公开(公告)号：CN109437599A

公开(公告)日：2019-03-08

申请号：CN201811512396.2

申请日：2018-12-11

Applicant: 北京控制工程研究所

Inventor： 龚德铸 ,  唐黎 ,  钟俊 ,  孙建波 ,  张慧锋 ,  赵人杰 ,  孟宪刚 ,  张佳星 ,  刘启海 ,  华宝成 ,  卢纯青 ,  赵春晖 ,  王世新 ,  郑岩 ,  袁琦 ,  邹月 ,  张成龙 ,  韩强

IPC: C03C23/00 ,  C03C17/00

Abstract: 本发明公开了一种交会对接敏感器用超高精度反射镜一体式加工方法，所述方法包括如下步骤：步骤一：对反射镜支架加工，并进行相关应力释放；步骤二：对金属反射镜加工，并进行相关应力释放；步骤三：将反射镜和反射镜支架进行微应力装配，形成反射镜组件，并进行组件应力释放和深度清洁；步骤四：对反射镜组件进行离子束建模；步骤五：根据步骤四中的离子束建模，对反射镜组件开展非接触式离子束抛光，获得超高精度反射镜组件；步骤六：对步骤五中的超高精度反射镜组件进行光学镀膜。本发明解决了超高精度反射镜组件，高精度高稳定性与小型化轻量化的矛盾，使得反射镜组件始终保持高精度面形和高稳定性。