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公开(公告)号：CN119381314A
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202411506726.2
申请日：2021-03-29
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 古矢正明
IPC: H01L21/677 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种基板处理装置以及基板处理方法，可抑制生产性的降低。实施方式的基板处理装置包括：搬送机器人，设于搬送室内，搬送基板；移动机构，设于搬送室内，使搬送机器人移动；以及控制单元(72)。控制单元(72)包括：识别部(73)，检测搬送室内的人的位置；设定部(74)，设定包含由识别部(73)所检测到的人的位置的区域；追随部(75)，对应于所述人的移动而使由设定部(74)设定的区域移动；以及机器人控制器(72d)，以搬送机器人避开区域而搬送基板的方式来控制搬送机器人及移动机构。
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公开(公告)号：CN118737887A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410354994.0
申请日：2024-03-27
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 菊池一哉
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种可进行ACF相对于基板的粘附状态的检查并且提高生产效率的粘附装置及粘附方法。实施方式的粘附装置具有：工作台，对多个基板进行保持；压接部，将ACF压接于多个基板；供给部，供给ACF；驱动机构，使基板与压接部对位；拍摄部，对粘附于基板的ACF进行拍摄；判定部，在压接部将ACF压接于基板的期间，对拍摄部所拍摄的另一基板的图像中的基板的倾斜度进行判定；修正部，基于所述倾斜度对基板在图像中的倾斜度进行修正；以及检查部，基于由修正部修正后的图像对ACF的粘附状态进行检查。
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公开(公告)号：CN118602704A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410235855.6
申请日：2024-03-01
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Abstract: 本发明的课题是提供一种晶片收纳容器干燥装置及清洗系统，可抑制干燥槽的内部空间的容积的增大。实施方式的晶片收纳容器干燥装置具有对晶片收纳容器进行干燥的干燥槽，晶片收纳容器具有：主体，具有对晶片进行收纳且与开口部连通的收纳空间，并具有由机器人把持的凸缘；及门，能够开闭地装设于开口部，干燥槽包括：搬入搬出口，能够通过开闭盖打开/关闭；主体收容部，以凸缘朝向搬入搬出口侧的状态对主体进行收容；以及门保持部，在将主体收容于主体收容部的状态下，设置于比主体更靠主体收容部的搬入搬出口侧处，在俯视观察干燥槽时，以门的各边不与形成搬入搬出口的一边正交及平行的方式对门进行保持。
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公开(公告)号：CN112447569B
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202010816569.0
申请日：2020-08-14
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 冨樫徳和
Abstract: 本发明提供一种可将所拾取的电子零件准确地交接至接收部的移送装置及安装装置。本发明的移送装置移送电子零件(2)，且包括：喷嘴(21)，在前端保持并拾取电子零件(2)；接收部，以能够相对于喷嘴(21)相对移动的方式设置，从喷嘴(21)的前端接收电子零件(2)；透射窗(21a)，在喷嘴(21)设置于与喷嘴(21)的前端相反的一侧，能够辨识设置于喷嘴(21)的前端的喷嘴孔(21b)的开口；摄像部(26)，能够在接收部从喷嘴(21)的前端接收电子零件(2)的位置拍摄喷嘴(21)及接收部；以及第一移动机构，用于基于摄像部(26)的拍摄图像使喷嘴(21)的中心与接收部的规定位置对准。
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公开(公告)号：CN118429360A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410118919.4
申请日：2024-01-29
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Abstract: 本发明提供一种无论所拍摄的图像如何均可提高图案匹配的成功率的图像处理装置与方法、定位装置与方法、安装装置与方法。实施方式的图像处理装置具有：模型生成部，生成图像生成模型；物品图像分割部，由物品图像生成分割物品图像；分割特征图像生成部，利用图像生成模型生成分割特征图像；特征图像生成部，生成将分割特征图像结合而得的特征图像；区域选择部，对特征图像的区域进行选择；模板登记部，对区域进行登记；以及图案匹配部，将图案匹配用特征图像与模板进行图案匹配，所述图案匹配用特征图像是通过特征图像生成部将由图案匹配用分割物品图像生成的图案匹配用分割特征图像结合而得。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113206025B
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202110117011.8
申请日：2021-01-28
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 桥本正规
Abstract: 本发明提供一种抑制所产生的尘埃，同时可精度良好地安装的电子零件的安装装置，包括：安装机构，将电子零件安装于基板；基板支撑机构，支撑供安装电子零件的基板；安装头，设置于安装机构且具有透过部，透过部使得在保持电子零件的状态下能够透过透过部来识别基板的标记；第一拍摄部，在安装头将电子零件安装于基板的安装位置，配置于较基板支撑机构更靠下侧，在基板自安装位置退避的状态下，对安装头所保持的电子零件的标记进行拍摄；第二拍摄部，在安装位置配置于较安装头更靠上侧，通过透过部来拍摄基板的标记；定位机构，基于根据由第一拍摄部、第二拍摄部拍摄的标记、标记的图像而求出的基板与电子零件的位置，进行基板与电子零件的定位。
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公开(公告)号：CN118355480A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202280080449.6
申请日：2022-12-16
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供一种既可维持基板的表面润湿的状态，又可在处理装置间搬送基板的基板传送装置和基板传送方法。实施方式的基板传送装置2具有：台车收容部210，具有从外部接纳并收容基板搬送用台车1的收容室211，所述基板搬送用台车1搭载有与水一同收容有多个基板W的槽罐110；以及取出装置250，从搭载至收容于收容室211内的基板搬送用台车1的槽罐110中取出基板W并交给邻接的处理装置即清洗装置3。
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公开(公告)号：CN117810117A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311149375.X
申请日：2023-09-07
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 土持鹰彬
IPC: H01L21/67 , H01L21/687 , H01L21/311 , H05B3/00 , H05B3/02 , H05B1/02
Abstract: 本发明提供一种基板处理装置及基板处理方法，通过对处理液的温度进行测定并根据测定温度来对加热部的温度进行控制，可将处理液维持于所期望的温度，以所期望的蚀刻速率对基板进行处理。实施方式的基板处理装置具有：旋转体，使基板旋转；供给部，供给处理液；板，能够沿与基板相接/分离的方向移动；加热部，对处理液进行加热；温度计，收容于板的设置孔，以非接触方式对供给至基板的被处理面的处理液的温度进行测定；供气口，在设置孔的内侧壁的比温度计更靠下侧处开口，向温度计的下方供给惰性气体；排气口，在比温度计更靠下侧处开口，将从供气口供给的惰性气体排出；控制部，根据由温度计测定出的温度来对加热部进行控制。
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公开(公告)号：CN117799330A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311223434.3
申请日：2023-09-21
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Abstract: 本发明提供一种可防止印刷品质降低的片剂印刷装置。实施方式的片剂印刷装置(1)包括：搬送装置(20)，对片剂(T)进行搬送；印刷头(51)，为喷墨方式，对由搬送装置搬送的片剂(T)进行印刷；维护装置(80)，进行印刷头(51)的维护；以及控制装置(90)，对印刷头(51)与维护装置(80)进行控制，控制装置(90)根据要搬送的片剂(T)的种类或油墨的种类中的任意一者或两者，来变更维护的动作。
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公开(公告)号：CN117794095A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311250249.3
申请日：2023-09-26
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Abstract: 本发明提供一种安装装置，可在不增加调整抽吸力的构件的情况下，以简单的结构抑制泄漏的影响，且与尺寸不同的基板对应地确实地进行抽吸保持。实施方式的安装装置具有：保持工作台，将安装有电子零件的基板保持于基准位置；多个抽吸孔，设置于保持工作台，用于通过负压的抽吸力将基板吸引并保持于保持工作台的表面；多个抽吸孔组，在沿着保持工作台的一边的方向上排列，且分别包含多个抽吸孔；以及压接部，将电子零件压接到保持于基准位置的基板，多个抽吸孔组中的任一个抽吸孔组中，所述抽吸孔组中所含的抽吸孔中的接近基准位置的一侧的抽吸孔的抽吸力大于其他的抽吸孔的抽吸力。
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