压电MEMS麦克风
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104602170B

    公开(公告)日:2019-08-13

    申请号:CN201410776358.3

    申请日:2009-06-30

    Abstract: 包括多层传感器的压电MEMS麦克风,该传感器包括位于两个电极层之间的至少一个压电层,该传感器被尺寸定制为使得其提供了接近最大化的输出能量对传感器面积之比率,最大化的输出能量对传感器面积之比率通过计入了输入压力、带宽、及压电和电极材料特征的最优化参数来确定。该传感器可由单独的或以小间隙彼此分隔开的堆叠悬臂梁组成,或者可以是以下方式形成的应力消除隔板:通过沉积到硅衬底上,然后通过将隔板基本与衬底分离来对隔板进行应力消除,并接下来重新附着现在的经应力消除的隔板。

    带粗调的放大式压电致动器

    公开(公告)号:CN106796982B

    公开(公告)日:2019-06-07

    申请号:CN201580047032.X

    申请日:2015-08-13

    CPC classification number: H01L41/083 G02B7/1827 H02N2/043 H02N2/101

    Abstract: 本发明提供一种整合推螺纹棒粗调和机械放大式压电动作微调的压电式致动器的三种设计变形。机械放大器沿纵轴容纳一个或多个预加载的压电叠堆,以转化为放大几个数量级的,垂直于压电叠堆位移的沿横轴位移。压电放大器输出行程被传送到在末端带有球的螺纹棒以推动所设表面的位置调整和位移变换,例如镜架等应用。

    待极化的电子器件及其极化系统、电子器件模块的制作方法及电子设备

    公开(公告)号:CN108493329A

    公开(公告)日:2018-09-04

    申请号:CN201810105677.X

    申请日:2018-02-01

    CPC classification number: H01L41/083 H01L41/0471 H01L41/257

    Abstract: 本发明涉及一种待极化的电子器件,包括一基底,电路单元组,第一极化电极以及待极化膜,电路单元组包括至少一电路单元,所述基底具有第一表面,电路单元及第一极化电极设置于基底的第一表面,所述待极化膜位于电路单元远离基底的一侧,且所述待极化膜在电路单元所在平面上的投影与电路单元至少部分重叠,所述第一极化电极用于为待极化膜提供极化电场。本发明中通过在电路单元所在平面设置第一极化电极,使得待极化的电子器件极化成为可能,有效提高了待极化膜的生产合格率,且便于电子器件模块的批量生产。本发明还提供待极化的电子器件之极化系统及电子器件模块的制作方法及电子设备同样具有生产合格率高,有利于批量生产等优点。

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