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公开(公告)号：CN1658075A
公开(公告)日：2005-08-24
申请号：CN200510024642.6
申请日：2005-03-25
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本发明涉及一种曝光装置，用于将需要曝光的图形按照一定的比例投影到曝光台上的被感光元件上，得到大面积具有一定陡度的纳米线宽和精度的图形。它由整机框架、减振系统、精密运动系统、精密实时测量系统、对准系统、精密曝光系统和驱动电机组成，该整机框架由一套主动减振器分隔为内部框架和外部框架，驱动电机被固定在外部框架上。藉由上述结构主要解决现有装置减振效果不佳的技术问题，可以将该装置的曝光精度提高到纳米曝光的水平。
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公开(公告)号：CN103531502B
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201210229098.9
申请日：2012-07-03
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明提出一种无线控制的光刻机的工件台装置，利用交换窗口时间对微动台进行充电和提供冷却水，实现对微动台的运动控制。该工件台装置包括微动台，无线信号收发单元，储能单元和控制单元，其中微动台在一个工作循环中经历测量工位、等待工位和曝光工位，利用微动台处于测量工位和曝光工位的时间差，对工件台进行充电及换水过程，实现工件台装置的循环操作，并采用无线信号收发单元，对控制系统进行无线控制，克服线缆扰动对高精密微动台运动的干扰，提高整机运动精度。
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公开(公告)号：CN103192114B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201210005084.9
申请日：2012-01-09
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 一种三维钻孔的装置，包括：加工单元，控制单元和三维机械手；所述控制单元包括信息输入器、运算器、第一信息输出器和第二信息输出器；所述第一信息输出器与所述加工单元连接；所述第二信息输出器与所述三维机械手连接。所述的控制单元包括下述控制方法：在信息输入器中输入信息；在运算器内进行计算；在第一信息输出器输出信号至加工单元；同时，第二信息输出器输出信号至三维机械手。本发明将CNC工件台和加工主轴所需的重复运动里程降低到了最低，同时通过三维机械手在刀具中心库和加工主轴间往返运动，以提供换刀的效率，使得CNC加工中心的加工效率达到最优，实现了针对不同规格的加工孔相互之间的转换和过渡，以及提高复杂三维零件的加工效率。
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公开(公告)号：CN103376666B
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201210119319.7
申请日：2012-04-20
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于整体式主基板与测量支架的光刻机投影物镜装配工装，用于将带有安装法兰的投影物镜装入主基板与测量支架中，所述装配工装包括：第一部分，套设于所述投影物镜的顶部；第二部分，套设于所述投影物镜的底部且位于所述安装法兰的下方；多个连接杆，连接所述第一部分、第二部分转轴，设于所述第一部分中部，位于所述投影物镜之上，所述转轴通过推力轴承与所述第一部分形成转动副。本发明安全有效地解决整体式结构的物镜安装问题，实现了投影物镜准确的安装，缩短了整机集成、主基板和测量支架的装配时间；且改善了整机内部世界的动态性能，提高了光刻机整机分辨率及套刻精度。
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公开(公告)号：CN102998906B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201110266215.4
申请日：2011-09-08
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提出一种光刻机的支撑结构及其制作方法。支撑结构包括外围板。外围板包括第一面、第二面和折弯边。第二面连接于第一面。第一面与第二面连接处的板材通过折弯形成折弯边，折弯边具有折弯槽，第一面与第二面在折弯槽处折弯，形成一夹角。第一面和第二面具有多块板材通过焊接连接而成。本发明采用折弯板材来代替部分焊接结构，这种方式将更适合多面体较复杂的几何外形的支撑结构，改善了制造工艺，缩短焊接制造周期。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103967989A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201310030305.2
申请日：2013-01-25
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: F16F9/02
Abstract: 本发明公开了一种减震装置，包括框体、垂向活塞、水平向活塞以及多个膜片，其中，所述框体的顶部与内部框架连接，所述框体的底部与地基连接，所述垂向活塞设置在所述框体内并通过膜片与所述框体形成第一气腔和第二气腔，所述水平向活塞也设置在所述框体内，并通过所述膜片与框体形成第三气腔和第四气腔。本发明的减震装置，既能够在不增加减振装置高度的情况下，增加减振装置的水平向控制力、控制成本和发热量，又能提高所述减振装置垂向控制力的速度。
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公开(公告)号：CN103592820A
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201210285811.1
申请日：2012-08-13
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种全局调平边沿扫描的装置，包括：一工件台，用于承载一硅片，并为该硅片提供多个自由度运动；工件台驱动装置，用于驱动所述工件台；调焦调平装置，用以实现对硅片和调焦调平装置的标记的垂向测量并建立两者之间的关系；测量系统，用于测量所述工件台的位置；第一传输系统，用于输入信息，所述输入信息为所述测量系统测得的信息；计算器，用于根据输入的信息进行计算得出全局调平边沿扫描的初始位置；第二传输系统，用于将初始位置信号传输给所述工件台驱动装置；所述工件台驱动装置驱动所述工件台从初始位置开始进行全局调平边沿扫描，最终回到初始位置。本发明还提供一种全局调平边沿扫描的方法。
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公开(公告)号：CN103531502A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201210229098.9
申请日：2012-07-03
Applicant: 上海微电子装备有限公司
CPC classification number: H01L21/67063 , G03F7/70216 , H01L21/68
Abstract: 本发明提出一种无线控制的光刻机的工件台装置，利用交换窗口时间对微动台进行充电和提供冷却水，实现对微动台的运动控制。该工件台装置包括微动台，无线信号收发单元，储能单元和控制单元，其中微动台在一个工作循环中经历测量工位、等待工位和曝光工位，利用微动台处于测量工位和曝光工位的时间差，对工件台进行充电及换水过程，实现工件台装置的循环操作，并采用无线信号收发单元，对控制系统进行无线控制，克服线缆扰动对高精密微动台运动的干扰，提高整机运动精度。
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公开(公告)号：CN103529853A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201210228915.9
申请日：2012-07-03
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明涉及一种显示器视角调节装置及其调节方法，所述装置包括图像采集单元、控制单元和驱动单元，所述图像采集单元、控制单元和驱动单元依次相连，所述图像采集单元获取显示器前人脸图像和/或人体图像，所述控制单元根据人脸图像和/或人体图像得到最佳观测视角并计算显示器当前观测视角与最佳观测视角的调节量，所述驱动单元根据控制单元输出的调节量以调整显示器到最佳观测视角，所述驱动单元包括与显示器背部铰接的连接件、与连接件相连的支架、支撑支架的底座以及固定在连接件上驱动显示器转动的电机。所述装置通过显示器的旋转使操作者获得更佳的观测效果；降低因操作者视觉疲劳引起的误操作的风险；可获取最大可视面积和舒适性。
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公开(公告)号：CN103376666A
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201210119319.7
申请日：2012-04-20
Applicant: 上海微电子装备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于整体式主基板与测量支架的光刻机投影物镜装配工装，用于将带有安装法兰的投影物镜装入主基板与测量支架中，所述装配工装包括：第一部分，套设于所述投影物镜的顶部；第二部分，套设于所述投影物镜的底部且位于所述安装法兰的下方；多个连接杆，连接所述第一部分、第二部分转轴，设于所述第一部分中部，位于所述投影物镜之上，所述转轴通过推力轴承与所述第一部分形成转动副。本发明安全有效地解决整体式结构的物镜安装问题，实现了投影物镜准确的安装，缩短了整机集成、主基板和测量支架的装配时间；且改善了整机内部世界的动态性能，提高了光刻机整机分辨率及套刻精度。
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