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公开(公告)号：CN114988710B
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202210534196.7
申请日：2022-05-17
Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司 , 江苏贵琂电子科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种采用有机油溶剂保护的利用酸溶剂刻蚀获得具有大开口面积比的喇叭口状的MCP的方法。在常规微通道板的腐蚀工序之后，微通道板的孔状通道阵列已完成，此时，增加一个有机油溶剂保护的酸溶液刻蚀的步骤，在一定量的酸溶液上加入密度更低的有机油溶剂得到分层的混合溶液，将MCP的输入面朝下放入混合溶液中，利用有机油溶剂保护MCP输入面外的部分，利用酸溶液对混合界面处的MCP输入端通道进行无定向的扩口腐蚀，由此可在MCP输入面获得喇叭口状的扩口结构。通过该方法得到的喇叭口通道能有效增加入射到通道内的电子数量，提高微通道板的探测效率，从而有利于提高MCP的增益。
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公开(公告)号：CN114988710A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210534196.7
申请日：2022-05-17
Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司 , 江苏贵琂电子科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种采用有机油溶剂保护的利用酸溶剂刻蚀获得具有大开口面积比的喇叭口状的MCP的方法。在常规微通道板的腐蚀工序之后，微通道板的孔状通道阵列已完成，此时，增加一个有机油溶剂保护的酸溶液刻蚀的步骤，在一定量的酸溶液上加入密度更低的有机油溶剂得到分层的混合溶液，将MCP的输入面朝下放入混合溶液中，利用有机油溶剂保护MCP输入面外的部分，利用酸溶液对混合界面处的MCP输入端通道进行无定向的扩口腐蚀，由此可在MCP输入面获得喇叭口状的扩口结构。通过该方法得到的喇叭口通道能有效增加入射到通道内的电子数量，提高微通道板的探测效率，从而有利于提高MCP的增益。
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公开(公告)号：CN114988692A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210534194.8
申请日：2022-05-17
Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司 , 江苏贵琂电子科技有限公司
Abstract: 本发明提供一种改善微通道板制备过程中复丝顶角错位的方法，在微通道板有效区皮料和芯料确定的情况下，选择两种合适的玻璃材料分别作为微通道板实体区A和实体区B材料，排制在有效区外围，采用熔压技术将有效区、实体区A和实体区B热熔压成一个毛坯屏段，再将实体区B从坯体屏段切除并形成仅由有效区和实体区A组成的薄片，经过腐蚀、烧氢、镀膜等操作，最终制成带实体边的微通道板。本发明提出的改善微通道板制备过程中复丝顶角错位的方法，其制作出的微通道板不仅能够保证小孔径微通道板优异的顶角结构性能，同时满足420℃～500℃高温真空处理不变形的制管需求。
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公开(公告)号：CN119581090A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411708994.2
申请日：2024-11-27
Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司 , 中国科学院国家天文台
IPC: G21K1/06 , C23C16/455 , C23C16/06
Abstract: 本发明提供一种高反射率双层膜的龙虾眼型X射线微孔光学器件及制备方法。该高反射率双层膜的龙虾眼型X射线微孔光学器件包括：玻璃基的微通道毛细阵列基底；在微通道表面镀制的金属Ir薄膜；以及在金属Ir薄膜表面镀制的吸收层薄膜，所述吸收层薄膜与金属Ir薄膜形成连续膜层且不发生相互反应，并且膜层界面相互扩散小于2nm。通过本发明的设计可进一步提高MPO光学器件有效面积及其一致性，解决现有龙虾眼型X射线微孔光学器件的Ir金属反射膜的吸收边问题，改进龙虾眼型X射线光学系统的性能。
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公开(公告)号：CN114988692B
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202210534194.8
申请日：2022-05-17
Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司 , 江苏贵琂电子科技有限公司
Abstract: 本发明提供一种改善微通道板制备过程中复丝顶角错位的方法，在微通道板有效区皮料和芯料确定的情况下，选择两种合适的玻璃材料分别作为微通道板实体区A和实体区B材料，排制在有效区外围，采用熔压技术将有效区、实体区A和实体区B热熔压成一个毛坯屏段，再将实体区B从坯体屏段切除并形成仅由有效区和实体区A组成的薄片，经过腐蚀、烧氢、镀膜等操作，最终制成带实体边的微通道板。本发明提出的改善微通道板制备过程中复丝顶角错位的方法，其制作出的微通道板不仅能够保证小孔径微通道板优异的顶角结构性能，同时满足420℃～500℃高温真空处理不变形的制管需求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117012595A
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202311071318.4
申请日：2023-08-24
Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司
Abstract: 本发明公开一种体导电微通道板及其制备方法，包括：在易腐蚀去除的基底或者芯片上，采用化学气相沉积方法制备氢化非晶硅厚膜层，然后在氢化非晶硅厚膜层通过光刻、Bosch深硅刻蚀工艺加工出所需长径比的微孔阵列。在芯片上可直接使用氢化非晶硅盲孔阵列，在易腐蚀基底上使用酸碱等溶液处理将基底腐蚀掉，形成通道贯穿的氢化非晶硅微孔阵列。然后通过原子层沉积技术在微孔阵列的通道内壁制备二次电子发射层，获得体导电微通道板。通过本发明既可以制作出作为分立元件的体导电微通道板，应用于传统MCP的应用领域，还可以通过与芯片集成的方式应用于芯片探测器领域，实现与芯片的集成，提升芯片探测器的位置分辨、时间响应性能。
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公开(公告)号：CN115692140B
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202211368592.3
申请日：2022-11-03
Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司
Abstract: 本发明提供一种抑制微光像增强器雪花点噪声的微通道板及其制备方法，在微通道板制备过程中，使用耐高温的微通道阵列基片，置于高真空环境的原子层沉积设备；在原子层沉积设备中保持高真空环境，原位完成对微通道阵列基片的高温烘烤、制备金属绝缘体复合膜层与制备二次电子发射层的工艺过程，制备得到最终的微通道板。本发明在耐高温烘烤的微通道阵列基底上，原位完成高真空高温烘烤、金属绝缘体复合膜层与高二次电子发射层的制备，制备出含气量、放气量极低的微通道板，抑制其在应用到像增强器时的像增强器雪花点噪声。
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公开(公告)号：CN115692140A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211368592.3
申请日：2022-11-03
Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司
Abstract: 本发明提供一种抑制微光像增强器雪花点噪声的微通道板及其制备方法，在微通道板制备过程中，使用耐高温的微通道阵列基片，置于高真空环境的原子层沉积设备；在原子层沉积设备中保持高真空环境，原位完成对微通道阵列基片的高温烘烤、制备金属绝缘体复合膜层与制备二次电子发射层的工艺过程，制备得到最终的微通道板。本发明在耐高温烘烤的微通道阵列基底上，原位完成高真空高温烘烤、金属绝缘体复合膜层与高二次电子发射层的制备，制备出含气量、放气量极低的微通道板，抑制其在应用到像增强器时的像增强器雪花点噪声。
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公开(公告)号：CN113451089B
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202110722026.7
申请日：2021-06-28
Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司
Abstract: 本发明提供一种采用刻蚀技术扩大MCP开口面积比的方法及MCP。在常规微通道板的腐蚀工序之后，通道阵列已完成制作，此时，增加一个刻蚀的步骤，采用一定角度的定向的反应离子刻蚀或离子束物理刻蚀，对MCP通道阵列的输入面进行刻蚀处理，处理过程中使得MCP基底进行自转，由此可获得轴对称的扩口结构，显著扩大MCP输入面的开口面积比，结合输入面镀制较浅电极技术，在不影响其他性能的情况下，显著提高MCP对于输入信号的探测效率。同时，在此基础上，在输入面镀制具有高二次电子发射系数的膜层材料，可进一步的提升探测效率。
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公开(公告)号：CN119287330A
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN202411410446.1
申请日：2024-10-10
Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司 , 北方夜视技术股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种用于大尺寸微通道板镀膜操作的镀膜工装及方法，该镀膜工装包括镀膜底座及与其转动配合的三爪压盖。镀膜底座呈喇叭口状并具有圆形凹槽、第一锥形凸台及在第一锥形凸台外侧的三个U型槽；三爪压盖呈喇叭口状并设置圆形凸槽、第二锥形凸台以及与U型槽配合的定位销。定位销能够被操作嵌入到一对应的U型槽内并进行旋转锁紧，将镀膜底座、微通道板、三爪压盖锁紧组装为一体式镀膜夹具，用于后续的微通道板镀膜处理。本发明的工装与方法适用于大尺寸、表面质量要求高的微通道板的制备，可现实微通道板镀膜过程无需手动倒夹具翻面的繁琐操作，有效避免人为带来的表面疵病，提高微通道板表面质量的同时提高生产效率。
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