树脂组合物、固化物、层叠体、固化物的制造方法及半导体器件以及化合物

    公开(公告)号:CN116710282A

    公开(公告)日:2023-09-05

    申请号:CN202180087653.6

    申请日:2021-11-11

    Abstract: 本发明提供一种树脂组合物、将上述树脂组合物固化而成的固化物、包含上述固化物的层叠体、上述固化物的制造方法及包含上述固化物或上述层叠体的半导体器件以及新的化合物,该树脂组合物包含选自环化树脂及其前体中的至少1种树脂以及具有经由连接基相互键合的聚合性基团和酰胺键的聚合性化合物,上述酰胺键与上述连接基在羰基侧键合,在使用上述聚合性化合物合成了均聚物的情况下,上述均聚物显示通过250℃的加热而产生从主链游离的碱的性质。

    固化物的制造方法、层叠体的制造方法及电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN116113884A

    公开(公告)日:2023-05-12

    申请号:CN202180054236.1

    申请日:2021-08-17

    Abstract: 本发明提供一种即使在低温下固化的情况下,也可以得到断裂伸长率优异的固化物的固化物的制造方法、包含上述固化物的制造方法的层叠体的制造方法及包含上述固化物的制造方法或上述层叠体的制造方法的电子器件的制造方法。固化物的制造方法包括:膜形成工序,将特定的感光性树脂组合物适用于基材上而形成膜;曝光工序;显影工序,基于包含选自碱及产碱剂中的至少一种的化合物的显影液进行;以及加热工序,水的含量相对于上述显影液的总质量为50质量%以下。

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