公开(公告)号：CN104602170B

公开(公告)日：2019-08-13

申请号：CN201410776358.3

申请日：2009-06-30

Applicant: 密歇根大学董事会

Inventor： K.格罗什 ,  R.J.利特雷尔

IPC: H04R17/00

CPC classification number: H01L41/083 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/0257 ,  B81C1/0015 ,  B81C1/00158 ,  H01L41/1132 ,  H01L41/1136 ,  H01L41/27 ,  H04R17/00 ,  H04R17/02 ,  H04R2201/003

Abstract: 包括多层传感器的压电MEMS麦克风，该传感器包括位于两个电极层之间的至少一个压电层，该传感器被尺寸定制为使得其提供了接近最大化的输出能量对传感器面积之比率，最大化的输出能量对传感器面积之比率通过计入了输入压力、带宽、及压电和电极材料特征的最优化参数来确定。该传感器可由单独的或以小间隙彼此分隔开的堆叠悬臂梁组成，或者可以是以下方式形成的应力消除隔板：通过沉积到硅衬底上，然后通过将隔板基本与衬底分离来对隔板进行应力消除，并接下来重新附着现在的经应力消除的隔板。