公开(公告)号：CN1158569C

公开(公告)日：2004-07-21

申请号：CN00126263.7

申请日：2000-08-30

Applicant: 三星电子株式会社 ,  东友半导体株式会社

Inventor： 罗振豪 ,  李有京 ,  朴弘植 ,  罗允静 ,  金玑洙 ,  姜圣哲 ,  康升镇

IPC: G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0048 ,  G03F7/0226

Abstract: 本发明提供了一种光致抗蚀剂组合物，其包括：用以形成光致抗蚀剂层的聚合物树脂、由于曝光而使光致抗蚀剂层的溶解度发生改变的感光化学品以及作为溶剂的乙酸3-甲氧基丁酯和4-丁内酯。该组合物具有良好的感光性和残膜率，且没有恶臭。

公开(公告)号：CN1413317A

公开(公告)日：2003-04-23

申请号：CN00817711.2

申请日：2000-12-08

Applicant: 三星电子株式会社 ,  克拉里安特国际有限公司

Inventor： 朴弘植 ,  周振豪 ,  李有京 ,  姜圣哲 ,  吴世泰 ,  姜德万

IPC: G03F7/42 ,  H01L21/027 ,  C11D7/50

CPC classification number: G03F7/168 ,  G03F7/38 ,  G03F7/42 ,  G03F7/422 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/31133

Abstract: 本发明提供一种用于冲洗光致抗蚀剂的稀释剂，其包括50到80重量％的醋酸正丁酯，丙二醇烷基醚，和丙二醇烷基醚醋酸酯。该稀释剂既对人类无毒害，也不对生态带来不利影响，而且没有不适的气味。其废液和与之相关的废水容易处理，由此使得这种稀释剂对环境友好。本发明的光致抗蚀剂稀释剂具有优异的冲洗能力。

公开(公告)号：CN1289070A

公开(公告)日：2001-03-28

申请号：CN00126263.7

申请日：2000-08-30

Applicant: 三星电子株式会社 ,  东友半导体株式会社

Inventor： 罗振豪 ,  李有京 ,  朴弘植 ,  罗允静 ,  金玑洙 ,  姜圣哲 ,  康升镇

IPC: G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0048 ,  G03F7/0226

Abstract: 本发明提供了一种光致抗蚀剂组合物,其包括:用以形成光致抗蚀剂层的聚合物树脂、由于曝光而使光致抗蚀剂层的溶解度发生改变的感光化学品以及作为溶剂的乙酸3－甲氧基丁酯和4－丁内酯。该组合物具有良好的感光性和残膜率,且没有恶臭。