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公开(公告)号：CN118355480A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202280080449.6
申请日：2022-12-16
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供一种既可维持基板的表面润湿的状态，又可在处理装置间搬送基板的基板传送装置和基板传送方法。实施方式的基板传送装置2具有：台车收容部210，具有从外部接纳并收容基板搬送用台车1的收容室211，所述基板搬送用台车1搭载有与水一同收容有多个基板W的槽罐110；以及取出装置250，从搭载至收容于收容室211内的基板搬送用台车1的槽罐110中取出基板W并交给邻接的处理装置即清洗装置3。
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