半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN107086248B

    公开(公告)日:2020-10-16

    申请号:CN201710076431.X

    申请日:2017-02-13

    Abstract: 本公开涉及半导体器件及其制造方法。一种具有高且稳定的工作电压的半导体器件及其制造方法被提供,该半导体器件包括:具有包括沟道区域的有源区的衬底;覆盖有源区的顶表面的栅绝缘层;覆盖有源区的顶表面上的栅绝缘层的栅电极;掩埋绝缘图案,其在栅电极的下侧处于有源区的沟道区域中,并且与衬底的顶表面间隔开;以及在掩埋绝缘图案中的每个的两侧处的衬底中并且从衬底的顶表面延伸到比掩埋绝缘图案中的每个的高度更低的高度的一对源/漏区域。

    半导体器件和制造该半导体器件的方法

    公开(公告)号:CN116093159A

    公开(公告)日:2023-05-09

    申请号:CN202211370363.5

    申请日:2022-11-03

    Abstract: 一种半导体器件包括从基板突出并在第一方向上延伸的有源鳍。器件隔离层在基板中限定有源鳍。多个栅极结构与有源鳍交叉并在垂直于第一方向的第二方向上延伸。所述多个栅极结构中的每个包括栅极和在栅极的侧表面上的栅极间隔物。多个外延层在栅极结构的相反侧设置在有源鳍上,并包括提供漏极区的第一外延层和提供源极区的第二外延层。栅极间隔物包括设置在第一外延层和栅极之间的第一间隔物。第一间隔物包括沿着栅极的侧表面在垂直于基板的上表面的第三方向上延伸的第一区、以及从第一区的下部在远离栅极的方向上延伸的第二区。

    半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN107086248A

    公开(公告)日:2017-08-22

    申请号:CN201710076431.X

    申请日:2017-02-13

    Abstract: 本公开涉及半导体器件及其制造方法。一种具有高且稳定的工作电压的半导体器件及其制造方法被提供,该半导体器件包括:具有包括沟道区域的有源区的衬底;覆盖有源区的顶表面的栅绝缘层;覆盖有源区的顶表面上的栅绝缘层的栅电极;掩埋绝缘图案,其在栅电极的下侧处于有源区的沟道区域中,并且与衬底的顶表面间隔开;以及在掩埋绝缘图案中的每个的两侧处的衬底中并且从衬底的顶表面延伸到比掩埋绝缘图案中的每个的高度更低的高度的一对源/漏区域。

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