公开(公告)号：CN102332415A

公开(公告)日：2012-01-25

申请号：CN201110196049.5

申请日：2011-07-11

Applicant: 伊原科技株式会社 ,  株式会社堀场STEC

Inventor： 林达也 ,  金丸隆史 ,  桥本雄一郎

IPC: H01L21/67

CPC classification number: F16L23/08 ,  F16L3/1066 ,  Y10T137/6851

Abstract: 本发明提供流体系统、保持机构和中间支承件，该流体系统即使采用共通的中间支承件，也不会增加中间支承件的部件数量，可以使结构简化。流体系统包括：流体回路装置，通过由配管和管接头连接多个流体设备而构成，多个所述流体设备用于控制或测量流体的状态；以及保持机构，用于保持所述流体回路装置，所述保持机构包括：基座构件；以及中间支承件，介于所述流体回路装置和所述基座构件之间，并将它们连接在一起，所述中间支承件通过其一个端部安装在所述管接头上，另一个端部安装在所述基座构件上，使所述管接头与所述基座构件连接。

公开(公告)号：CN102565281B

公开(公告)日：2016-09-14

申请号：CN201110407489.0

申请日：2011-12-08

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 桥本雄一郎 ,  宫地润一

IPC: G01N33/00

CPC classification number: G05D11/132 ,  G01N33/0006 ,  Y10T137/0318 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/87249 ,  Y10T137/8729 ,  Y10T137/87314 ,  Y10T137/87676

Abstract: 本发明提供气体浓度调节装置和气体浓度调节方法，能防止标准气体管线(3)中的标准气体的滞留，从而能防止因标准气体的吸附和变质等造成标准气体的浓度降低。所述气体浓度调节装置包括：稀释气体管线(2)，设置有稀释气体流量调节机构(23)；标准气体管线(3)，设置有标准气体流量调节机构(33)；输出气体管线(4)，将稀释气体管线(2)和标准气体管线(3)汇合并输出规定浓度的标准气体；排气管线(5)，在标准气体管线(3)上与标准气体流量调节机构(33)的上游一侧连接，设置有开关阀和流量调节部；以及控制部(6)，根据流过标准气体管线(3)的标准气体的流量或所述标准气体的种类，切换开关阀的开闭。

公开(公告)号：CN102565281A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201110407489.0

申请日：2011-12-08

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 桥本雄一郎 ,  宫地润一

IPC: G01N33/00

CPC classification number: G05D11/132 ,  G01N33/0006 ,  Y10T137/0318 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/87249 ,  Y10T137/8729 ,  Y10T137/87314 ,  Y10T137/87676

Abstract: 本发明提供气体浓度调节装置和气体浓度调节方法，能防止标准气体管线(3)中的标准气体的滞留，从而能防止因标准气体的吸附和变质等造成标准气体的浓度降低。所述气体浓度调节装置包括：稀释气体管线(2)，设置有稀释气体流量调节机构(23)；标准气体管线(3)，设置有标准气体流量调节机构(33)；输出气体管线(4)，将稀释气体管线(2)和标准气体管线(3)汇合并输出规定浓度的标准气体；排气管线(5)，在标准气体管线(3)上与标准气体流量调节机构(33)的上游一侧连接，设置有开关阀和流量调节部；以及控制部(6)，根据流过标准气体管线(3)的标准气体的流量或所述标准气体的种类，切换开关阀的开闭。