随性更高的第二运算式。
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公开(公告)号：CN116783467A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202180086309.5
申请日：2021-12-21
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01N21/03
Abstract: 一种气体分析装置100，其为了减少以安装部位等为支点产生的重力方向上的力矩，尽可能地抑制光轴偏移，通过对气体照射激光，并且检测透过该气体的激光，从而对气体中所含的测定对象成分进行分析，并具备：气体单元1，其安装于供气体流动的配管H而导入该气体；以及长条状的光学单元2，其从预定的连接方向X与气体单元1连接，并收容以配置于激光的光路上的状态被压盘10支承的光学系统6而成，光学单元2相对于连接方向X而立起。
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