双曲面反射镜的多维全场光学校验装置

    公开(公告)号:CN101113890A

    公开(公告)日:2008-01-30

    申请号:CN200710072553.8

    申请日:2007-07-24

    Abstract: 本发明提供的是一种双曲面反射镜的多维全场光学校验装置。它包括准直光源、分束镜、参考臂光路、测量光路和接收装置;准直光源发出的准直光束射入分束镜,分束镜将准直光束分成两部分,反射部分经反射镜II反射后再透过分束镜作为参考光;透射部分经汇聚透镜汇聚到被测双曲面镜的部分镜面上,汇聚光线延长线相交于被测双曲面镜的一个焦点上,经被测双曲面镜反射后,汇聚到一个标准球面反射镜上,光线的延长线汇聚于球面反射镜的球心,经球面反射镜反射后,沿原路返回,再经过被测双曲面镜和汇聚透镜和半反射镜反射,作为测试光;参考光和汇聚光汇集到接收装置。本发明的装置能够对不同尺度、高反射率的双曲面反射镜表面形貌及反射率参数进行测量。

    双曲面反射镜的多维全场光学校验装置

    公开(公告)号:CN100541114C

    公开(公告)日:2009-09-16

    申请号:CN200710072553.8

    申请日:2007-07-24

    Abstract: 本发明提供的是一种双曲面反射镜的多维全场光学校验装置。它包括准直光源、分束镜、参考臂光路、测量光路和接收装置;准直光源发出的准直光束射入分束镜,分束镜将准直光束分成两部分,反射部分经反射镜II反射后再透过分束镜作为参考光;透射部分经汇聚透镜汇聚到被测双曲面镜的部分镜面上,汇聚光线延长线相交于被测双曲面镜的一个焦点上,经被测双曲面镜反射后,汇聚到一个标准球面反射镜上,光线的延长线汇聚于球面反射镜的球心,经球面反射镜反射后,沿原路返回,再经过被测双曲面镜和汇聚透镜和半反射镜反射,作为测试光;参考光和汇聚光汇集到接收装置。本发明的装置能够对不同尺度、高反射率的双曲面反射镜表面形貌及反射率参数进行测量。

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