真空测量仪
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101133308A

    公开(公告)日:2008-02-27

    申请号:CN200680007086.4

    申请日:2006-03-01

    CPC classification number: G01L21/32 G01L21/12 H01J1/3042 H01J41/04

    Abstract: 本发明提出一种发射电子的阴极(6),它由装接到由不锈钢制成的侧壁(2)上的导电的发射层(7)和门(9),将该门以很小的距离固定在发射层(7)的凹入的发射表面的内部。阴极(6)围绕着一个反应区域(3),该反应区域包含一个圆柱形的筛网状的阳极(5)和一个位于中心的离子收集器(4),该离子收集器包括一直的轴向细丝。电流计(11)测量反映在反应区域(3)中气体密度的离子收集器电流(IIC),同时将门电压(VG)保持在发射层(7)的地电压与较高的阳极电压(VA)之间,并且调节门电压,其方式使得将阳极电流(IA)保持不变。发射层(7)可包括碳纳米管,金刚石状的碳,一种金属或一种金属混合物,或者一种半导体材料,半导体材料例如是可以比如用碳化物或钼涂布的硅。然而,发射表面也可是例如被化学刻蚀过程变粗糙的侧壁的内表面的一部分。门(9)可以是一种筛网,或者,它可以包括覆盖分布在发射区上的隔离器的金属薄膜小片或覆盖设置在发射表面上的电子可穿透层的一层金属薄膜。

    具有纳米结构发射体的场发射器件中的电极及其制备方法

    公开(公告)号:CN1130746C

    公开(公告)日:2003-12-10

    申请号:CN96180399.1

    申请日:1996-08-19

    Applicant: 美国3M公司

    Inventor: M·K·德比

    CPC classification number: H01J1/3042

    Abstract: 一种包括一层设置在基板一个或多个表面中至少一部分上的分立固体微结构密集阵列的电极的电子场发射显示器,微结构的面积个数密度大于107/cm2,微结构分别共形地外覆一层或多层电子发射材料,外覆电子发射材料设置在微结构的至少一部分上,其表面形貌显现纳米级凹凸不平。还揭示一种制备本发明中所使用电极的方法。

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