公开(公告)号：CN115989457A

公开(公告)日：2023-04-18

申请号：CN202180053089.6

申请日：2021-08-20

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 小泉孝德 ,  中村敦

IPC: G03F7/023

Abstract: 本发明提供一种可以获得断裂伸长率及耐化学性优异的固化物的固化物的制造方法、包括上述固化物的制造方法的层叠体的制造方法及包括上述固化物的制造方法或上述层叠体的制造方法的半导体器件的制造方法。固化物的制造方法、包括上述固化物的制造方法的层叠体的制造方法及包括上述固化物的制造方法或上述层叠体的制造方法的半导体器件的制造方法包括：膜形成工序，将感光性组合物适用于基材上而形成感光性膜；曝光工序，选择性地曝光上述感光性膜；显影工序，使用显影液对上述曝光后的感光性膜进行显影而形成图案；及电磁波照射工序，向通过上述显影工序而获得的图案照射780nm以上且5μm以下的波长的电磁波。

公开(公告)号：CN116888217A

公开(公告)日：2023-10-13

申请号：CN202280014903.8

申请日：2022-02-10

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 浅川大辅 ,  小泉孝德

IPC: C08L101/00

Abstract: 本发明提供一种包含树脂及由下述式(1‑1)表示的碱产生剂的树脂组合物、固化上述树脂组合物而成的固化物、包含上述固化物的层叠体、上述固化物的制造方法及包含上述固化物或上述层叠体的半导体器件、以及碱产生剂。#imgabs0#

公开(公告)号：CN116710282A

公开(公告)日：2023-09-05

申请号：CN202180087653.6

申请日：2021-11-11

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 浅川大辅 ,  青岛俊荣 ,  小泉孝德

IPC: B32B27/34

Abstract: 本发明提供一种树脂组合物、将上述树脂组合物固化而成的固化物、包含上述固化物的层叠体、上述固化物的制造方法及包含上述固化物或上述层叠体的半导体器件以及新的化合物，该树脂组合物包含选自环化树脂及其前体中的至少1种树脂以及具有经由连接基相互键合的聚合性基团和酰胺键的聚合性化合物，上述酰胺键与上述连接基在羰基侧键合，在使用上述聚合性化合物合成了均聚物的情况下，上述均聚物显示通过250℃的加热而产生从主链游离的碱的性质。