公开(公告)号：CN103904160A

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：CN201410107249.2

申请日：2014-03-21

Applicant: 上海大学

Inventor： 王林军 ,  陶骏 ,  唐荣烨 ,  秦凯丰 ,  王君楠 ,  黄健 ,  唐可 ,  沈忠文

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/115

CPC classification number: Y02P70/521 ,  H01L31/1832 ,  H01L31/115 ,  H01L31/1836

Abstract: 本发明公开了一种应用于X射线探测的CdZnTe薄膜的制备方法。所述制备方法是基于近空间升华（CSS）技术。该方法以CdZnTe单晶切片为升华源，使用氩气作为工作气体，并通过一定的表面处理获得理想的整流电极接触。该方法具有工艺简单、成本更低、可重复性高等特点，可以制备应用于大面积、低漏电流、高分辨率的X射线探测器的薄膜，有望X射线薄膜探测器的产业化生产。

公开(公告)号：CN103474513A

公开(公告)日：2013-12-25

申请号：CN201310443533.2

申请日：2013-09-26

Applicant: 上海大学

Inventor： 王林军 ,  沈萍 ,  张继军 ,  沈永杰 ,  唐荣烨 ,  姚蓓玲 ,  周捷 ,  黄健 ,  唐可

IPC: H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明涉及一种欧姆结构CdMnTe薄膜紫外光探测器的制备方法，属于紫外光探测器光敏材料及器件制造工艺技术领域。本发明是采用近空间升华方法制备CdMnTe薄膜，并制作CdMnTe薄膜欧姆结构紫外光探测器，为制作高性能的紫外光探测器提供了新的方法。本发明制备高平整、颗粒尺寸均匀、电阻率高的CdMnTe薄膜样品。薄膜的厚度为>200m，电阻率>109Ω·cm。